一种探针台用探针卡固定机构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体元件加工设备技术领域，具体涉及一种探针台用探针卡固定机构，包括安装架、顶板、支架、滑柱、夹爪、螺纹丝杆、连接板、传动机构，传动机构用于驱动螺纹丝杆转动。本实用新型专利技术设置固定支架上的空缺部，使外部设备上的探针卡穿过空缺部，传动机构驱动螺纹丝杆转动，使两个夹爪将探针卡进行卡紧，从而实现探针卡的快速固定，另外通过转动蜗杆使两个夹爪相对运动，取代传统方式旋转多个螺丝的方式，提高了操作效率，设置移动机构，通过转动螺纹轴，使夹爪能够竖直升降，从而适应不同型号探针卡进行固定。

A Fixed Mechanism of Probe Clamp for Probe Station

【技术实现步骤摘要】
一种探针台用探针卡固定机构
本技术涉及半导体元件加工设备
，具体涉及一种探针台用探针卡固定机构。
技术介绍
目前市面上的探针测试台具有夹持探针卡的固定组件，通过设置固定件，旋转螺丝驱动固定件卡紧探针卡，每一次固定探针卡都需要进行螺丝的手动旋转，操作过程麻烦并且缓慢，影响工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的问题，提供一种探针台用探针卡固定机构，它可以实现快速固定探针卡，提高效率。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术是通过以下技术方案实现的：一种探针台用探针卡固定机构，其包括：安装架，所述安装架底部外壁上设有空缺部；顶板，所述顶板固接在安装架顶部，其上设有连通至所述空缺部上的避空槽；支架，所述支架设置在避空槽内且其长度方向横跨空缺部，其由一个顶板及两个侧板组成；滑柱，所述滑柱对应设有两个，分别水平穿透所述支架两侧板且能自由滑动；夹爪，所述夹爪对应连接在两个滑柱上，其由竖直段及水平段组成；螺纹丝杆，所述螺纹丝杆水平设置在支架上且与支架转动连接，其由两端螺纹旋向相反的第一螺纹段、第二螺纹段组成；连接板，所述连接板设有两个，其上端分别套设在第一螺纹段、第二螺纹段上且与第一螺纹段、第二螺纹段螺纹连接，其下端分别套接在所述滑柱上，所述螺纹丝杆转动时，驱动两个所述连接板相对运动；传动机构，所述传动机构用于驱动螺纹丝杆转动。进一步地，所述传动机构包括同轴固接在螺纹丝杆上的蜗轮、竖直穿透支架水平段且与支架转动连接的蜗杆，所述蜗杆与蜗轮啮合。进一步地，所述蜗杆上设有转动轮。进一步地，还包括驱动两个所述夹爪竖直移动的移动机构。进一步地，所述移动机构包括竖直穿透夹爪并与夹爪转动连接的螺纹轴，所述夹爪上沿螺纹轴长度方向开有供滑柱卡合的卡槽，所述螺纹轴穿透滑柱且与滑柱螺纹连接。本技术的有益效果：设置固定支架上的空缺部，使外部设备上的探针卡穿过空缺部，传动机构驱动螺纹丝杆转动，使两个夹爪将探针卡进行卡紧，从而实现探针卡的快速固定，另外通过转动蜗杆使两个夹爪相对运动，取代传统方式旋转多个螺丝的方式，提高了操作效率，设置移动机构，通过转动螺纹轴，使夹爪能够竖直升降，从而适应不同型号探针卡进行固定。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的结构示意图；图2为本技术使用状态的结构示意图；附图中，各标号所代表的部件如下：1-安装架，2-空缺部，3-顶板，4-避空槽，5-支架，6-滑柱，7-夹爪，8-第一螺纹段，9-第二螺纹段，10-连接板，11-蜗轮，12-蜗杆，13-螺纹轴，14-卡槽，15-探针卡。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-2所示的一种探针台用探针卡固定机构，其包括：安装架1，所述安装架1底部外壁上设有空缺部2，安装架1通过螺钉或焊接的方式连接在外部的探针台机架上；顶板3，所述顶板3固接在安装架1顶部，其上设有连通至所述空缺部2上的避空槽4，顶板3通过螺钉连接的方式连接在外部的探针台机架上；支架5，所述支架5设置在避空槽4内且其长度方向横跨空缺部2，其由一个顶板及两个侧板组成；滑柱6，所述滑柱6对应设有两个，分别水平穿透所述支架5两侧板且能自由滑动；夹爪7，所述夹爪7对应连接在两个滑柱6上，其由竖直段及水平段组成，两个夹爪7的竖直段之间围成供探针卡15卡合的安装空间；螺纹丝杆，所述螺纹丝杆水平设置在支架5上且与支架5转动连接，其由两端螺纹旋向相反的第一螺纹段8、第二螺纹段9组成；连接板10，所述连接板10设有两个，其上端分别套设在第一螺纹段8、第二螺纹段9上且与第一螺纹段8、第二螺纹段9螺纹连接，其下端分别套接在所述滑柱6上，所述螺纹丝杆转动时，驱动两个所述连接板10相对运动；传动机构，所述传动机构用于驱动螺纹丝杆转动。所述传动机构包括同轴固接在螺纹丝杆上的蜗轮11、竖直穿透支架5水平段且与支架5转动连接的蜗杆12，所述蜗杆12与蜗轮11啮合。所述蜗杆12上设有转动轮，便于转动蜗杆12。还包括驱动两个所述夹爪7竖直移动的移动机构。所述移动机构包括竖直穿透夹爪7并与夹爪7转动连接的螺纹轴13，所述夹爪7上沿螺纹轴13长度方向开有供滑柱6卡合的卡槽14，所述螺纹轴13穿透滑柱6且与滑柱6螺纹连接。具体的，本实施例中的转动连接方式包括但不限定于使用滚动轴承。本技术在使用时：将探针卡穿过空缺部，转动蜗杆，使蜗轮转动，驱动螺纹丝杆转动，由于螺纹丝杆上第一螺纹段及第二螺纹段的螺纹旋向相反，两个连接板将相对运动，并使两个夹爪相对靠拢，其上的竖直段之间围成的安装空间将探针卡进行夹紧，以此达到对探针卡的快速固定，调整夹爪的升降时，转动螺纹轴，由于螺纹轴与夹爪转动连接同时又与滑柱螺纹连接，此时夹爪将竖直移动，从而完成升降的调节。以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该技术仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本技术的原理和实际应用，从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本技术。本技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于，其包括：安装架(1)，所述安装架(1)底部外壁上设有空缺部(2)；顶板(3)，所述顶板(3)固接在安装架(1)顶部，其上设有连通至所述空缺部(2)上的避空槽(4)；支架(5)，所述支架(5)设置在避空槽(4)内且其长度方向横跨空缺部(2)，其由一个顶板及两个侧板组成；滑柱(6)，所述滑柱(6)对应设有两个，分别水平穿透所述支架(5)两侧板且能自由滑动；夹爪(7)，所述夹爪(7)对应连接在两个滑柱(6)上，其由竖直段及水平段组成；螺纹丝杆，所述螺纹丝杆水平设置在支架(5)上且与支架(5)转动连接，其由两端螺纹旋向相反的第一螺纹段(8)、第二螺纹段(9)组成；连接板(10)，所述连接板(10)设有两个，其上端分别套设在第一螺纹段(8)、第二螺纹段(9)上且与第一螺纹段(8)、第二螺纹段(9)螺纹连接，其下端分别套接在所述滑柱(6)上，所述螺纹丝杆转动时，驱动两个所述连接板(10)相对运动；传动机构，所述传动机构用于驱动螺纹丝杆转动。

【技术特征摘要】
1.一种探针台用探针卡固定机构，其特征在于，其包括：安装架(1)，所述安装架(1)底部外壁上设有空缺部(2)；顶板(3)，所述顶板(3)固接在安装架(1)顶部，其上设有连通至所述空缺部(2)上的避空槽(4)；支架(5)，所述支架(5)设置在避空槽(4)内且其长度方向横跨空缺部(2)，其由一个顶板及两个侧板组成；滑柱(6)，所述滑柱(6)对应设有两个，分别水平穿透所述支架(5)两侧板且能自由滑动；夹爪(7)，所述夹爪(7)对应连接在两个滑柱(6)上，其由竖直段及水平段组成；螺纹丝杆，所述螺纹丝杆水平设置在支架(5)上且与支架(5)转动连接，其由两端螺纹旋向相反的第一螺纹段(8)、第二螺纹段(9)组成；连接板(10)，所述连接板(10)设有两个，其上端分别套设在第一螺纹段(8)、第二螺纹段(9)上且与第一螺纹段(8)、第二螺纹段(9)螺纹连接，其下端分别套接在所述滑柱(6)上，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭勇，
申请(专利权)人：合肥市华达半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34