一种快速退火炉的反应腔体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种快速退火炉的反应腔体结构，上下侧的小孔分别对应指向硅片的上下端面，且石英托片架上均匀开设有透气孔，所述石英托片架上设置有抽气散热机构。从而做到迅速降温冷却，吹过的气体散向四周，同时抽风机工作，抽气槽内压强降低，因此，抽气孔进行抽气，周围的气体会被抽走，便于从工艺气体进气管进来吹过硅片的气体散向四周，接着被抽出，这样，抽走后压强降低，便于新的冷却用气体吹向硅片，也不容易散向金属腔本体其他位置，这样就做到了硅片一直有冷却气体冷却，先于金属腔本体其他位置降温，从而做到快速降温退火，效果更好，同时周围的热气也被抽走，便于吹向硅片后的气体散向四周，保证整体降温。

A Reaction Cavity Structure of Rapid Annealing Furnace

【技术实现步骤摘要】
一种快速退火炉的反应腔体结构
本技术涉及到退火炉反应腔体快速退火冷却领域，具体涉及到一种快速退火炉的反应腔体结构。
技术介绍
目前在国外快速退火炉设备中，炉腔大多数为对称设计，一般为圆形或六角形，因此大部分的灯排列都采用同心圆形式。这种结构的设计难点在于磁悬浮硅片旋转驱动机构的设计于平稳运动控制。硅片在加热过程中需要旋转，由于硅片是放在石英顶针上，为防止夹持出热集中或三十，硅片采取无任何夹持的自由状态，这就必需有一套精密的机构来实现以防止震动和保持水平，这对设计和加工都有一定的难度。因此，就有了不需要硅片旋转的，比如公告号为CN206379333U的“本技术涉及快速退火炉的反应腔体结构，属于金属加工设备领域，所述腔体包括金属腔体和金属腔体内部的石英腔体，金属腔体与石英腔体之间为加热灯带，所述石英腔体的后端设有工艺气体进气板，并由后法兰固定，石英腔体的前端设有废气排出管，石英腔体内设有石英托片架，所述石英托片架上固定有硅片，前法兰的中央设有工艺气体进气管，前法兰与石英腔体的接触面上设有密封圈，所述上板、下板上设有若干均匀分布的小孔，使得冷却气体通过小孔分流呈均匀状态进入金属腔体。本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种快速退火炉的反应腔体结构，包括金属腔本体（1），所述金属腔本体（1）的内腔设置有石英托片架（11），且石英托片架（11）的上端设置有顶针，所述顶针的上侧放置有硅片（12），且金属腔本体（1）的内腔上下壁上均匀设置有连接工艺气体进气管（13）的小孔（14）；其特征在于：上下侧的小孔（14）分别对应指向硅片（12）的上下端面，且石英托片架（11）上均匀开设有透气孔（2），所述石英托片架（11）上设置有抽气散热机构。

【技术特征摘要】
1.一种快速退火炉的反应腔体结构，包括金属腔本体（1），所述金属腔本体（1）的内腔设置有石英托片架（11），且石英托片架（11）的上端设置有顶针，所述顶针的上侧放置有硅片（12），且金属腔本体（1）的内腔上下壁上均匀设置有连接工艺气体进气管（13）的小孔（14）；其特征在于：上下侧的小孔（14）分别对应指向硅片（12）的上下端面，且石英托片架（11）上均匀开设有透气孔（2），所述石英托片架（11）上设置有抽气散热机构。2.根据权利要求1所述快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于：所述抽气...

【专利技术属性】
技术研发人员：高红波，高好朋，程田厚，杨杰，金红波，张月丽，胡天逸，
申请(专利权)人：洛阳欣珑陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41