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本实用新型公开了一种快速退火炉的反应腔体结构，上下侧的小孔分别对应指向硅片的上下端面，且石英托片架上均匀开设有透气孔，所述石英托片架上设置有抽气散热机构。从而做到迅速降温冷却，吹过的气体散向四周，同时抽风机工作，抽气槽内压强降低，因此，抽气...
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