单晶硅棒截断机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅棒截断机，包括：机座；设于机座的物料输送台，用于承载待切割的单晶硅棒并驱动单晶硅棒沿着单晶硅棒的轴向进行输送；多线切割装置，包括设于机座的机架和设于机架且通过一升降机构而可升降地设于物料输送台的上方的多个线切割单元，多个线切割单元在升降机构的控制下同步下降至物料输送台并同时对单晶硅棒进行切割以将单晶硅棒切割为多个单晶硅区段，切割后的多个单晶硅区段再通过物料输送台进行依序卸料。本实用新型专利技术通过多线切割装置可以同时将待切割的单晶硅棒切割成多段，切割速度快，切割完的单晶硅区段由物料输送台分段移出到收料台进行依序卸料，保证每个单晶硅区段不碰撞。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多线切割技术，特别是涉及一种单晶硅棒截断机。
技术介绍
线切割技术是目前世界上比较先进的开方加工技术，它的原理是通过高速运动的金刚线对待加工工件(例如：硅棒、蓝宝石、或其他半导体硬脆材料)进行摩擦，切出方锭，从而达到切割目的。在对工件的切割过程中，金刚线通过导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给，在压力泵的作用下，装配在设备上的冷却水自动喷洒装置将冷却水喷洒至金刚线和工件的切削部位，由金刚线往复运动产生切削，以将半导体等硬脆材料一次同时切割为多块。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比具有效率高、产能高、精度高等优点。但是，目前的单晶硅棒截断机仍然存在不足，例如目前的单晶硅棒截断机一次只能对一个待切割物进行切割，若要加工多个工件只能反复执行多次，效率非常低下。
技术实现思路
有鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种可以同时将待切割物切割成多段的单晶硅棒截断机。为实现上述目的，本技术提供了一种单晶硅棒截断机，包括：机座；设于所述机座的物料输送台，用于承载待切割的单晶硅棒并驱动所述单晶硅棒沿着所述单晶硅棒的轴向进行输送；多线切割装置，包括设于所述机座的机架和设于所述机架且通过一升降机构而可升降地设于所述物料输送台的上方的多个线切割单元，多个所述线切割单元在所述升降机构的控制下同步下降至所述物料输送台并同时对所述单晶硅棒进行切割以将所述<br>单晶硅棒切割为多个单晶硅区段，切割后的多个所述单晶硅区段再通过所述物料输送台进行依序卸料。本技术的单晶硅棒截断机，通过多线切割装置可以同时将待切割的单晶硅棒切割成多段，切割速度快，还可以保证两个面的切割质量，切割完不用剪线，切割完的单晶硅区段由物料输送台分段移出到收料台进行依序卸料，保证每个单晶硅区段不碰撞。本技术单晶硅棒截断机的进一步改进在于，所述线切割单元包括设于所述机架且传动连接于所述升降机构的支架以及对称设置于所述支架底部的两个切线辊，两个所述切线辊之间设有切割线。本技术单晶硅棒截断机的进一步改进在于，所述支架包括设于所述机架且传动连接于所述升降机构的水平框架以及对称设置于所述水平框架底部的两个竖直框架，所述切线辊设于所述竖直框架上；两个所述竖直框架分别设于所述水平框架的底部两端，所述水平框架与两个所述竖直框架拼接形成倒凹字型支架。本技术单晶硅棒截断机的进一步改进在于，所述机架的相对两侧分别设有滑槽，多个所述线切割单元之间通过一连杆而相互连接，所述连杆上固设有滑设于所述滑槽的滑块。本技术单晶硅棒截断机的进一步改进在于，还包括压制件，所述压制件包括可升降地设于所述支架上的升降块以及对称设于所述升降块上的两个用于压制待切割的单晶硅棒的压制板。本技术单晶硅棒截断机的进一步改进在于，所述物料输送台包括用于承载待切割的单晶硅棒并驱动切割后的多个所述单晶硅区段沿轴向进行输送的滚轮组件以及用于控制所述滚轮组件的电机组件，所述滚轮组件根据切割的单晶硅区段而划分为多个滚轮组件区段，每一个滚轮组件区段内包括有多个滚轮对，每一个滚轮对包括有通过转动轴相连的两个滚轮，所述电机组件包括多个电机，每一个所述滚轮对对应一个所述电机或者同属于一个滚轮组件区段中的多个滚轮对共用一个所述电机。附图说明图1是本技术单晶硅棒截断机的立体图。图2是本技术单晶硅棒截断机的侧视图。图3是图2中压制件的局部放大示意图。图4是图3中压制件压制待切割的单晶硅棒后的示意图。图5是本技术单晶硅棒截断机将单晶硅棒切割为多个单晶硅区段后的示意图。图6是本技术单晶硅棒截断机应用于单晶硅棒截断作业中的流程图。图7是图6中步骤S101的具体流程图。图8是图6中步骤S102的具体流程图。图9是图6中步骤S103的具体流程图。元件标号说明：10机座20物料输送台210滚轮组件211、211a、211b、滚轮组件区段211c、211d212转动轴213滚轮30多线切割装置310机架320线切割单元321切线辊322切割线323水平框架324竖直框架40升降机构50连杆60压紧气缸610升降块620压制板910、910a、910b、单晶硅区段910c、910dS101～S103步骤S1011～S1013步骤S1021～S1023步骤S1031～S1033步骤具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。请参阅图1与图2，图1是本技术单晶硅棒截断机的立体图，图2是本技术单晶硅棒截断机的侧视图。本技术的单晶硅棒截断机，包括：机座10。设于机座10的物料输送台20，用于承载待切割的单晶硅棒90并驱动单晶硅棒90沿着单晶硅棒90的轴向进行输送。多线切割装置30，包括设于机座10的机架310和设于机架310且通过一升降机构40而可升降地设于物料输送台20的上方的多个线切割单元320，多个线切割单元320在升降机构40的控制下同步下降至物料输送台20并同时对单晶硅棒90进行切割以将单晶硅棒90切割为多个单晶硅区段910(如图5所示，将单晶硅棒90切割为四个单晶硅区段，可分别标识为910a、910b、910c、910d)，切割后的多个单晶硅区段910再通过物料输送台20进行依序卸料。结合图2所示，具体地，线切割单元320包括设于机架310且传动连接于升降机构40的支架以及对称设置于所述支架底部的两个切线辊321，两个切线辊321之间设有切割线322。进一步地，所述支架包括设于机架310且传动连接于所述升降机构的水平框架323以及对称设置于水平框架323底部的两个竖直框架324，切线辊321设于竖直框架324上。优选地，两个竖直框架324分别设于水平框架323的底部两端，水平框架323与两个竖直框架324拼接形成倒凹字型支架。结合图3所示，图3是图2中压制件的局部放大示意图。本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅棒截断机，其特征在于，包括：机座；设于所述机座的物料输送台，用于承载待切割的单晶硅棒并驱动所述单晶硅棒沿着所述单晶硅棒的轴向进行输送；以及多线切割装置，包括设于所述机座的机架和设于所述机架且通过一升降机构而可升降地设于所述物料输送台的上方的多个线切割单元，多个所述线切割单元在所述升降机构的控制下同步下降至所述物料输送台并同时对所述单晶硅棒进行切割以将所述单晶硅棒切割为多个单晶硅区段，切割后的多个所述单晶硅区段再通过所述物料输送台进行依序卸料。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒截断机，其特征在于，包括：
机座；
设于所述机座的物料输送台，用于承载待切割的单晶硅棒并驱动所述单晶硅棒沿着所
述单晶硅棒的轴向进行输送；以及
多线切割装置，包括设于所述机座的机架和设于所述机架且通过一升降机构而可升降
地设于所述物料输送台的上方的多个线切割单元，多个所述线切割单元在所述升降机构的
控制下同步下降至所述物料输送台并同时对所述单晶硅棒进行切割以将所述单晶硅棒切
割为多个单晶硅区段，切割后的多个所述单晶硅区段再通过所述物料输送台进行依序卸
料。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒截断机，其特征在于，所述线切割单元包括设于所述
机架且传动连接于所述升降机构的支架以及对称设置于所述支架底部的两个切线辊，两个
所述切线辊之间设有切割线。
3.根据权利要求2所述的单晶硅棒截断机，其特征在于，所述支架包括设于所述机架且
传动连接于所述升降机构的水平框架以及对称设置于所述水平框架底部的两个竖直框架，
所述切线辊设于所述竖直框架上；两个所述竖直框架分别设于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢建伟，
申请(专利权)人：上海日进机床有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31