一种稳定型晶元片检测头组件制造技术

本实用新型专利技术涉及自动化检测工装技术领域，公开了一种稳定型晶元片检测头组件，包括探针座，探针座由陶瓷制成，探针座的上端中心设有凹腔，凹腔底部设有若干探针定位通孔，探针定位通孔内设有探针，探针的下端伸出探针座底面，凹腔的底面设有与探针一一对应连接的导电片，导电片与凹腔底面之间螺栓连接，每个导电片上均设有导电柱，凹腔的内壁上设有环形阶梯面，环形阶梯面上设有线路板，线路板与导电柱之间电连接，探针座的外壁上设有若干环形散热槽，凹腔的开口端设有端盖，端盖的上侧面中心设有连接柱；探针座的底面中心设有限位柱。本实用新型专利技术与自动检测设备连接使用，极大提高晶元片的检测效率；同时自身密封性能好，防水防尘性能好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及自动化检测
，尤其涉及一种稳定型晶元片检测头组件。
技术介绍
晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，晶元在封装制造成芯片之前需要对其性能进行检测，由于一个晶元片上存在成百上千个晶元，人工通过探针对每个晶元进行检测，工作量非常大，而且容易漏检。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术中晶元片检测效率低的问题，提供了一种能适用于自动检测设备，极大提高晶元片检测效率的稳定型晶元片检测头组件。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种稳定型晶元片检测头组件，包括探针座，所述的探针座由陶瓷制成，所述探针座的上端中心设有凹腔，所述凹腔底部设有若干探针定位通孔，所述探针定位通孔内设有探针，所述探针的下端伸出探针座底面，所述凹腔的底面设有与探针一一对应连接的导电片，所述的导电片与凹腔底面之间螺栓连接，每个导电片上均设有导电柱，所述凹腔的内壁上设有环形阶梯面，所述的环形阶梯面上设有线路板，所述的线路板与导电柱之间电连接，所述探针座的外壁上设有若干环形散热槽，所述凹腔的开口端设有端盖，所述端盖的上侧面中心设有连接柱；所述探针座的底面中心设有限位柱。连接柱与自动检测设备上的升降机构连接，晶元片安装在滑动支架上，探针座向下移动一次，所有的探针与晶元片表面的晶元弹性接触、检测，然后探针座上移，滑动支架带动晶元片移动一段距离，探针座下降检测，依次循环，将晶元片上的所有晶元都检测一次，检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果，极大的提高了晶元片的检测效率；线路板、探针上端电连接都被封装在凹腔内，防水、防尘性能好，探针座由陶瓷制成，自身绝缘性能好，探针损坏后更换新的探针后可重复使用，同时陶瓷导热性能良好，配合环形散热槽，确保线路板良好的散热；限位柱能限定探针的形变量，能保持探针与晶元的接触压力一直，同时对探针起到保护作用，防止探针形变量过大而损坏。作为优选，所述限位柱与探针座之间螺纹连接，所述限位柱的外侧套设有调节套，所述的限位柱为螺柱，所述调节套与限位柱之间螺纹连接，所述调节套的侧面设有限位螺栓，所述调节套的下端设有缓冲垫片。调节套在限位柱上转动，从而可以调节限位高度，能适用于不同探针的限位，通用性强。作为优选，所述的端盖上设有引线孔，线路板上的数据线穿过引线孔，数据线的外端设有数据插头，所述的引线孔内设有防水套。线路板上的数据线从引线孔处伸出，数据接头与自动化设备上的接口直接连接，实现数据传递；防水套对引线孔密封，起到防水作用，防止外界的水汽进入凹腔内导致探针短路。作为优选，所述端盖的下侧面边缘与线路板边缘处设有密封圈，所述端盖的圆周面上设有环形限位槽，所述环形限位槽的截面呈三角形，所述探针座的外侧与环形限位槽的对应处设有锁止螺栓。密封圈起到密封作用，防止外界水分进入凹腔内造成短路；端盖卡入凹槽开口端后，锁止螺栓拧入环形限位槽内，由于环形限位槽截面为三角形，因此锁止螺栓的端面压在斜面上，从而使得端盖压紧密封圈。作为优选，所述的探针与探针定位通孔的内壁之间设有防水胶。为了便于探针的安装，探针与探针定位通孔之间间隙配合，这样就会导致探针晃动，防水胶一方面对探针完全定位，防止探针晃动，另一方面起到防水作用，防止外界水汽从探针与探针定位通孔之间的间隙内进入凹腔。因此，本技术与自动检测设备连接使用，极大提高晶元片的检测效率；同时自身密封性能好，防水防尘性能好，使用寿命长；能限定探针的形变量，确保探针与晶元的接触压力一直，提高探针使用寿命。附图说明图1为本技术的一种结构示意图。图2为图1的剖视图。图3为图2中A处局部放大示意图。图中：探针座1、凹腔2、探针定位通孔3、探针4、导电片5、防水胶6、导电柱7、环形阶梯面8、线路板9、端盖10、密封圈11、连接柱12、引线孔13、数据线14、数据插头15、防水套16、环形限位槽17、锁止螺栓18、限位柱19、调节套20、限位螺栓21、缓冲垫片22、环形散热槽100。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步描述：如图1和图2所示的一种稳定型晶元片检测头组件，包括探针座1，探针座由陶瓷制成，探针座1的上端中心设有凹腔2，凹腔底部设有若干探针定位通孔3，探针定位通孔内设有探针4，本实施例中的探针有16根，呈4X4的矩阵分布，探针的下端伸出探针座底面，探针的检测端面为球面，所有探针的检测端面共面；凹腔的底面设有与探针一一对应连接的导电片5，探针与导电片之间焊接连接，导电片与凹腔底面之间螺栓连接，每个导电片上均设有导电柱7，探针与探针定位通孔的内壁之间设有防水胶6，凹腔的内壁上设有环形阶梯面8，环形阶梯面上设有线路板9，线路板与导电柱之间电连接，探针座1的外壁上设有若干环形散热槽100，凹腔的开口端设有端盖10，端盖的下侧面边缘与线路板边缘处设有密封圈11，端盖的上侧面中心设有连接柱12；端盖上设有引线孔13，线路板上的数据线14穿过引线孔，数据线的外端设有数据插头15，引线孔内设有防水套16；如图3所示，端盖的圆周面上设有环形限位槽17，环形限位槽的截面呈三角形，探针座的外侧与环形限位槽的对应处设有锁止螺栓18，锁止螺栓拧紧时，端盖压紧密封圈；探针座的底面中心设有限位柱19，限位柱与探针座之间螺纹连接，限位柱的外侧套设有调节套20，限位柱为螺柱，调节套与限位柱之间螺纹连接，调节套的侧面设有限位螺栓21，调节套的下端设有缓冲垫片22。结合附图，本技术的使用方法如下：连接柱12与自动检测设备上的升降机构连接，通过调节套调节限位高度，从而限定探针的形变量，晶元片安装在滑动支架上，探针座向下移动一次，所有的探针与晶元片表面的晶元弹性接触、检测，然后探针座上移，滑动支架带动晶元片移动一段距离，探针座下降检测，依次循环，将晶元片上的所有晶元都检测一次，检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果，极大的提高了晶元片的检测效率；线路板、探针与导电片的连接都被完全封装在凹腔内，防水、防尘性能好；探针座由陶瓷制成，自身绝缘性能好，防止探针之间短路，同时陶瓷导热性能良好，配合环形散热槽，确保线路板良好的散热。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种稳定型晶元片检测头组件，其特征是，包括探针座，所述的探针座由陶瓷制成，所述探针座的上端中心设有凹腔，所述凹腔底部设有若干探针定位通孔，所述探针定位通孔内设有探针，所述探针的下端伸出探针座底面，所述凹腔的底面设有与探针一一对应连接的导电片，所述的导电片与凹腔底面之间螺栓连接，每个导电片上均设有导电柱，所述凹腔的内壁上设有环形阶梯面，所述的环形阶梯面上设有线路板，所述的线路板与导电柱之间电连接，所述探针座的外壁上设有若干环形散热槽，所述凹腔的开口端设有端盖，所述端盖的上侧面中心设有连接柱；所述探针座的底面中心设有限位柱。

【技术特征摘要】
1.一种稳定型晶元片检测头组件，其特征是，包括探针座，所述的探针座由陶瓷制成，所述探针座的上端中心设有凹腔，所述凹腔底部设有若干探针定位通孔，所述探针定位通孔内设有探针，所述探针的下端伸出探针座底面，所述凹腔的底面设有与探针一一对应连接的导电片，所述的导电片与凹腔底面之间螺栓连接，每个导电片上均设有导电柱，所述凹腔的内壁上设有环形阶梯面，所述的环形阶梯面上设有线路板，所述的线路板与导电柱之间电连接，所述探针座的外壁上设有若干环形散热槽，所述凹腔的开口端设有端盖，所述端盖的上侧面中心设有连接柱；所述探针座的底面中心设有限位柱。2.根据权利要求1所述的一种稳定型晶元片检测头组件，其特征是，所述限位柱与探针座之间螺纹连接，所述限位柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：周莲国，
申请(专利权)人：普铄电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31