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宁夏隆基硅材料有限公司
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单晶硅棒检测设备制造技术
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文档序号:20926199
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本申请提供一种单晶硅棒检测设备,包括支架、两个滑架、夹持驱动组件、两个夹头和旋转驱动组件。支架包括支撑面;两个滑架可滑动地设于支撑面,且沿第一方向设置,第一方向可为支撑面所在平面内的任意直线方向;夹持驱动组件设于支架,用于驱动两个滑架相向或...
该专利属于宁夏隆基硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏隆基硅材料有限公司授权不得商用。
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