冷却水系统及铝刻蚀工艺机台技术方案

本实用新型专利技术公开了一种冷却水系统，其特征在于，包括冷却管、入水端、第一水路分流器、第二水路分流器、第一分水管件、第二分水管件、第一冷却腔体及第二冷却腔体，所述第一分水管件及第二分水管件分别具有主管及支管，冷却水自所述入水端流经所述第一分水管件后分为第一水路和第二水路。本实用新型专利技术使冷却管内水流量从2.1GPM增加到2.6GPM，改善远程等离子发生器的冷却效果，减少在内表面上生成的含AlxOy的气态物质，从而降低凝结在晶圆表面的异常颗粒数量。

Cooling Water System and Aluminum Etching Machine Table

【技术实现步骤摘要】
冷却水系统及铝刻蚀工艺机台
本技术涉及微电子制造领域，特别是涉及一种冷却水系统。本技术还涉及一种铝刻蚀工艺机台。
技术介绍
在半导体制造领域，刻蚀工艺是重要的技术之一。刻蚀是指利用化学或物理方法有选择性地从硅片表面去除不需要的材料的过程。从工艺上分类，刻蚀可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀。前者的主要特点是各向同性，后者是利用等离子体来进行各向异性刻蚀，其可以严格控制纵向和横向的刻蚀过程。目前，金属铝作为内部互连线和键合块材料，仍然广泛应用于DRAM和Flash等存储器中，以及各种逻辑产品中。同时，在集成电路制作技术中，金属化是指在组件主体完成后，依据电路设计，通过金属膜连接，将组件内不同部分或各个组件之间作适当的连接。铝在集成电路中是最被广泛使用的金属，大部分集成电路以铝作为金属连接材料。铝的优点在于其电阻系数比大部分金属低，并会在表面自行生成一层致密的氧化层Al2O3，不会因腐蚀导致断线，影响组件特性，再加上铝对二氧化硅的附着性好以及成熟的沉积技术和刻蚀技术，使得在制作多种金属连接内连接时，铝还是受到重视。目前300mm铝刻蚀工艺机台上的去胶腔使用到远程等离子发生器(RemotePlasmaSource)，简称RPS。RPS在工作时会产生较高热量，需用到工艺冷却水进行冷却。现有的工艺冷却水管路设计使得实际流量(2.1GPM)仅满足设计规格下限(2GPM)。当单片晶圆去胶工艺时间较长时，冷却效果较差，RPS内表面上积累的热量无法及时散走，加剧了表面材质Al2O3和等离子体中的H的反应，生成了过量的含AlxOy的气态物质。形成过程如下式所列：Al2O3+H→Al2O+AlO+Al2O2+H2O；这种含AlxOy气态物质会随工艺气流一起流到晶圆表面并凝结，形成异常颗粒。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，设计一种铝刻蚀工艺机台的冷却水系统，改善远程等离子发生器的冷却效果，减少在内表面上生成的含AlxOy的气态物质，从而降低凝结在晶圆表面的异常颗粒数量。为了解决上述技术问题，本技术公开了一种冷却水系统，包括冷却管、入水端、第一水路分流器、第二水路分流器、第一分水管件、第二分水管件、第一冷却腔体及第二冷却腔体，所述第一分水管件及第二分水管件分别具有主管及支管，冷却水自所述入水端流经所述第一分水管件后分为第一水路和第二水路，所述第一水路的冷却水沿第一分水管件支管流向第一冷却腔体，在热交换后流向所述第二分水管件的支管，再从第二分水管件的主管流出至出水端；所述第一、二水路分流器分别具有总管和支管，所述第二水路的冷却水沿第一分水管件主管流向第一水路分流器总管，再从第一水路分流器支管流出至第二冷却腔体，经热交换后流向第二水路分流器支管再从第二水路分流器总管流出，经过第二分水管件主管流出至出水端。较佳地，还包括第一阀门，其设置在第一分水管件支管以及第一冷却腔体之间，用于控制第一水路的接通和关闭。较佳地，还包括第二阀门，其设置在第一水路分流器支管和第二冷却腔体之间，用于控制第二水路的接通和关闭。较佳地，所述第一分水管件及第二分水管件的主管管径大于支管管径。较佳地，所述第一分水管件及第二分水管件的主管管径为四分之三英寸，支管管径为二分之一英寸。较佳地，第一水路分流器及第二水路分流器的主管管径为四分之三英寸，支管管径为八分之三英寸。较佳地，还包括低温水箱、水泵、过滤器，所述低温水箱中的水经水泵提压、过滤器过滤后，进入所述入水端。较佳地，还包括高温水箱，经热交换后的水自所述出水端流入所述高温水箱。本技术还公开了一种使用冷却水系统的铝刻蚀工艺机台，包括：远程等离子发生器和去胶腔基座，所述第一冷却腔体用于冷却远程等离子发生器，所述第二冷却腔体用于冷却去胶腔基座。附图说明图1是本技术冷却水系统的一较佳实施例示意图。图2是本技术冷却水系统的铝刻蚀工艺机台示意图。附图标记说明1冷却管2入水端3第一分水管件31第一分水管件主管32第一分水管件支管4第二分水管件41第二分水管件主管42第二分水管件支管5第一水路分流器51第一水路分流器总管52第一水路分流器支管6第二水路分流器61第二水路分流器总管62第二水路分流器支管7第一冷却腔体8第二冷却腔体9第一阀门10第二阀门11出水端12远程等离子发生器13去胶腔基座14晶圆具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。需要理解的是，本技术并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本技术技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本技术的实质内容。实施例一本技术公开了一种冷却水系统，如图1所示，包括冷却管1、入水端2、第一水路分流器、第二水路分流器、第一分水管件3、第二分水管件4、第一冷却腔体7及第二冷却腔体8，所述第一分水管件3及第二分水管件4分别具有主管及支管，冷却水自所述入水端2流经所述第一分水管件3后分为第一水路和第二水路。所述第一水路的冷却水沿第一分水管件支管32流向第一冷却腔体7，在热交换后流向所述第二分水管件的支管42，再从第二分水管件的主管41流出至出水端11。所述第一、二水路分流器分别具有总管和支管，所述第二水路的冷却水沿第一分水管件主管31流向第一水路分流器总管51，再从第一水路分流器支管52流出至第二冷却腔体8，经热交换后流向第二水路分流器支管62再从第二水路分流器总管61流出，经过第二分水管件主管41流出至出水端11。优选地，本实施例中的冷却水系统，还包括第一阀门9，其设置在第一分水管件支管以及第一冷却腔体之间，用于控制第一水路的接通和关闭。优选地，本实施例中的冷却水系统，包括第二阀门10，其设置在第一水路分流器支管和第二冷却腔体之间，用于控制第二水路的接通和关闭。所述第一分水管件及第二分水管件的主管管径大于支管管径。所述第一分水管件及第二分水管件的主管管径为四分之三英寸，支管管径为二分之一英寸。支管管径为二分之一英寸，可使冷却管内水流量从2.1GPM增加到2.6GPM，改善远程等离子发生器的冷却效果，减少在内表面上生成的含AlxOy的气态物质，从而降低凝结在晶圆表面的异常颗粒数量。第一水路分流器及第二水路分流器的主管管径为四分之三英寸，支管管径为八分之三英寸。第一、二分水管件一般用碳钢，铸钢，合金钢，不锈钢，铜，铝合金，塑料，氩硌沥，pvc等材质制作。第一、二分水管件可以采用液压胀形或者热压成形。液压胀形是通过金属材料的轴向补偿胀出支管的一种成形工艺。其过程是采用专用液压机，将与分水管件相等的管坯内注入液体，通过液压机的两个水平侧缸同步对中运动挤压管坯，管坯受挤压后体积变小，管坯内的液体随管坯体积变小而压力升高，当达到分水管件支管胀出所需要的压力时，金属材料在侧缸和管坯内液体压力的双重作用下沿模具内腔流动而胀出支管。分水管件的液压胀形工艺可一次成形，生产效率较高。而热压成形是将大于分水管件直径的管坯，压扁约至分水管件直径的尺寸，在拉伸支管的部位开一个孔；管坯经加热，放入成形模中，并在管坯内装入拉伸支管的冲模；在压力的作用下管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷却水系统，其特征在于，包括冷却管、入水端、第一水路分流器、第二水路分流器、第一分水管件、第二分水管件、第一冷却腔体及第二冷却腔体，所述第一分水管件及第二分水管件分别具有主管及支管，冷却水自所述入水端流经所述第一分水管件后分为第一水路和第二水路；所述第一水路的冷却水沿第一分水管件支管流向第一冷却腔体，在热交换后流向所述第二分水管件的支管，再从第二分水管件的主管流出至出水端；所述第一、二水路分流器分别具有总管和支管，所述第二水路的冷却水沿第一分水管件主管流向第一水路分流器总管，再从第一水路分流器支管流出至第二冷却腔体，经热交换后流向第二水路分流器支管再从第二水路分流器总管流出，经过第二分水管件主管流出至出水端。

【技术特征摘要】
1.一种冷却水系统，其特征在于，包括冷却管、入水端、第一水路分流器、第二水路分流器、第一分水管件、第二分水管件、第一冷却腔体及第二冷却腔体，所述第一分水管件及第二分水管件分别具有主管及支管，冷却水自所述入水端流经所述第一分水管件后分为第一水路和第二水路；所述第一水路的冷却水沿第一分水管件支管流向第一冷却腔体，在热交换后流向所述第二分水管件的支管，再从第二分水管件的主管流出至出水端；所述第一、二水路分流器分别具有总管和支管，所述第二水路的冷却水沿第一分水管件主管流向第一水路分流器总管，再从第一水路分流器支管流出至第二冷却腔体，经热交换后流向第二水路分流器支管再从第二水路分流器总管流出，经过第二分水管件主管流出至出水端。2.如权利要求1所述的冷却水系统，其特征在于，还包括第一阀门，其设置在第一分水管件支管以及第一冷却腔体之间，用于控制第一水路的接通和关闭。3.如权利要求1所述的冷却水系统，其特征在于，还包括第二阀门，其设置在第一水...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨涛，林超，姜毅鹏，陈诚，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31