一种制造技术

本实用新型专利技术公开了一种

【技术实现步骤摘要】
一种CVD腔体背板表面处理装置


[0001]本技术涉及液晶面板加工
，具体为一种
CVD
腔体背板表面处理装置
。

技术介绍

[0002]如说明书附图图1所示，
CVD
工艺腔
10
主要包括背板
11、
扩散板
12、
阴影框
13
和加热板
14。
使用时，工艺气体首先如箭头所示从背板
11
通过，这就决定了背板表面必须非常的光洁，其平均表面粗糙度
Ra
严格控制在
0.02
～
0.04um
范围内，一旦局部粗糙度超过以上范围，在运行过程中其表面就容易吸附气相反应的污染物，而污染物沉积到一定程度就会在反应气体的冲刷下脱落，形成颗粒物掉落在镀膜玻璃上，造成镀膜产品批量报废，从而产生较大的经济损失
。
[0003]现有技术中，针对小尺寸的
CVD
工艺腔背板
(
一般尺寸小于
2500*200mm)
一般采用人工手持打磨砂轮机配合研磨液的方法，对背板平面区域进行分区块逐步的表面研磨方法，从而满足平均表面粗糙度
Ra
在
0.02
～
0.04um
之间的要求
。
[0004]随着
65
英寸以上液晶面板产品成为主流的消费产品，传统的
CVD
工艺腔背板研磨加工方法在处理大尺寸的
CVD
工艺腔背板
(
一般尺寸在
4000*3500mm)
方面就出现了很大的弊端：
1、CVD
腔体背板过大，人工打磨存在打磨盲区；
2、
处理面积过大，表面粗糙度均匀性无法保证
。
一旦出现局部粗糙度不合格的情况，就需要进行返工，严重的可能会改变整体尺寸，进而造成部件整体报废，极大的增加了生产成本
。
为此，专利技术人提出一种
CVD
腔体背板表面处理装置
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种
CVD
腔体背板表面处理装置，可以对大尺寸的
CVD
腔体背板进行均匀打磨，解决了
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种
CVD
腔体背板表面处理装置，包括有超声波槽和背板，所述超声波槽内部底部安装有超声波振子，所述背板架设安装在所述超声波槽顶部，所述背板下方的超声波槽内部安装有可导向移动的抛光打磨机构
。
[0007]优选的，所述超声波槽内侧侧壁上固定有用来架起所述背板的架台
。
[0008]优选的，所述抛光打磨机构为羊毛辊，所述羊毛辊外壁顶部和所述背板接触，所述羊毛辊内部固定有轴杆，所述轴杆两端分别延伸至所述羊毛辊的外部，且转动连接有行动支臂
。
[0009]优选的，所述架台下方的超声波槽的侧壁上安装有驱动基座，所述行动支臂底部导向安装在所述驱动基座上，所述驱动基座内部安装有用来带动所述行动支臂移动的直线驱动机构
。
[0010]优选的，所述行动支臂上固定安装有用来带动所述羊毛辊旋转的电机，所述电机外部的行动支臂上设置有防护罩
。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0012]本技术设计出针对大尺寸
CVD
腔体背板的打磨结构，使用时，背板悬空架设在超声波槽顶部，超声波槽内部设置可往复移动的羊毛辊，同时羊毛辊还不断高速旋转，进而可以对大尺寸的
CVD
腔体背板进行全面的打磨，降低人工成本，羊毛辊匀速平移的同时不断匀速自转，使得背板上各处都能被均匀打磨，从而减少了返工，减少对部件母材的损耗，提高了生产效益
。
附图说明
[0013]图1为现有技术使用示意图；
[0014]图2为本技术内部结构示意图；
[0015]图3为本技术除去背板的俯视图
。
[0016]图中：
1、
超声波槽；
2、
驱动基座；
3、
架台；
4、
行动支臂；
5、
电机；
6、
羊毛辊；
7、
超声波振子；
10、CVD
工艺腔；
11、
背板；
12、
扩散板；
13、
阴影框；
14、
加热板
。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0018]请参阅图1至图3，本技术提供一种技术方案：一种
CVD
腔体背板表面处理装置，包括有超声波槽1和背板
11
，超声波槽1内部底部安装有超声波振子7，超声波振子7通过导线连接有电源和控制开关
(
图中未画出
)
，背板
11
架设安装在超声波槽1顶部，背板
11
下方的超声波槽1内部安装有可导向移动的抛光打磨机构
。
[0019]使用时，向超声波槽1内部灌注研磨液和研磨颗粒，开启超声波振子7的控制电源，带动超声波振子7振动，产生超声波，使得研磨液和研磨颗粒运动起来，而不是在某些位置停滞，打磨效果较好，本装置中调试的超声波电流强度不高于
1.5A
，不会对背板
11
造成损伤
。
[0020]如图2所示，超声波槽1内侧侧壁上固定有用来架起背板
11
的架台3，架台3底部和超声波槽1内壁之间设置有加强筋，承重性能好
。
[0021]抛光打磨机构为羊毛辊6，羊毛辊6外壁顶部和背板
11
接触，羊毛辊6和背板
11
接触时
、
且相对运动时，即可对背板
11
进行打磨，羊毛辊6内部固定有轴杆，轴杆两端分别延伸至羊毛辊6的外部，且转动连接有行动支臂
4。
[0022]架台3下方的超声波槽1的侧壁上安装有驱动基座2，行动支臂4底部导向安装在驱动基座2上，驱动基座2内部设置有直线驱动机构，通过直线驱动机构带动行动支臂4在超声波槽1内部直线往复移动，直线驱动机构为现有技术，在此不做赘述
。
[0023]行动支臂4上固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
CVD
腔体背板表面处理装置，包括有超声波槽
(1)
和背板
(11)
，其特征在于：所述超声波槽
(1)
内部底部安装有超声波振子
(7)
，所述背板
(11)
架设安装在所述超声波槽
(1)
顶部，所述背板
(11)
下方的超声波槽
(1)
内部安装有可导向移动的抛光打磨机构
。2.
根据权利要求1所述的
CVD
腔体背板表面处理装置，其特征在于：所述超声波槽
(1)
内侧侧壁上固定有用来架起所述背板
(11)
的架台
(3)。3.
根据权利要求2所述的
CVD
腔体背板表面处理装置，其特征在于：所述抛光打磨机构为羊毛辊
(6)
，所述羊毛辊
(6)
外壁顶部和所述背板
(11)
接触，所述羊毛辊<...

【专利技术属性】
技术研发人员：李秀锋，郑军东，余宵，李根水，翟黎明，
申请(专利权)人：安徽晶海纳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：