一种收集稀土金属靶材的专用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种收集稀土金属靶材的专用装置，包括钯模，上挡板，下挡板，坩埚；其特征在于所述上挡板、下挡板之间等间距的设有钯模；所述下挡板上设有通孔，且通孔与钯模内径一致；所述钯模口与通孔重合；所述下挡板位于坩埚正上方；所述钯模为两个对扣的半圆桶结构，且无上下盖，且在半圆桶两侧设有固定板，固定板上设有通孔。该装置的钯模可多次使用，取下靶材不用破坏模具，节约材料，金属密度高，密度均匀，成本低，易加工等优点，靶材制作周期短，效率高，完全能够满足OLED屏幕使用要求的密度与纯度，用本专用装置收集到的靶材内含杂质少，易于使靶材与模具分离。

A Special Device for Collecting Rare Earth Metal Targets

The utility model discloses a special device for collecting rare earth metal targets, including a palladium die, an upper baffle, a lower baffle and a crucible; the utility model is characterized by a palladium die with equal spacing between the upper baffle and the lower baffle; the lower baffle plate is provided with a through hole, and the through hole is identical with the inner diameter of the palladium die; the palladium die mouth coincides with the through hole; the lower baffle plate is positioned directly above the crucible; the palladium die is provided with Two double buckled semi-circular barrels are constructed without upper and lower caps, and fixed plates are arranged on both sides of the semi-circular barrel, and through holes are arranged on the fixed plates. The palladium mould of the device can be used many times. The target material can be removed without destroying the mould. It saves material, has high metal density, uniform density, low cost and easy to process. The target material has the advantages of short production cycle, high efficiency, and can fully meet the density and purity requirements of OLED screen. The target material collected by the special device contains fewer impurities and is easy to separate the target from the die.

【技术实现步骤摘要】
一种收集稀土金属靶材的专用装置
本技术涉及一种收集稀土金属靶材的专用装置。
技术介绍
近年来随着新技术和新材料快速发展，特别是微电子行业的新器件和新材料飞速发展，高技术材料由体材向薄膜转移。采用金属靶材用溅射沉积的方式在基板上形成的各种功能薄膜，由于溅射源薄膜致密度高，与基材之间附着性好，可应用于装饰，工模具，玻璃，电子器件，半导体，磁记录，平面显示，太阳能电池等众多领域。据预测，未来5年，全球范围内靶材的市场需求量每年以20%速度增长，市场规模将超过160亿美元。现在的制作工艺由于原料采用稀土金属进行二次还原蒸馏，工艺流程长，在这个过程原料非常容易氧化，原料氧化对于靶材有着致命的影响，同时为了靶材能够达到使用所需密度均是采用真空热压法进行压制，以满足可用密度要求，但是此方法所挤压的靶材密度不一致，靶材与模具的分离也比较复杂，每次分离均需要使用铣床破坏模具进行分离，这样不仅模具只能是一次性使用，而且非常容易造成靶材污染，靶材上容易粘连模具的材料，在使用时，特别是OLED屏幕的制作，只要有一个像素点被靶材上的杂物所污染，整块屏幕便只能作废，并且制造成本高，废料产生多，不易回收，效率低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种收集稀土金属靶材的专用装置，该装置的钯模可多次使用，取下靶材不用破坏模具，节约材料，金属密度高，密度均匀，成本低，易加工等优点，靶材制作周期短，效率高，完全能够满足OLED屏幕使用要求的密度与纯度，用本专用装置收集到的靶材内含杂质少，易于使靶材与模具分离。一种收集稀土金属靶材的专用装置：包括钯模，上挡板，下挡板，坩埚；其特征在于所述上挡板、下挡板之间等间距的设有钯模；所述上挡板、下挡板通过螺栓固定在一起；所述下挡板上设有通孔，且通孔与钯模内径一致；所述钯模口与通孔重合；所述下挡板位于坩埚正上方，坩埚内的物质进行蒸馏，即可直接飘落到钯模内，依靠分子间的作用力自行进行密度填充，形成靶材原料。所述钯模为两个对扣的半圆桶结构，且无上下盖，在半圆桶两侧设有固定板，固定板上设有通孔，所述固定板通过螺栓可拆卸的固定；所述钯模、上挡板，下挡板材质为耐高温金属材质，如钛、钽、钼、钨等材质；所述钯模内径有至少一种规格大小，以方便将成型的靶材加工成不同规格大小。本技术的有益效果在于：一，利用两种反应物质蒸气压差大的特征，在高温真空条件下高纯金属镧将稀土氧化物还原，蒸馏得到纯净的稀土金属，同时收率比较高。目前采用此方法可以制备高纯金属Sm、Eu、Yb、Tm；二，在10-3Pa条件下，本技术中可以把原料中的化学结晶水、物理吸附水、吸附的空气、易挥发的杂质等迅速的从炉料中释放出来。反应环境氧气含量降低，使得金属不易氧化，同时也减少杂质对金属的污染机会，提高了金属的收率，在反应保温过程中，同样需要保持高的真空度，可使被还原的金属快速离开反应界面，加速金属的扩散速度，缩短了反应时间，提高反应收率；三，本技术的工艺流程短，纯度高，密度大，密度均匀，依靠分子之间自身的作用力成型，因此能够达到密度均匀的目的，成本低，减少污染源、避免易氧化等缺点；四，本技术完全能够满足磁溅射对靶材密度要求。附图说明图1为本技术爆炸结构示意图。图2为本技术钯模结构示意图。图中，钯模1，固定板1-1，通孔1-2，上挡板2，下挡板3，坩埚4。具体实施方式如图1、图2所示，一种专用靶模装置：包括钯模1，上挡板2，下挡板3，坩埚4；其特征在于所述上挡板2、下挡板3之间等间距的设有钯模1；所述上挡板2、下挡板3通过螺栓固定在一起；所述下挡板3上设有通孔1-2，且通孔1-2与钯模1内径一致；所述钯模1口与通孔1-2重合；所述下挡板3位于坩埚4正上方，坩埚4内的物质进行蒸馏，即可直接飘落到钯模1内，依靠分子间的作用力自行进行密度填充，形成靶材原料。所述钯模1为两个对扣的半圆桶结构，且无上下盖，在半圆桶两侧设有固定板1-1，固定板1-1上设有通孔1-2，所述固定板1-1通过螺栓可拆卸的固定；所述钯模1、上挡板2，下挡板3材质为耐高温金属材质，如钛、钽、钼、钨等材质；所述钯模内径有至少一种规格大小，以方便将成型的靶材加工成不同规格大小。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种收集稀土金属靶材的专用装置，包括钯模，上挡板，下挡板，坩埚；其特征在于所述上挡板、下挡板之间等间距的设有钯模；所述下挡板上设有通孔，且通孔与钯模内径一致；所述钯模口与通孔重合；所述下挡板位于坩埚正上方；所述钯模为两个对扣的半圆桶结构，且无上下盖，且在半圆桶两侧设有固定板，固定板上设有通孔。

【技术特征摘要】
1.一种收集稀土金属靶材的专用装置，包括钯模，上挡板，下挡板，坩埚；其特征在于所述上挡板、下挡板之间等间距的设有钯模；所述下挡板上设有通孔，且通孔与钯模内径一致；所述钯模口与通孔重合；所述下挡板位于坩埚正上方；所述钯模为两个对扣的半圆桶结构，且无上下盖，且在半圆桶两侧设有固定板，固定板上设有通孔。2.根据权利要求1所述的一种收集稀土金属靶材的专用装置，其特征在于：所述上挡板、下挡板通过螺栓固定在一起。3.根据权利要求1所述的一种收集...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾胜利，张振宇，郝志庆，杜德操，
申请(专利权)人：包头市镧系新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古,15