一种基座耐电压结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基座耐电压结构，基座包括有加热底板和平台，加热底板顶部中间设置有向上凸起的平台，平台四周的加热底板的顶部安装有绝缘框，绝缘框为陶瓷制成，绝缘框上开设有锁附孔。本实用新型专利技术通过螺丝贯穿锁附孔和加热底板连接，从而将绝缘框固定安装在平台四周外部的加热底板上，由于绝缘框为陶瓷制成，耐电压极高，从而大大提升了平台边缘的耐电压水平。电压水平。电压水平。

【技术实现步骤摘要】
一种基座耐电压结构


[0001]本技术涉及铝制工件表面处理
，具体为一种基座耐电压结构。

技术介绍

[0002]液晶面板生产领域会使用到化学气相沉积工艺，该工艺需要一个加热底板作为制程平台以及加热装置，现有的加热底板的材质为铝合金，表面覆盖一层氧化膜，氧化膜有很好的电绝缘性质及耐腐蚀性能。
[0003]客户使用环境下加热底板边缘聚集Plasma(离子束),容易造成加热底板边缘电击。针对上述问题，现有的改善方案主要是提高平台边缘的氧化膜的耐电压水平(最高只能承受0.4
‑
0.5kv)，这种方式改善效果不佳。为此，专利技术人提出一种基座耐电压结构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种基座耐电压结构，具有耐电压性能好的优点，解决了
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基座耐电压结构，所述基座包括有加热底板和平台，所述加热底板顶部中间设置有向上凸起的所述平台，所述平台四周的加热底板的顶部安装有绝缘框，所述绝缘框上开设有锁附孔。
[0006]优选的，所述绝缘框为陶瓷制成。
[0007]优选的，所述基座为铝合金制成，其外表面设置有氧化膜。
[0008]优选的，所述绝缘框为一体成型的矩形框架。
[0009]优选的，所述绝缘框是由若干个片状长条拼接而成的矩形框架。
[0010]优选的，所述片状长条的宽度为14
±
0.5mm，厚度为8
±
0.5mm。<br/>[0011]优选的，所述加热底板底部设置有支撑架。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0013]本技术采用机加工的方案铣掉平台四周容易电击区域，并制作绝缘框替换铣掉的铝材，通过螺丝将绝缘框固定安装在平台四周的加热底板上，从而大大提升了平台边缘的耐电压水平，绝缘框可以根据实际加工能力采用一体式结构或分体式结构，比较灵活。
附图说明
[0014]图1为本技术现有基座的结构示意图；
[0015]图2为本技术整体结构示意图；
[0016]图3为本技术实施例1绝缘框的结构示意图；
[0017]图4为本技术实施例2绝缘框的结构示意图结构。
[0018]图中：1、加热底板；2、支撑架；3、平台；4、绝缘框；5、锁附孔。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种基座耐电压结构，基座包括有加热底板1和平台3，加热底板1底部设置有支撑架2，加热底板1顶部中间设置有向上凸起的平台3，平台3四周的加热底板1的顶部安装有绝缘框4，改造时，首先铣掉由铝合金制成的平台3四周容易受到电击的区域，再将绝缘框4安装在该区域，绝缘框4上开设有锁附孔5，通过螺丝贯穿锁附孔5和加热底板1连接，从而将绝缘框4固定住。
[0021]如图3所示，绝缘框4为陶瓷制成，绝缘框4为一体成型的矩形框架，绝缘框4采用一体式加工，更接近工件轮廓，但是加工工艺难度较高；
[0022]如图4所示，绝缘框4是由若干个片状长条拼接而成的矩形框架，片状长条的宽度为14
±
0.5mm，厚度为8
±
0.5mm，设置为上述尺寸，一方面不会影响客户正常使用，另一方面也保障了耐电压水平，且安装稳定性较好，绝缘框4采用分体式结构，便于加工，但是存在接缝。
[0023]专利技术人经过试验验证，绝缘框4无论是采用分体式结构还是一体式结构，其耐电压性能相差无几。
[0024]基座为铝合金制成，其外表面设置有氧化膜，氧化膜本身即具有很好的电绝缘性质及耐腐蚀性能，但是在实际使用中，Plasma离子束容易在平台3边缘处聚集，而一般的氧化膜达不到这种情况下的耐电压水平，容易造成基座边缘电击。
[0025]改造时，首先铣掉由铝合金制成的平台3四周容易受到电击的区域，该区域的宽度为14
±
0.5mm，高度为8
±
0.5mm，接着将绝缘框4放置在该区域，通过螺丝贯穿锁附孔5和加热底板1连接，从而将绝缘框4固定安装在平台3四周外部的加热底板1上，由于绝缘框4为陶瓷制成，耐电压极高，超过5kv，从而大大提升了平台3边缘的耐电压水平。
[0026]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基座耐电压结构，其特征在于：所述基座包括有加热底板(1)和平台(3)，所述加热底板(1)顶部中间设置有向上凸起的所述平台(3)，所述平台(3)四周的加热底板(1)的顶部安装有绝缘框(4)，所述绝缘框(4)上开设有锁附孔(5)。2.根据权利要求1所述的基座耐电压结构，其特征在于：所述绝缘框(4)为陶瓷制成。3.根据权利要求1所述的基座耐电压结构，其特征在于：所述基座为铝合金制成，其外表面设置有氧化膜。4.根据权利要求1或2所述的基座耐...

【专利技术属性】
技术研发人员：李秀锋，郑军东，余宵，李根水，代勇超，
申请(专利权)人：安徽晶海纳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：