掩膜版及其组件、曝光机和检测测试窗口遮挡效果的方法技术

本发明专利技术公开了一种掩膜版，包括对位标记测试窗口和间距测量测试窗口，所述掩膜版上还设置有第一检测标记和/或第二检测标记；所述第一检测标记，与所述对位标记测试窗口和/或间距测量测试窗口的靠近掩膜版内部的边框齐平；所述第二检测标记，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述对位标记测试窗口之间，和/或，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓间距测量测试窗口之间。本发明专利技术还公开了一种掩膜版组件、曝光机和采用所述掩膜版检测测试窗口遮挡效果的方法。本发明专利技术提出的掩膜版及其组件、曝光机和检测测试窗口遮挡效果的方法，能够用于监控测试窗口的遮挡不良问题。

【技术实现步骤摘要】
掩膜版及其组件、曝光机和检测测试窗口遮挡效果的方法
本专利技术涉及测试
，特别是指一种掩膜版及其组件、曝光机和检测测试窗口遮挡效果的方法。
技术介绍
彩色滤光片(ColorFilter，CF)作为LCD(LiquidCrystalDisplay，液晶显示器)实现彩色显示的关键零部件，其性能(主要为开口率、色纯度、色差)直接影响到液晶面板的色彩还原性、亮度、对比度。目前，彩色滤光片一般的层次结构基本为玻璃基板、BM(黑矩阵，BlackMatrix)、彩色光阻(RGB)、保护层(OC，OverCoat)、ITO(IndiumTinOxides，铟锡氧化物)透明导电膜等。现有技术中，曝光机在进行制作彩色光阻层的过程中的曝光工序时，需要采用遮板(Shade)对掩膜版上面用于间距控制的间距测量窗口(GapWindow)和用于对位的对位标记测试窗口(AlignmentMarkWindow)进行遮挡，避免其在多个工序中连续被曝光。但是，在实现本专利技术的过程中，专利技术人发现，目前在ColorFilter工艺制作上存在以下问题：1、在R/G/B/PS工艺中由于曝光机设备的遮板存在一定的不稳定性，经常性发生对位标记测试窗口和/或间距测量窗口的遮挡不严(即窗口没有完全被遮板所遮盖)，造成对位标记测试窗口和/或间距测量窗口对应于基板上的位置存在PR胶残留，由于残留PR胶具有一定高度，叠加后会造成显示面板在对盒后出现液晶外漏的不良情况。2、在R/G/B/PS工艺中由于曝光机设备的遮板存在一定的不稳定性，经常性发生对位标记测试窗口和/或间距测量窗口遮挡过大(即遮板过于靠近可视区)，造成可视区范围内出现CD(图形尺寸)变小的情况，造成一定程度上的RGBCD和PSCD过小问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种掩膜版及其组件、曝光机和检测测试窗口遮挡效果的方法，能够实现监控不良发生的作用。基于上述目的本专利技术提供的掩膜版，包括对位标记测试窗口和间距测量测试窗口，所述掩膜版上还设置有第一检测标记和/或第二检测标记；所述第一检测标记，与所述对位标记测试窗口和/或间距测量测试窗口的靠近掩膜版内部的边框齐平；所述第二检测标记，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述对位标记测试窗口之间，和/或，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述间距测量测试窗口之间。可选的，所述第一检测标记设置在所述对位标记测试窗口和/或间距测量测试窗口的一侧。可选的，所述第一检测标记包括第一子标记和第二子标记；所述第一子标记设置在所述对位标记测试窗口的一侧；所述第二子标记设置在所述间距测量测试窗口的一侧。可选的，所述第二检测标记的整体呈条状且长度大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离。可选的，所述第二检测标记的整体呈条状且长度大于所述掩膜版的透光区整体轮廓的长度。可选的，所述第二检测标记的宽度小于所述掩膜版的透光区整体轮廓朝向所述对位标记测试窗口的边缘与所述对位标记测试窗口朝向所述掩膜版的透光区整体轮廓的边缘之间的距离，和/或，所述第二检测标记的宽度小于所述掩膜版的透光区整体轮廓的朝向所述间距测量测试窗口的边缘与所述间距测量测试窗口朝向所述掩膜版的透光区整体轮廓的边缘之间的距离。本专利技术实施例的第二个方面，提供了一种掩膜版组件，包括多个如上任一项所述的掩膜版；所述第一检测标记包括第一红色检测标记、第一绿色检测标记、第一蓝色检测标记和第一隔垫物检测标记；所述第一红色检测标记、第一绿色检测标记、第一蓝色检测标记和第一隔垫物检测标记分别设置在所述掩膜版组件的不同的掩膜版上；且所述第一红色检测标记、第一绿色检测标记、第一蓝色检测标记和第一隔垫物检测标记在各自掩膜版上所处位置各不相同；和/或，所述第二检测标记包括第二红色检测标记、第二绿色检测标记、第二蓝色检测标记和第二隔垫物检测标记；所述第二红色检测标记、第二绿色检测标记、第二蓝色检测标记和第二隔垫物检测标记分别设置在所述掩膜版组件的不同的掩膜版上，且所述第二红色检测标记、第二绿色检测标记、第二蓝色检测标记和第二隔垫物检测标记在各自掩膜版上所处位置各不相同。可选的，所述第二红色检测标记、第二绿色检测标记、第二蓝色检测标记和第二隔垫物检测标记的数量均为多个；多个所述第二红色检测标记等间隔排列，且距离最远的两个第二红色检测标记之间的距离大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离；多个所述第二绿色检测标记等间隔排列，且距离最远的两个第二绿色检测标记之间的距离大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离；多个所述第二蓝色检测标记等间隔排列，且距离最远的两个第二蓝色检测标记之间的距离大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离；多个所述第二隔垫物检测标记等间隔排列，且距离最远的两个第二隔垫物检测标记之间的距离大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离。本专利技术实施例的第三个方面，提供了一种采用如上任一项所述掩膜版或者采用如上任一项所述掩膜版组件检测测试窗口遮挡效果的方法，其特征在于，包括：利用所述掩膜版或掩膜版组件完成彩色滤光片中红色着色层、绿色着色层、蓝色着色层和/或隔垫物层的制作；对所述彩色滤光片的基板进行光学检测；若检测到所述第一检测标记在所述彩色滤光片的基板上形成的第一记号，则判定为出现第一遮挡缺陷；和/或，若检测到所述第二检测标记在所述彩色滤光片的基板上形成的第二记号为不完整的第二检测标记图案，则判定为出现第二遮挡缺陷。可选的，所述光学检测采用的是自动光学检测技术。本专利技术实施例的第四个专利技术，提供了一种曝光机，采用如上任一项所述掩膜版或者采用如上任一项所述掩膜版组件完成曝光。从上面所述可以看出，本专利技术实施例提供的掩膜版及其组件、曝光机和检测测试窗口遮挡效果的方法，通过在掩膜版上设置第一检测标记和/或第二检测标记，在使用所述掩膜版进行彩色滤光片的R/G/B/PS工艺处理后，若彩色滤光片的基板上能够通过光学检测到相应的记号，则说明出现了遮挡效果不良的问题，从而能够进行遮挡效果的监控。附图说明图1为本专利技术提供的掩膜版的第一个实施例的俯视结构示意图；图2a为本专利技术提供的掩膜版的第一个实施例的测试窗口被遮板适当遮挡的俯视示意图；图2b为本专利技术提供的掩膜版的第一个实施例的测试窗口被遮板遮挡过小的俯视示意图；图2c为本专利技术提供的掩膜版的第一个实施例的测试窗口被遮板遮挡过大的俯视示意图；图3a为经过图2a中所示位置的遮板遮挡后的彩色滤光片的基板的俯视结构示意图；图3b为经过图2b中所示位置的遮板遮挡后的彩色滤光片的基板的俯视结构示意图；图3c为经过图2c中所示位置的遮板遮挡后的彩色滤光片的基板的俯视结构示意图；图4为本专利技术提供的掩膜版的第二个实施例的俯视结构示意图；图5为本专利技术提供的掩膜版组件的第一个实施例中，在所述掩膜版组件的4张掩膜版上，以所述掩膜版的第一个实施例的设置方式，分别在不同位置设置4种检测标记时，4张掩膜版对齐重叠时的俯视投影示意图；图6为本专利技术提供的掩膜版组件的第二个实施例中，在所述掩膜版组件的4张掩膜版上，以所述掩膜版的第二个实施例的设置方式，分别在不同位置设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜版，包括对位标记测试窗口和间距测量测试窗口，其特征在于，所述掩膜版上还设置有第一检测标记和/或第二检测标记；所述第一检测标记，与所述对位标记测试窗口和/或间距测量测试窗口的靠近掩膜版内部的边框齐平；所述第二检测标记，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述对位标记测试窗口之间，和/或，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述间距测量测试窗口之间。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版，包括对位标记测试窗口和间距测量测试窗口，其特征在于，所述掩膜版上还设置有第一检测标记和/或第二检测标记；所述第一检测标记，与所述对位标记测试窗口和/或间距测量测试窗口的靠近掩膜版内部的边框齐平；所述第二检测标记，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述对位标记测试窗口之间，和/或，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述间距测量测试窗口之间。2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一检测标记设置在所述对位标记测试窗口和/或间距测量测试窗口的一侧。3.根据权利要求1或2所述的掩膜版，其特征在于，所述第一检测标记包括第一子标记和第二子标记；所述第一子标记设置在所述对位标记测试窗口的一侧；所述第二子标记设置在所述间距测量测试窗口的一侧。4.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第二检测标记的整体呈条状且长度大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离。5.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第二检测标记的整体呈条状且长度大于所述掩膜版的透光区整体轮廓的长度。6.根据权利要求4或5所述的掩膜版，其特征在于，所述第二检测标记的宽度小于所述掩膜版的透光区整体轮廓朝向所述对位标记测试窗口的边缘与所述对位标记测试窗口朝向所述掩膜版的透光区整体轮廓的边缘之间的距离，和/或，所述第二检测标记的宽度小于所述掩膜版的透光区整体轮廓的朝向所述间距测量测试窗口的边缘与所述间距测量测试窗口朝向所述掩膜版的透光区整体轮廓的边缘之间的距离。7.一种掩膜版组件，其特征在于，包括多个如权利要求1-6任一项所述的掩膜版；所述第一检测标记包括第一红色检测标记、第一绿色检测标记、第一蓝色检测标记和第一隔垫物检测标记；所述第一红色检测标记、第一绿色检测标记、第一蓝色检测标记和第一隔垫物检测标记分别设置在所述掩膜版组件的不同的掩膜版上；且所述第一红色检测标记、第一绿色检测标记、第一蓝色检测标记和第一隔垫物检测标记在各自掩膜版上所处位置各不相同；和/或，所述第二检测标记包括第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔家宾，王丽，李志宾，梁鹏飞，刘畅，陈鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11