下载一种用于探针台的晶圆防滑出结构的技术资料

文档序号:22936228

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本实用新型属于晶圆测试设备的技术领域,公开了一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其技术方案要点是包括锁定机构和解锁机构,锁定机构包括基座,基座上设有若干组锁定杆、齿轮、解锁杆和复位件,与框体上的沟槽分别对应,锁定杆和解锁杆均与框体的侧壁垂直,滑...
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