一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及芯片制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置，可通过机械进行辅助打磨，提高工作效率；一次可对硅片多个位置进行打磨，提高使用连续性；硅片上下移动方便，提高使用便利性；包括工作台；还包括底板、左支撑杆、右支撑杆、连接杆、滑动座、安装杆、左限制杆、右限制杆、左伸缩杆、右伸缩杆、左弹簧、右弹簧、左压板和右压板；还包括齿条、左连接架、右连接架、固定杆、支杆、横杆、转动销、圆板、挡板、扇形齿轮、中间杆、主动板、滑块、转筒和转动杆；还包括稳固杆、螺纹管、带动杆、固定板、螺纹杆和转盘。

A silicon wafer edge grinding device used in the development of power electronic device chips

【技术实现步骤摘要】
一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置
本技术涉及芯片制造附属装置的
，特别是涉及一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置。
技术介绍
众所周知，用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置是一种用于芯片制造过程中，对切割完成的硅片边缘进行打磨的装置，其在芯片制造的领域中得到了广泛的使用；现有的用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置包括工作台；现有的用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置使用时把切割完成的硅片放置在工作台上，操作人员手动拿着磨砂纸对切割完成的硅片边缘进行打磨；现有的用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置使用中发现，其需要手动进行打磨，工作效率较低；其一次只能对硅片的一部分进行磨边，使用连续性较差；硅片上下移动不方便，使用便利性较差。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种可通过机械进行辅助打磨，提高工作效率；一次可对硅片多个位置进行打磨，提高使用连续性；硅片上下移动方便，提高使用便利性的用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片打磨装置。本技术的一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置，包括工作台；还包括底板、左支撑杆、右本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置，包括工作台(1)；其特征在于，还包括底板(2)、左支撑杆(3)、右支撑杆、连接杆(4)、滑动座(5)、安装杆(6)、左限制杆(7)、右限制杆、左伸缩杆(8)、右伸缩杆、左弹簧(9)、右弹簧、左压板(10)和右压板，所述左支撑杆(3)底端与底板(2)顶端左半区域连接，所述右支撑杆底端与底板(2)顶端右半区域连接，所述连接杆(4)左端与左支撑杆(3)右端上半区域连接，所述滑动座(5)左端中央区域横向设置有滑动孔，所述连接杆(4)右端穿过滑动孔并与右支撑杆左端上半区域连接，所述安装杆(6)顶端与滑动座(5)底端左半区域连接，安装杆(6)底端设置有...

【技术特征摘要】
1.一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置，包括工作台(1)；其特征在于，还包括底板(2)、左支撑杆(3)、右支撑杆、连接杆(4)、滑动座(5)、安装杆(6)、左限制杆(7)、右限制杆、左伸缩杆(8)、右伸缩杆、左弹簧(9)、右弹簧、左压板(10)和右压板，所述左支撑杆(3)底端与底板(2)顶端左半区域连接，所述右支撑杆底端与底板(2)顶端右半区域连接，所述连接杆(4)左端与左支撑杆(3)右端上半区域连接，所述滑动座(5)左端中央区域横向设置有滑动孔，所述连接杆(4)右端穿过滑动孔并与右支撑杆左端上半区域连接，所述安装杆(6)顶端与滑动座(5)底端左半区域连接，安装杆(6)底端设置有第一电机(11)，所述第一电机(11)右部输出端设置有第一传动轴(12)，所述第一传动轴(12)右端设置有打磨轮(13)，所述左限制杆(7)底端和右限制杆底端分别与工作台(1)顶端左半区域和右半区域连接，左限制杆(7)上半区域和右限制杆上半区域分别横向设置有左伸缩孔和右伸缩孔，所述左伸缩杆(8)右端与左压板(10)左端中央区域连接，所述右伸缩杆左端与右压板右端中央区域连接，所述左弹簧(9)右端与左压板(10)左端连接，左弹簧(9)左端与左限制杆(7)右端连接，左伸缩杆(8)左端依次穿过左弹簧(9)和左伸缩孔，所述右弹簧左端与右压板右端连接，右弹簧右端与右限制杆左端连接，右伸缩杆右端依次穿过右弹簧和右伸缩孔；还包括齿条(14)、左连接架(15)、右连接架(16)、固定杆(17)、支杆(18)、横杆(19)、转动销(20)、圆板(21)、挡板(22)、扇形齿轮(23)、中间杆(24)、主动板(25)、滑块(26)、转筒(27)和转动杆(28)，所述齿条(14)底端与滑动座(5)顶端连接，所述左连接架(15)和右连接架(16)一端分别与左支撑杆(3)顶端和右支撑杆顶端连接，左连接架(15)和右连接架(16)另一端分别与固定杆(17)左端下半区域和支杆(18)右端下半区域连接，所述横杆(19)左端与固定杆(17)右端下半区域连接，横杆(19)右端与支杆(18)左端下半区域连接，所述转动销(20)后端与横杆(19)前端中央区域连接，所述圆板(21)中央区域设置有转动孔，转动销(20)前端穿过转动孔并与挡板(22)后端中央区域连接，所述扇形齿轮(23)顶端与圆板(21)底端连接，扇形齿轮(23)与齿条(14)啮合，所述中间杆(24)底端与圆板(21)顶端连接，中间杆(24)顶端与主动板(25)底端连接，所述滑块(26)前端与主动板(25)后端中央区域连接，所述转筒(27)外侧壁上设置有螺旋槽，滑块(26)后端伸入至螺旋槽内，所述固定杆(17)上半区域横向设置有贯通孔，所述转筒(27)左侧壁中央区域横向设置有连接孔，所述转动杆(28)左端穿过连接孔并伸入至贯通孔内，转动杆(28)外侧壁与连接孔内侧壁连接，所述支杆(18)顶端设置有第二电机(29)，所述第二电机(29)左部输出端设置有第二传动轴(30)，所述第二传动轴(30)左端与转动杆(28)右端连接；还包括稳固杆(31)、螺纹管(32...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：复汉海志江苏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32