【技术实现步骤摘要】
一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置
本技术涉及半导体行业晶圆自动化制程中圆盘类产品搬运设备
,更具体地,涉及一种用于检测圆盘类产品真空搬运是否到位的检测装置。
技术介绍
在半导体行业自动化制程中,目前对晶圆的上下料,是采用通过机器人上真空吸附机械手对晶圆进行真空吸附后,从Foup(前开式晶圆盒)中取出的方式。对搬运到位的检测,是由真空压力传感器的真空值反馈信号来决定的。但采用上述方式响应时间长,而且对于搬运没有到位而已被吸附的晶圆产品是不能进行判别的。所以,需要设计一种可以使响应速度加快,而且可以保证晶圆吸附到位的准确检测装置,以有效地保证产品的低破片率。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷,提供一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置。为实现上述目的,本技术的技术方案如下:一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置,包括:机器人,用于通过其设有的真空吸附机械手,对晶圆盒中的晶圆进行搬运;检测模块,面向所述真空吸附机械手设于所述机器人上,用于在所述真空吸附机械手伸进晶圆盒时,对待搬运位置上的晶圆进行位置检测;真空发生模块,连接所述真空吸附机械手,用于在收到所述检测模块的晶圆位置到位信号时,使所述真空吸附机械手产生真空,对晶圆进行吸附搬运。进一步地,所述机器人设有手臂,所述手臂的前端连接所述真空吸附机械手。进一步地,所述手臂上设有机器人法兰,所述机器人法兰通过法兰固定块转动连接所述真空吸附机械手。进一步地,所述法兰固定块与所述真空吸附机械手的连接端侧部设有检测模块。进一步地,所述检测模块通过固定架连接设于所述法兰固定块与所述真空吸附机械手连接端的 ...
【技术保护点】
1.一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置,其特征在于,包括:机器人,用于通过其设有的真空吸附机械手,对晶圆盒中的晶圆进行搬运;检测模块,面向所述真空吸附机械手设于所述机器人上,用于在所述真空吸附机械手伸进晶圆盒时,对待搬运位置上的晶圆进行位置检测;真空发生模块,连接所述真空吸附机械手,用于在收到所述检测模块的晶圆位置到位信号时,使所述真空吸附机械手产生真空,对晶圆进行吸附搬运。
【技术特征摘要】
1.一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置,其特征在于,包括:机器人,用于通过其设有的真空吸附机械手,对晶圆盒中的晶圆进行搬运;检测模块,面向所述真空吸附机械手设于所述机器人上,用于在所述真空吸附机械手伸进晶圆盒时,对待搬运位置上的晶圆进行位置检测;真空发生模块,连接所述真空吸附机械手,用于在收到所述检测模块的晶圆位置到位信号时,使所述真空吸附机械手产生真空,对晶圆进行吸附搬运。2.根据权利要求1所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置,其特征在于,所述机器人设有手臂,所述手臂的前端连接所述真空吸附机械手。3.根据权利要求2所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置,其特征在于,所述手臂上设有机器人法兰,所述机器人法兰通过法兰固定块转动连接所述真空吸附机械手。4.根据权利要求3所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置,其特征在于,所述法兰固定块与所述真空吸附机械手的连接端侧部设有...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴高,
申请(专利权)人:上海福赛特机器人有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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