一种利用掩膜约束液态金属制作电极的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种利用掩膜约束液态金属制作电极的装置，包括：工作平台用于放置工件；活动模板设置有与所需电极结构互补的镂空区域，用于放置在工件上表面并将镂空区域与工件紧贴结合；夹具设置在工作平台，用于将活动模板和工件紧贴结合后固定；金属液体输出部设置在活动模板的上方，用于将输出的金属液体注入活动模板的镂空区与工件结合冷却凝固后形成微电极；金属液体清洁部设置在活动模板的上方用于将活动模板上表面多余的金属液体清除。通过将需要的电极形状设置在活动模板形成镂空区域，与工件紧贴固定后，在镂空区域中注入液态金属，存在于镂空区的液态金属凝固后与工件结合形成微电极，工艺过程简单，成本较低，省去了预处理的时间。

A device for fabricating electrodes from liquid metal confined by a mask

The utility model discloses a device for making electrodes by using mask restraint liquid metal, which includes: a working platform for placing workpieces; a movable template is provided with hollow areas complementary to the required electrode structure for placing on the upper surface of the workpiece and tightly combining the hollow areas with the workpiece; and a fixture is arranged on a working platform for fixing the movable template and the workpiece after tightly combining; The metal liquid output part is arranged above the movable template, which is used to inject the output metal liquid into the hollow area of the movable template and form micro-electrodes after cooling and solidifying the workpiece. The metal liquid cleaning part is arranged above the movable template to remove the excess metal liquid on the surface of the movable template. The hollow area is formed by setting the required electrode shape in the movable template, and then injecting liquid metal into the hollow area after being closely fixed with the workpiece. The liquid metal existing in the hollow area solidifies and combines with the workpiece to form a microelectrode. The process is simple, the cost is low, and the pretreatment time is saved.

【技术实现步骤摘要】
一种利用掩膜约束液态金属制作电极的装置
本技术涉及电加工
，特别是涉及一种利用掩膜约束液态金属制作电极的装置。
技术介绍
电加工中使用的工具电极主要依赖于传统的机械加工制成，对于尺寸较小或者形状较为复杂的工具电极，目前主要采用的方法有微细电铸、微细电火花加工等方法。其中，微细电铸主要是采用光刻技术，在工件表面上制作一层掩膜，利用电解效应在掩膜的镂空区域生长出一系列微电极，从而形成阵列电极。微细电火花加工分为电火花反拷法和微细电火花线切割法，微细电火花反拷法是利用单个电极制造出阵列结构之后，再用该阵列结构作为阳极加工出阵列微电极。微细切割方法，则是根据所需电极的形状一步步去除成形。采用电火花反拷加工方法制造阵列电极，技术成本相当高，在制作过程花费周期长而且工艺复杂。电火花线切割虽然可以一次加工形成电极，但却无法加工出复杂结构的电极。而采用一般的电铸法来加工阵列微电极，需要在每一个工件表面都制作一层掩膜，花费时间较长，而且电铸完之后，掩膜难以去除干净，去除掩膜时产生强大的应力也容易破坏电铸成形的微结构。
技术实现思路
本技术的目的是提供了一种利用掩膜约束液态金属制作电极的装置，制成电极的工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用掩膜约束液态金属制作电极的装置，其特征在于，包括：工作平台，所述工作平台用于放置工件；活动模板，所述活动模板设置有与所需电极结构互补的镂空区域，用于放置在所述工件上表面并将所述镂空区域与所述工件紧贴结合；夹具，所述夹具设置在所述工作平台，用于将所述活动模板和所述工件紧贴结合后固定；金属液体输出部，所述金属液体输出部设置在所述活动模板的上方，用于将输出的金属液体注入所述活动模板的镂空区与所述工件结合冷却凝固后形成微电极；金属液体清洁部，所述金属液体清洁部设置在所述活动模板的上方用于将所述活动模板上表面多余的金属液体清除。

【技术特征摘要】
1.一种利用掩膜约束液态金属制作电极的装置，其特征在于，包括：工作平台，所述工作平台用于放置工件；活动模板，所述活动模板设置有与所需电极结构互补的镂空区域，用于放置在所述工件上表面并将所述镂空区域与所述工件紧贴结合；夹具，所述夹具设置在所述工作平台，用于将所述活动模板和所述工件紧贴结合后固定；金属液体输出部，所述金属液体输出部设置在所述活动模板的上方，用于将输出的金属液体注入所述活动模板的镂空区与所述工件结合冷却凝固后形成微电极；金属液体清洁部，所述金属液体清洁部设置在所述活动模板的上方用于将所述活动模板上表面多余的金属液体清除。2.如权利要求1所述利用掩膜约束液态金属制作电极的装置，其特征在于，还包括设置在所述工作平台的导...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁世雍，于兆勤，林志彪，刘江文，肖成龙，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：新型
国别省市：广东,44