一种半导体尾气管道防堵加热棒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体尾气管道防堵加热棒，包括装置本体，所述装置本体包括加热棒装置和连接线，所述连接线安装在加热棒装置左端；所述加热棒装置呈圆柱状结构，所述加热棒装置表面设有若干组呈横向等距方式分布的散热螺旋片，所述散热螺旋片呈螺旋状结构。该种装置可以使吹扫氮气温度更高，防堵效果更好，以及延长加热棒使用年限，该种半导体尾气管道防堵加热棒在加热棒周围紧密焊接散热螺旋片，使氮气围绕加热棒螺旋转动，增加与氮气接触面积，使换热效率更高，气体温度更高。气体温度更高。气体温度更高。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体尾气管道防堵加热棒


[0001]本技术涉及半导体设备
，具体为一种半导体尾气管道防堵加热棒。

技术介绍

[0002]在泛半导体行业生产过程中，大量使用化学品和特殊气体，生产环节持续产生大量有毒有害气体的工艺废气，工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气处理设备是生产工艺中不可分割的组成部分，其安全稳定性直接关系到产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。
[0003]现有的半导体设备有如下缺陷：
[0004]现有半导体尾气管道或废气处理设备中，在管道角度或温度变化较大的部位，容易引起管道堵塞，导致半导体生产停滞延误，加热棒与氮气接触面小，换热效率低。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种半导体尾气管道防堵加热棒，解决了现有半导体尾气管道或废气处理设备中，在管道角度或温度变化较大的部位，容易引起管道堵塞，导致半导体生产停滞延误，加热棒与氮气接触面小，换热效率低的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种半导体尾气管道防堵加热棒，包括装置本体，所述装置本体包括加热棒装置和连接线，所述连接线安装在加热棒装置左端；
[0009]优选的，所述加热棒装置呈圆柱状结构，所述加热棒装置表面设有若干组呈横向等距方式分布的散热螺旋片，所述散热螺旋片呈螺旋状结构。
[0010]优选的，所述加热棒装置包括防腐蚀外壳、加热棒芯和密封盖，所述防腐蚀外壳内部为中空式结构，所述加热棒芯安装在防腐蚀外壳内，所述密封盖安装在防腐蚀外壳顶部。
[0011]优选的，所述密封盖呈圆形结构，所述密封盖底部设有连接块，所述连接块表面设有若干组螺纹，所述密封盖顶部外侧设有密封垫片，所述密封盖顶部开设有连接孔，所述连接孔外侧设有橡胶圈。
[0012](三)有益效果
[0013]本技术提供了一种半导体尾气管道防堵加热棒。具备以下有益效果：
[0014]该种半导体尾气管道防堵加热棒特点在于使吹扫氮气温度更高，防堵效果更好，以及延长加热棒使用年限，该种半导体尾气管道防堵加热棒在加热棒周围紧密焊接散热螺旋片，使氮气围绕加热棒螺旋转动，增加与氮气接触面积，使换热效率更高，气体温度更高。
附图说明
[0015]图1为本技术整体的结构示意图；
[0016]图2为本技术加热棒装置内部的结构示意图；
[0017]图3为本技术密封盖的结构示意图。
[0018]图中，1、装置本体；2、加热棒装置；3、连接线；4、散热螺旋片；5、防腐蚀外壳；6、加热棒芯；7、密封盖；8、连接块；9、螺纹；10、连接孔；11、橡胶圈；12、密封垫片。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
3，本技术实施例提供一种技术方案：一种半导体尾气管道防堵加热棒，包括装置本体1，所述装置本体1包括加热棒装置2和连接线3，所述连接线3安装在加热棒装置2左端；
[0021]所述加热棒装置2呈圆柱状结构，所述加热棒装置2表面设有若干组呈横向等距方式分布的散热螺旋片4，所述散热螺旋片4呈螺旋状结构，通过对加热棒装置2外侧设置若干组散热螺旋片4时，氮气可以围绕着加热棒装置2外侧的散热螺旋片4进行转动，进一步来增加与氮气接触面积，使换热效率更高，气体温度更高。
[0022]所述加热棒装置2包括防腐蚀外壳5、加热棒芯6和密封盖7，所述防腐蚀外壳5内部为中空式结构，所述加热棒芯6安装在防腐蚀外壳5内，所述密封盖7安装在防腐蚀外壳5顶部，加热棒芯6放入防腐蚀外壳5内，防腐蚀外壳5可以对加热棒芯6进行保护，防止加热棒芯6被腐蚀。
[0023]所述密封盖7呈圆形结构，所述密封盖7底部设有连接块8，所述连接块8表面设有若干组螺纹9，所述密封盖7顶部外侧设有密封垫片12，所述密封盖7顶部开设有连接孔10，所述连接孔10外侧设有橡胶圈11，密封盖7可以通过底部的连接块8插入防腐蚀外壳5顶部，从而通过螺纹9来对防腐蚀外壳5和密封盖7连接、固定，而密封垫片12可以提高连接处的紧密性，防止出现渗漏的情况发生，而密封盖7顶部的连接孔10是为了便于连接线3的插入连接，而连接孔10外侧的橡胶圈11可以对连接孔10连接处进行密封。
[0024]工作原理：作业时，通过对加热棒装置2外侧设置若干组散热螺旋片4时，氮气可以围绕着加热棒装置2外侧的散热螺旋片4进行转动，进一步来增加与氮气接触面积，使换热效率更高，气体温度更高，而该种加热棒芯6放入防腐蚀外壳5内，防腐蚀外壳5可以对加热棒芯6进行保护，防止加热棒芯6被腐蚀，该种装置本体1内密封盖7可以通过底部的连接块8插入防腐蚀外壳5顶部，从而通过螺纹9来对防腐蚀外壳5和密封盖7连接、固定，而密封垫片12可以提高连接处的紧密性，防止出现渗漏的情况发生，而密封盖7顶部的连接孔10是为了便于连接线3的插入连接，而连接孔10外侧的橡胶圈11可以对连接孔10连接处进行密封。
[0025]本技术的1、装置本体；2、加热棒装置；3、连接线；4、散热螺旋片；5、防腐蚀外壳；6、加热棒芯；7、密封盖；8、连接块；9、螺纹；10、连接孔；11、橡胶圈；12、密封垫片，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术解决的问题是现有半导体尾气管道或废气处理设备中，在管道角度或温度变化较大的部位，容易引起管道堵塞，导致半导体生产停滞
延误，加热棒与氮气接触面小，换热效率低的问题，本技术通过上述部件的互相组合，可以使吹扫氮气温度更高，防堵效果更好，以及延长加热棒使用年限，该种半导体尾气管道防堵加热棒在加热棒周围紧密焊接散热螺旋片，使氮气围绕加热棒螺旋转动，增加与氮气接触面积，使换热效率更高，气体温度更高。
[0026]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0027]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体尾气管道防堵加热棒，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括加热棒装置(2)和连接线(3)，所述连接线(3)安装在加热棒装置(2)左端；所述加热棒装置(2)呈圆柱状结构，所述加热棒装置(2)表面设有若干组呈横向等距方式分布的散热螺旋片(4)，所述散热螺旋片(4)呈螺旋状结构。2.根据权利要求1所述的一种半导体尾气管道防堵加热棒，其特征在于：所述加热棒装置(2)包括防腐蚀外壳(5)、加热棒芯(6)和密封盖(7)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，
申请(专利权)人：上海高生集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：