一种镀膜设备、镀膜控制装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种镀膜设备、镀膜控制装置和方法，其中镀膜控制装置包括：至少一个挡片，用于接收入射粒子流并产生电流信号，挡片与镀膜窗口对应设置；控制模块，用于根据电流信号和预设目标参数输出对应的补偿信号；传动模块，与挡片连接，用于根据补偿信号调整对应的挡片的位置，以调整挡片对应的镀膜窗口大小，使得挡片对应的镀膜区域的入射粒子流满足预设目标参数；其中，预设目标参数为镀膜区域的入射粒子流的目标数。通过本发明专利技术实施例提供的方案，实现了镀膜过程中镀膜窗口挡片位置实时、连续和自动化调整，从而使得靶材在垂直方向上溅射的均匀性，准确性和时效性大大增加。

A Coating Equipment, Coating Control Device and Method

The invention provides a coating device, a coating control device and a method, in which the coating control device comprises at least one baffle for receiving incident particle flow and generating current signal, and the baffle is set corresponding to the coating window; a control module for outputting corresponding compensation signal according to current signal and preset target parameters; and a transmission module for connecting with the baffle for repairing according to the current signal and preset target parameters. The compensation signal adjusts the position of the corresponding shield to adjust the size of the corresponding coating window, so that the incident particle flow in the corresponding coating area of the shield meets the preset target parameters, in which the preset target parameters are the target number of the incident particle flow in the coating area. The scheme provided by the embodiment of the present invention realizes real-time, continuous and automatic adjustment of the position of the screen of the coating window during the coating process, thereby greatly increasing the uniformity, accuracy and timeliness of the target sputtering in the vertical direction.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备、镀膜控制装置和方法
本专利技术属于薄膜发电
，具体涉及一种镀膜设备、镀膜控制装置和方法。
技术介绍
作为目前最先进最有发展前景的薄膜发电技术之一，其具有轻薄的特点，基于玻璃、钢和塑料等材料基底，可制成刚性或柔性的太阳能组件。物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)真空溅射镀膜设备具有沉积快、膜厚均匀、可大规模连续作业的优点，在太阳能薄膜电池生产工艺中，背电极Mo、上电极TCO或其他一些功能膜层都会优先考虑PVD技术的使用，可以说PVD真空溅射镀膜设备在太阳能薄膜电池生产线上是必不可少的部分。现有PVD真空溅射镀膜设备在溅射腔室的靶材与玻璃基片之间安装多个距离可调节的镀膜窗口，通过手动的将镀膜窗口挡片的位置调整至一个预设位置，对靶材溅射出的粒子的遮挡效果进行控制，以此来补偿靶材在垂直方向上的溅射不均匀性。由于镀膜窗口位置需要手动调整，误差较大，且每次调整只能在常压条件下进行，效率非常低。
技术实现思路
为此，本专利技术提出了一种镀膜设备、镀膜控制装置和方法，以解决镀膜窗口位置需要手动调整，误差较大，且每次调整只能在常压条件下进行，效率非常低本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜控制装置，其特征在于，包括：至少一个挡片，用于接收入射粒子流并产生电流信号，所述挡片与镀膜窗口对应设置；控制模块，用于根据所述电流信号和预设目标参数输出对应的补偿信号；传动模块，与所述挡片连接，用于根据所述补偿信号调整对应的所述挡片的位置，以调整所述挡片对应的镀膜窗口大小，使得所述挡片对应的镀膜区域的入射粒子流满足所述预设目标参数；其中，所述预设目标参数为所述镀膜区域的入射粒子流的目标数。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜控制装置，其特征在于，包括：至少一个挡片，用于接收入射粒子流并产生电流信号，所述挡片与镀膜窗口对应设置；控制模块，用于根据所述电流信号和预设目标参数输出对应的补偿信号；传动模块，与所述挡片连接，用于根据所述补偿信号调整对应的所述挡片的位置，以调整所述挡片对应的镀膜窗口大小，使得所述挡片对应的镀膜区域的入射粒子流满足所述预设目标参数；其中，所述预设目标参数为所述镀膜区域的入射粒子流的目标数。2.根据权利1所述的镀膜控制装置，其特征在于，所述控制模块包括：补偿信号发生器，用于根据所述挡片位于当前位置时产生的电流信号，确定所述挡片当前位置下对应的镀膜区域的入射粒子流的数目；根据所述挡片当前位置下对应的镀膜区域的入射粒子流的数目和所述预设目标参数，确定所述挡片的目标位置；根据所述挡片的目标位置和所述挡片的当前位置，生成并输出用以调整挡片位置的补偿信号。3.根据权利2所述的镀膜控制装置，其特征在于，所述控制模块包括：信号转换器，用于接收所述至少一个挡片产生的电流信号，并将所述电流信号转变为对应的数字信号；相应地，所述补偿信号发生器用于根据所述挡片位于当前位置时所对应的数字信号，确定所述挡片当前位置下对应的镀膜区域的入射粒子流的数目。4.根据权利3所述的镀膜控制装置，其特征在于，所述补偿信号发生器包括：第一处理单元，用于根据所述挡片位于当前位置时产生的电流信号和第一预设关系，确定所述挡片当前位置下对应的镀膜区域的入射粒子流的数目；其中，所述第一预设关系用于表征所述挡片在不同位置下所产生的电流信号与挡片对应的镀膜区域的入射粒子数的数目之间的对应关系；第二处理单元，用于根据所述预设目标参数和所述挡片当前位置下对应的镀膜区域的入射粒子流的数目，确定所述挡片的目标阻挡量；根据所述挡片的目标阻挡量和第二预设关系，确定所述挡片的目标位置；其中，所述第二预设关系用于表征所述挡片在不同挡片位置的变化与挡片的阻挡量的变化之间的对应关系；补偿单元，用于根据所述挡片的目标位置和所述挡片的当前位置，生成并输出用以调整挡片位置的补偿信号。5.根据权利1－4任意一项所述的镀膜控制装置，其特征在于，所述传动模块，包括：至少一个传动件，与所述挡片对应一一配合，用于调整所述挡片的位置；至少一个电机，与所述传动件对应连接，用于根据所述补偿信号驱动所述传动件动作。6.根据权利5所述的镀膜窗口调整装置，其特征在于，所述控制模块还包括：信号收发器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘旋，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11