单晶硅棒检测设备制造技术

本申请提供一种单晶硅棒检测设备，包括支架、两个滑架、夹持驱动组件、两个夹头和旋转驱动组件。支架包括支撑面；两个滑架可滑动地设于支撑面，且沿第一方向设置，第一方向可为支撑面所在平面内的任意直线方向；夹持驱动组件设于支架，用于驱动两个滑架相向或背向移动；两个夹头一一对应的转动连接于两个滑架，且两个夹头正对设置；旋转驱动组件用于驱动至少一夹头相对滑架转动。本申请的单晶硅棒检测设备可自动旋转单晶硅棒，提高工作效率，防止单晶硅棒磕碰损坏。

Inspection Equipment for Single Crystal Silicon Bar

The application provides a single crystal silicon rod detection device, including a bracket, two sliding frames, a clamping driving component, two clamps and a rotating driving component. The bracket includes a support surface; two sliding frames are slidably arranged on the support surface and are arranged along the first direction, the first direction can be any straight line direction in the plane where the support surface is located; the clamping driving component is arranged on the bracket to drive the two sliding frames to move in opposite direction or backward direction; the rotation of the two chucks corresponds to each other is connected to the two sliding frames, and the two chucks are positively arranged; and the rotary driving component is used for the rotary driving component. At least one chuck is driven to rotate relative to the sliding frame. The single crystal silicon rod detection device can automatically rotate the single crystal silicon rod, improve work efficiency and prevent the single crystal silicon rod from collision and damage.

【技术实现步骤摘要】
单晶硅棒检测设备
本申请涉及单晶硅检测
，具体而言，涉及一种单晶硅棒检测设备。
技术介绍
单晶硅棒，是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的单晶硅产品，用于制造单晶硅片。在单晶硅棒机加完成后，需对机加工后的单晶硅棒的外观品质及几何尺寸进行检测，在检测时，需要对单晶硅棒进行旋转，以便对不同表面进行检测。目前，一般通过人工手动方式实现单晶硅棒的旋转，操作不便，劳动强度大，且容易造成磕碰而使单晶硅棒损坏。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种单晶硅棒检测设备，可代替人工手动方式旋转单晶硅棒，操作方便，提高工作效率，防止单晶硅棒磕碰损坏。根据本申请的一个方面，提供一种单晶硅棒检测设备，包括：支架，包括支撑面；两个滑架，可滑动地设于所述支撑面，且沿第一方向设置，所述第一方向可为所述支撑面所在平面内的任意直线方向；夹持驱动组件，设于所述支架，用于驱动两个所述滑架相向或背向移动；两个夹头，一一对应的转动连接于两个所述滑架，且两个所述夹头正对设置；旋转驱动组件，用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅棒检测设备，其特征在于，包括：支架，包括支撑面；两个滑架，可滑动地设于所述支撑面，且沿第一方向设置，所述第一方向可为所述支撑面所在平面内的任意直线方向；夹持驱动组件，设于所述支架，用于驱动两个所述滑架相向或背向移动；两个夹头，一一对应的转动连接于两个所述滑架，且两个所述夹头正对设置；旋转驱动组件，用于驱动至少一所述夹头相对所述滑架转动。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒检测设备，其特征在于，包括：支架，包括支撑面；两个滑架，可滑动地设于所述支撑面，且沿第一方向设置，所述第一方向可为所述支撑面所在平面内的任意直线方向；夹持驱动组件，设于所述支架，用于驱动两个所述滑架相向或背向移动；两个夹头，一一对应的转动连接于两个所述滑架，且两个所述夹头正对设置；旋转驱动组件，用于驱动至少一所述夹头相对所述滑架转动。2.根据权利要求1所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，每个所述滑架包括：底座，与所述支撑面滑动配合；夹板，设于所述底座；两个所述夹头一一对应的设于各所述滑架的夹板。3.根据权利要求1所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述支架设有导轨，所述导轨沿所述第一方向设置，两个所述滑架均与所述导轨滑动配合。4.根据权利要求1所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述夹持驱动组件包括：丝杠，设于所述支架且沿所述第一方向设置，所述丝杠具有旋向相反的两个螺纹段，两个所述滑架一一对应的螺纹连接于两个所述螺纹段；驱动件，与所述丝杠连接，用于驱动所述丝杠往复转动。5.根据权利要求1至4任...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈立明，黄学宁，韩文军，卢伟，陆锋，
申请(专利权)人：宁夏隆基硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏,64