硅片减薄量检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种硅片减薄量检测装置，包括沿传送方向间隔设有上料区、硅片处理区、下料区的输送带，至少两组检测模块，至少一组检测模块与所述上料区相对应，至少一组检测模块与所述下料区相对应；所述检测模块包括取放单元和称重单元，所述取放单元包括抓取机构、驱动所述抓取机构移动的驱动机构，所述称重单元包括称重台，所述控制模块与所述输送模块、所述取放单元、所述称重单元均通讯连接，取代了人工检测，实现自动化检测减薄量的效果，减少因人工漏测、误测造成的品质异常情况；节约了人力成本，降低返工的制造成本。

Wafer thinning detection device

【技术实现步骤摘要】
硅片减薄量检测装置
本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种硅片减薄量检测装置。
技术介绍
高效PERC电池的生产流程一般包括：制绒、扩散、刻蚀去PSG、原子层沉积背面镀氧化铝薄膜、PECVD、激光开孔、丝网印刷及烧结、电注入、测试分选。在上述工序中，如制绒、刻蚀等工序中硅片减薄量的大小为主要工艺管控参数，在制绒中用以衡量制绒效果的好坏，在刻蚀工序中用以衡量硅片表面的抛光效果好坏等。因此，监控减薄量的大小及稳定性是PERC电池制程中重要一环。现有技术中，检测减薄量主要依靠人工取样进行测试：在硅片进行处理之前靠人工取样、天平称重，然后在硅片进行处理之后再次人工取样、天平称重，最终通过重量差计算刻蚀减薄量。然而，人工抽测不能实时监控，无法保证品质；PERC电池对硅片要求很高，人工抽测减薄量的硅片需要重新清洗返工，增加化学品成本；人工成本高；人工测量误差较大。因此，有必要提出一种取代人工检测硅片减薄量的自动化的硅片减薄量检测装置。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提出了一种取代人工检测的硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片减薄量检测装置，其特征在于，包括：/n输送模块，包括用以输送硅片的输送带，所述输送带沿传送方向间隔设有上料区、硅片处理区、下料区；/n至少两组检测模块，至少一组检测模块与所述上料区相对应，至少一组检测模块与所述下料区相对应；所述检测模块包括取放单元和称重单元，所述取放单元包括抓取机构、驱动所述抓取机构移动的驱动机构；所述称重单元包括称重台；/n控制模块，所述控制模块与所述输送模块、所述取放单元、所述称重单元均通讯连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片减薄量检测装置，其特征在于，包括：
输送模块，包括用以输送硅片的输送带，所述输送带沿传送方向间隔设有上料区、硅片处理区、下料区；
至少两组检测模块，至少一组检测模块与所述上料区相对应，至少一组检测模块与所述下料区相对应；所述检测模块包括取放单元和称重单元，所述取放单元包括抓取机构、驱动所述抓取机构移动的驱动机构；所述称重单元包括称重台；
控制模块，所述控制模块与所述输送模块、所述取放单元、所述称重单元均通讯连接。


2.根据权利要求1所述的硅片减薄量检测装置，其特征在于，所述控制模块包括分别与所述上料区、所述下料区相对应以感测硅片位置的传感器。


3.根据权利要求2所述的硅片减薄量检测装置，其特征在于，所述传感器为光电传感器。


4.根据权利要求1所述的硅片减薄量检测装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动所述抓取机构沿竖直方向移动的第一伸缩气缸、驱动所述抓取机构沿水平方向移动的第二伸缩气缸；
所述抓取机构连接于所述第一伸缩气缸底部，所述第一伸缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：易书令，马晓林，潘岳林，姜大俊，潘励刚，郑旭然，
申请(专利权)人：盐城阿特斯阳光能源科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32