一种半导体废气处理设备反应腔体支架制造技术

本实用新型专利技术涉及废气处理设备技术领域，具体为一种半导体废气处理设备反应腔体支架，包括安装板和承托板，所述承托板固定焊接在反应腔的腔体外侧壁上，所述承托板包括弧形板，弧形板焊接在反应腔的腔体外侧壁上，且弧形板的上下两端均一体设置连接板，所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂，本实用新型专利技术的有益效果是：旋转角度可达300°，完全实现腔体在机台内进出；轻松避开与机台其它零部件的碰触，避免造成零件的损坏；安装有塑料衬套，使腔体旋转更加轻松、自如。本装置通过锁销连接，方便拆装。可以更加轻松的上下移动腔体，实现方便的拆装腔体目的。本装置结构牢固，安全可靠，可一人操作，节省人力。

A Reaction Cavity Bracket for Semiconductor Waste Gas Treatment Equipment

The utility model relates to the technical field of waste gas treatment equipment, in particular to a reaction chamber bracket of semiconductor waste gas treatment equipment, comprising a mounting plate and a supporting plate, which are fixed and welded on the outer side wall of the reaction chamber. The supporting plate comprises an arc plate, which is welded on the outer side wall of the reaction chamber, and the upper and lower ends of the arc plate are uniformly provided with connecting plates. The connecting plate connects the arm through a bolt through the installation. The beneficial effect of the utility model is that the rotating angle can reach 300 degrees, and the cavity can enter and exit completely in the machine platform; the contact with other parts of the machine platform can be easily avoided, and the damage of the parts can be avoided; the plastic bushing is installed to make the rotation of the cavity easier and freer. The device is connected by a lock pin to facilitate disassembly and assembly. The utility model can move the cavity up and down more easily and realize the purpose of convenient disassembly and assembly of the cavity. The device has strong structure, safety and reliability, can be operated by one person and saves manpower.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体废气处理设备反应腔体支架
本技术涉及废气处理设备
，具体为一种半导体废气处理设备反应腔体支架。
技术介绍
1、废气处理设备反应腔体内部高温、剧烈的化学反应等对腔体的材质要求十分苛刻，为了达到更好的处理效果及延长使用寿命，设计的腔体重量一般比较重、体积比较大，反应腔体是安装在水槽上方的，水槽材质一般为耐腐蚀的塑料材质，不能承受重物压力，且不能耐高温，就算换成金属材质也无法避免腐蚀情况，如果反应腔体重力全部施加在水槽上方，水槽会因重力或高温腐蚀塌陷导致废气、废水外泄，造成全厂员工撤离或员工中毒等严重的工安事故，为了解决这一安全隐患，设备厂商反应腔体都设计有独立的固定支撑结构，例如：1、滑轨式，在反应腔体外上方两侧各安装一个固定式滑轨，维修保养时可以像抽屉一样拉出。2、固定式，在制作设备壳体时直接设计有腔体承重梁(铁板或方管等)，安装在反应腔体的下方或者两侧，承载腔体的重力。1、滑轨式，存在以下缺点：(1)调节能力差，在安装腔体时需要调整腔体的位置，滑轨式只能前后小范围移动腔体，左右无法调节。(2)承载能力差，一般滑轨为3节轨道式，在拆腔体向外拉出时，到最后一节轨道无法承载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体废气处理设备反应腔体支架，包括安装板(6)和承托板(11)，所述承托板(11)固定焊接在反应腔(1)的腔体外侧壁上，其特征在于：所述承托板(11)包括弧形板，弧形板焊接在反应腔(1)的腔体外侧壁上，且弧形板的上下两端均一体设置连接板，所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂(2)，所述手臂(2)的下端一侧设置突出设置定位柱(21)；所述安装板(6)的侧壁上焊接两个固定板(61)，且安装板(6)在靠近固定板(61)的一侧底端焊接固定座，所述固定座上通过螺栓安装有千斤顶(8)，两个固定板(61)之间插入第一支撑架(4)的一端，所述第一支撑架(4)的两侧均贯穿设置穿孔，所述固定板(61)与第...

【技术特征摘要】
1.一种半导体废气处理设备反应腔体支架，包括安装板(6)和承托板(11)，所述承托板(11)固定焊接在反应腔(1)的腔体外侧壁上，其特征在于：所述承托板(11)包括弧形板，弧形板焊接在反应腔(1)的腔体外侧壁上，且弧形板的上下两端均一体设置连接板，所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂(2)，所述手臂(2)的下端一侧设置突出设置定位柱(21)；所述安装板(6)的侧壁上焊接两个固定板(61)，且安装板(6)在靠近固定板(61)的一侧底端焊接固定座，所述固定座上通过螺栓安装有千斤顶(8)，两个固定板(61)之间插入第一支撑架(4)的一端，所述第一支撑架(4)的两侧均贯穿设置穿孔，所述固定板(61)与第一支撑架(4)一侧的穿孔均贯穿设置定位销二(7)，所述定位销二(7)与第一支撑架(4)的一侧均贯穿设置锁销孔(41)，且定位销二(7)与第一支撑架(4)通过穿插在锁销孔(41)中的锁销固定，所述第一支撑架(4)的另一侧设置第二支撑架(3)，所述第二支撑架(3)的两侧均设置穿孔，所述第二支撑架(3)一侧的两端交错位于第一支撑架(4)的远离安装板(6)的两端上方，且第二支撑架(3)与第...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，
申请(专利权)人：上海高生集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31