本实用新型专利技术涉及废气处理零部件技术领域，公开了一种半导体废气处理设备新型涂层波纹管，包括波纹管本体、伸缩管、上端板和下端板，所述伸缩管固定设于波纹管本体的中间端，所述上端板与下端板固定设于波纹管本体的两端，所述上端板与下端板的内侧开设有定位槽，所述定位槽的内部设有固定板，所述固定板的内侧中间固定设有纤维滤芯，所述定位槽的内侧边缘处开设分布有凹点，所述固定板的内侧边缘处开设分布有定位凸块。该半导体废气处理设备新型涂层波纹管，高效过滤净化处理废气，定位安装更加精确，提高了与半导体废气处理设备对接安装的效率，达到了金属波纹管抗腐蚀、高强度的目的，避免气体杂质黏结附着，适用范围广，防水阻燃，抗冲击。抗冲击。抗冲击。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体废气处理设备新型涂层波纹管
[0001]本技术涉及废气处理零部件
，具体为一种半导体废气处理设备新型涂层波纹管。
技术介绍
[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。废气处理设备，主要是指运用不同工艺技术，通过回收或去除、减少排放尾气的有害成分，达到保护环境、净化空气的一种环保设备，让我们的环境不受到污染。
[0003]目前，现有的半导体废气处理设备新型涂层波纹管存在如下问题：(1)功能较少，与半导体废气处理设备对接安装效率低，长期使用容易堵塞损坏，无法过滤净化半导体废气，使用不便；(2)长时间使用造成波纹管快速腐蚀的问题，强度不够，不耐高温，气体杂质容易黏结附着波纹管，适用范围局限。为此，需要设计相应的技术方案给予解决。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种半导体废气处理设备新型涂层波纹管，解决了功能较少，与半导体废气处理设备对接安装效率低，长期使用容易堵塞损坏，无法过滤净化半导体废气，使用不便的技术问题。
[0006](二)技术方案<br/>[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种半导体废气处理设备新型涂层波纹管，包括波纹管本体、伸缩管、上端板和下端板，所述伸缩管固定设于波纹管本体的中间端，所述上端板与下端板固定设于波纹管本体的两端，所述上端板与下端板的内侧开设有定位槽；
[0008]所述定位槽的内部设有固定板，所述固定板的内侧中间固定设有纤维滤芯，所述定位槽的内侧边缘处开设分布有凹点，所述固定板的内侧边缘处开设分布有定位凸块。
[0009]优选的，所述波纹管本体与伸缩管的外侧涂覆有外四氟乙烯层，所述波纹管本体与伸缩管的内侧涂覆有内四氟乙烯层。
[0010]优选的，所述内四氟乙烯层的内侧涂覆有镀锌层，所述镀锌层的内侧涂覆有PVC涂层。
[0011]优选的，所述纤维滤芯的外端中间开设有凹槽，所述凹槽的中间端固定设有凸板。
[0012]优选的，所述上端板与下端板的边缘处开设分布有安装孔，所述上端板与下端板的外端粘接有橡胶密封垫。
[0013](三)有益效果
[0014](1)该半导体废气处理设备新型涂层波纹管，通过在上端板与下端板内侧开设的定位槽，便于快速拆装固定板和纤维滤芯，结构简单，可高效的过滤净化处理废气，通过在定位槽内侧边缘处开设分布的凹点和固定板内侧边缘处开设分布的定位凸块，使得定位安装更加精确，使用方便，成本低，提高了与半导体废气处理设备对接安装的效率。
[0015](2)该半导体废气处理设备新型涂层波纹管，通过在波纹管本体与伸缩管内外侧涂覆的四氟乙烯层、镀锌层和PVC涂层，达到了金属波纹管抗腐蚀、高强度的目的，内层光滑，避免气体杂质黏结附着，适用范围广，防水阻燃，抗冲击。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术的材质结构示意图；
[0018]图3为本技术的端板内部安装结构示意图；
[0019]图4为本技术的滤板结构示意图。
[0020]图中，波纹管本体1、伸缩管2、上端板3、下端板4、定位槽5、外四氟乙烯层6、内四氟乙烯层7、镀锌层8、PVC涂层9、纤维滤芯10、固定板11、凹槽12、凸板13、定位凸块14、橡胶密封垫15、安装孔16。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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图4，本技术实施例提供一种技术方案：一种半导体废气处理设备新型涂层波纹管，包括波纹管本体1、伸缩管2、上端板3和下端板4，所述伸缩管2固定设于波纹管本体1的中间端，所述上端板3与下端板4固定设于波纹管本体1的两端，所述上端板3与下端板4的内侧开设有定位槽5；
[0023]所述定位槽5的内部设有固定板11，所述固定板11的内侧中间固定设有纤维滤芯10，所述定位槽5的内侧边缘处开设分布有凹点，所述固定板11的内侧边缘处开设分布有定位凸块14。
[0024]进一步改进地，所述波纹管本体1与伸缩管2的外侧涂覆有外四氟乙烯层6，所述波纹管本体1与伸缩管2的内侧涂覆有内四氟乙烯层7。
[0025]进一步改进地，所述内四氟乙烯层7的内侧涂覆有镀锌层8，内层光滑，避免气体杂质黏结附着，适用范围广，所述镀锌层8的内侧涂覆有PVC涂层9，防水阻燃，抗冲击。
[0026]进一步改进地，所述纤维滤芯10的外端中间开设有凹槽12，所述凹槽12的中间端固定设有凸板13，便于手持快速对接放置于定位槽5内，设计合理。
[0027]具体改进地，所述上端板3与下端板4的边缘处开设分布有安装孔16，所述上端板3与下端板4的外端粘接有橡胶密封垫15，可稳定紧固的对接安装，密封性能高。
[0028]工作原理：通过上端板3与下端板4内侧开设的定位槽5快速拆装固定板11和纤维
滤芯10，纤维滤芯为碳纤维滤芯，是新一代吸附材料，碳纤维滤芯超过80％的碳原子位于内外表面，构成独特的吸附结构，能防止碳末颗粒和细小的污染物流出，高效的过滤净化处理废气，通过固定板11内侧边缘处开设分布的定位凸块14精确定位安装于定位槽5内侧边缘处开设分布的凹点上，与半导体废气处理设备对接安装效率高，波纹管本体1与伸缩管2内外侧涂覆的外四氟乙烯层6和内四氟乙烯层7达到了金属波纹管抗腐蚀、高强度的目的，镀锌层8内层光滑，避免气体杂质黏结附着，适用范围广，PVC涂层9防水阻燃，抗冲击。
[0029]本技术的波纹管本体1、伸缩管2、上端板3、下端板4、定位槽5、外四氟乙烯层6、内四氟乙烯层7、镀锌层8、PVC涂层9、纤维滤芯10、固定板11、凹槽12、凸板13、定位凸块14、橡胶密封垫15、安装孔16，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术解决的问题是功能较少，与半导体废气处理设备对接安装效率低，长期使用容易堵塞损坏，无法过滤净化半导体废气，使用不便，本技术通过上述部件的互相组合，高效的过滤净化处理废气，定位安装更加精确，提高了与半导体废气处理设备对接安装的效率，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体废气处理设备新型涂层波纹管，包括波纹管本体(1)、伸缩管(2)、上端板(3)和下端板(4)，其特征在于：所述伸缩管(2)固定设于波纹管本体(1)的中间端，所述上端板(3)与下端板(4)固定设于波纹管本体(1)的两端，所述上端板(3)与下端板(4)的内侧开设有定位槽(5)；所述定位槽(5)的内部设有固定板(11)，所述固定板(11)的内侧中间固定设有纤维滤芯(10)，所述定位槽(5)的内侧边缘处开设分布有凹点，所述固定板(11)的内侧边缘处开设分布有定位凸块(14)。2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备新型涂层波纹管，其特征在于：所述波纹管本体(1)与伸缩管(2)的外侧涂覆有外四氟乙烯层(6...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，
申请(专利权)人：上海高生集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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