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本实用新型涉及芯片制造附属装置的技术领域,特别是涉及一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,可通过机械进行辅助打磨,提高工作效率;一次可对硅片多个位置进行打磨,提高使用连续性;硅片上下移动方便,提高使用便利性;包括工作台;还包括底...该专利属于复汉海志(江苏)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过复汉海志(江苏)科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及芯片制造附属装置的技术领域,特别是涉及一种用于电力电子器件芯片研发过程中的硅片磨边装置,可通过机械进行辅助打磨,提高工作效率;一次可对硅片多个位置进行打磨,提高使用连续性;硅片上下移动方便,提高使用便利性;包括工作台;还包括底...