一种设置循环水道的水冷板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种设置循环水道的水冷板，包括底板和盖板，所述底板和盖板内设置有多个一体式结构的分部，每个分部内均设置有循环水道，所述循环水道为进、回水通道并行的水道，还包括与进水通道连接的进水管和与回水通道连接的回水管，所述进水管上连接有流量阀，用于调节每个分部内冷却液的流量，所述盖板上错开所述循环水道的位置上还设有贯穿的气孔，还包括通气管，所述通气管伸入底板内，所述通气管位于循环水道下方，本实用新型专利技术提供的冷却板通过在冷却板内设置进、回水通道并行的循环水道，解决了因进水、回水温差引起的整体冷却板温度不均匀的问题，同时气孔与通气管的设置，当进行吹气操作时，可以吹出冷气，加强冷却板的热交换能力。

【技术实现步骤摘要】
一种设置循环水道的水冷板
本技术涉及一种冷却装置，特别涉及一种设置循环水道的水冷板。
技术介绍
在液晶半导体成膜过程中，靶材受到高速荷能粒子连续轰击，会产生高温，易造成靶材损坏。于是需要通过冷却背板，对靶材持续进行冷却，且因为靶材寿命有限，靶材在使用设定的次数后，需要进行更换，于是需要人工记录靶材使用的次数，这样的方式，工作繁琐，且容易出错，目前的冷却板结构大多采用厚板中深孔钻加工出单回路水道、水管直接折弯成型的结构。这种厚板深孔钻加工水道结构受加工工艺限制，大多为一进、一出单回路水道，冷却效率低，进水侧与回水侧温差大，整板温度均匀性差，严重影响了设备整体的工艺节拍；并且水管折弯成型的排管结构因各管道之间缝隙多，大面积使用时多将水管固定于平板上，管与平板之间的热传导效果差、维护清理工作量大。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供一种解决自身温度不均的一种设置循环水道的水冷板。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种设置循环水道的水冷板，包括底板和盖板，所述底板和盖板内设置有多个一体式结构的分部，所述每个分部内均设置有循环水道，所述循环水道为进、回水通道并行的水道，还包括与进水通道连接的进水管和与回水通道连接的回水管，所述进水管上连接有流量阀，用于调节每个分部内冷却液的流量，所述盖板上错开所述循环水道的位置上还设有贯穿的气孔，还包括通气管，所述通气管伸入底板内，所述通气管位于循环水道下方。进一步的是：还包括多个温度传感器，所述每个温度传感器依次设置在各个分部内，用于检测各分部的温度。进一步的是：所述底板和盖板通过摩擦搅拌焊接固定。进一步的是：述盖板上设置有与温度传感器连接的计数模块。本技术的有益效果是：本技术提供的冷却板通过在冷却板内设置进、回水通道并行的循环水道，解决了因进水、回水温差引起的整体冷却板温度不均匀的问题，同时由于流量阀和温度传感器的设置使得可对各个分部的冷却液流量进行控制，以使得板体上各个区域的冷却效果一致，同时也提高了冷却效率，且计数单元可以记录所述靶材的使用次数及剩余寿命，记录方便精确，同时气孔与气管的设置，当进行吹气操作时，可以有效带走热量，加强冷却板的热交换能力。附图说明图1为冷却板示意图。图中标记为：底板1、盖板2、循环水道3、进水管4、回水管5、流量阀6、温度传感器7、气孔8、通气管9、计数模块10。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术进一步说明。如图1所示的一种设置循环水道的水冷板，包括底板1和盖板2，所述底板1和盖板2内设置有多个一体式结构的分部，所述每个分部内均设置有循环水道3，所述循环水道3为进、回水通道并行的水道，还包括与进水通道连接的进水管4和与回水通道连接的回水管5，所述进水管4上连接有流量阀6，用于调节每个分部内冷却液的流量，所述盖板上错开所述循环水道的位置上还设有贯穿的气孔8，还包括通气管9，所述通气管9伸入底板内，所述通气管9位于循环水道下方，本技术提供的冷却板通过在冷却板内设置进、回水通道并行的循环水道3，解决了因进水、回水温差引起的整体冷却板温度不均匀的问题，同时由于流量阀6设置使得可对各个分部的冷却液流量进行控制，以使得对板体上各个区域的冷却效果进行调节，同时也提高了冷却效率，且由于多个分部的设置，可以实现多个分部同时进行水循环，从而提高了冷却板的冷却效率，同时气孔8与通气管9的设置，当进行吹气操作时，可以吹出冷气，加强冷却板的热交换能力。在上述基础上，还包括多个温度传感器7，所述每个温度传感器7依次设置在各个分部内，用于检测各分部的温度，所述温度传感器7可以配合流量阀6的使用，可对各个分部的冷却液流量进行控制，以使得板体上各个区域的冷却效果一致，同时也提高了冷却效率。在上述基础上，所述底板1和盖板2通过摩擦搅拌焊接固定，使用摩擦搅拌焊接固定可以使得底板1和盖板2连接更牢固，从而没有缝隙产生。在上述基础上，述盖板上设置有与温度传感器连接的计数模块10，所述计数模块10的设置可以记录所述靶材的使用次数及剩余寿命，记录方便精确。以上所述的具体实施例，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设置循环水道的水冷板，其特征在于：包括底板(1)和盖板(2)，所述底板(1)和盖板(2)内设置有多个一体式结构的分部，所述每个分部内均设置有循环水道(3)，所述循环水道(3)为进、回水通道并行的水道，还包括与进水通道连接的进水管(4)和与回水通道连接的回水管(5)，所述进水管(4)上连接有流量阀(6)，用于调节每个分部内冷却液的流量，所述盖板(2)上错开所述循环水道(3)的位置上还设有贯穿的气孔(8)，还包括通气管(10)，所述通气管(10)伸入底板内，所述通气管(10)位于循环水道下方。

【技术特征摘要】
1.一种设置循环水道的水冷板，其特征在于：包括底板(1)和盖板(2)，所述底板(1)和盖板(2)内设置有多个一体式结构的分部，所述每个分部内均设置有循环水道(3)，所述循环水道(3)为进、回水通道并行的水道，还包括与进水通道连接的进水管(4)和与回水通道连接的回水管(5)，所述进水管(4)上连接有流量阀(6)，用于调节每个分部内冷却液的流量，所述盖板(2)上错开所述循环水道(3)的位置上还设有贯穿的气孔(8)，还包括通气管(10)...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本光裕，
申请(专利权)人：京浜乐梦金属科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32