温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供了一种硅片减薄量检测装置，包括沿传送方向间隔设有上料区、硅片处理区、下料区的输送带，至少两组检测模块，至少一组检测模块与所述上料区相对应，至少一组检测模块与所述下料区相对应；所述检测模块包括取放单元和称重单元，所述取放单元包括...该专利属于盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司授权不得商用。