一种新型主轴结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种新型主轴结构，包括驱动装置、基座、清洗夹具、转动机构和中心连接管；所述驱动装置设置在所述基座下端；所述转动机构设置在所述基座上端；所述驱动装置工作带动所述转动机构转动；用于夹紧半导体产品的所述清洗夹具设置在所述转动机构上端；需要清洗的半导体产品设置在所述清洗夹具上；所述中心连接管安装在所述转动机构中心空腔内，所述中心连接管上端口与所述清洗夹具相对应。本实用新型专利技术设计巧妙，可用于大尺寸半导体产品化学去杂质，能快速去除半导体产品背面中心化学品杂质。

【技术实现步骤摘要】
一种新型主轴结构
本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种用于半导体产品化学去杂质新型主轴结构。
技术介绍
在半导体生产工艺中，半导体产品正面和背面使用大量化学液体冲洗，再通过高速旋转或氮气吹扫等方式使半导体产品表面完全干燥。但是，由于主轴结构原因很难直接喷洒到产品背面中心，化学品杂质很难去除与干燥。现有技术有的采用真空吸附方式。不适合大尺寸产品，也不能解决背面中心去杂质问题。有的主轴没有主轴中空功能。不能解决背面中心去杂质问题。有的主轴组合轴承布置，安装困难，综合刚性差。不适合大尺寸产品。
技术实现思路
要解决的技术问题本技术要解决的问题是提供一种新型主轴结构，以克服现有技术中不适合大尺寸产品，也不能解决背面中心去杂质问题的缺陷。技术方案为解决所述技术问题，本技术提供一种新型主轴结构，包括驱动装置、基座、清洗夹具、转动机构和中心连接管；所述驱动装置设置在所述基座下端；所述转动机构设置在所述基座上端；所述驱动装置工作带动所述转动机构转动；用于夹紧半导体产品的所述清洗夹具设置在所述转动机构上端；需要清洗的半导体产品设置在所述清洗夹具上；所述中心连接管安装在所述转动机构中心空腔内，所述中心连接管上端口与所述清洗夹具相对应。优选的，所述转动机构包括转盘、中心出水防水帽、第一涨套、轴芯、外防水套、轴套、外隔圈、内隔圈、第一轴承、外圈压盖、螺母隔圈、螺母和第二轴承；所述轴芯上端通过所述第一涨套与所述转盘固定安装在一起；所述中心连接管安装在所述轴芯中心空腔内，所述中心连接管上端与所述中心出水防水帽固定，所述中心出水防水帽上设置有出水孔和出气孔，所述中心连接管内分别还设置有水管和气管，所述水管与所述出水孔连接，所述气管与所述出气孔连接；所述第二轴承和第一轴承分别固定安装在所述轴芯的上下两端；所述第二轴承和第一轴承的外圈固定所述轴套，所述轴套下端还与所述基座固定；所述外隔圈上端与所述第二轴承的外圈接触，下端与所述第一轴承的外圈接触；所述内隔圈上端与所述第二轴承的内圈接触，下端与所述第一轴承的内圈接触；所述外圈压盖固定安装在所述轴套下端；所述螺母隔圈与所述螺母配合安装在所述轴芯的下端且将所述第一轴承固定住，所述螺母与所述轴芯固定，所述螺母隔圈上端与所述第一轴承的内圈接触。优选的，所述转动机构还包括外防水套，所述外防水套与所述转盘密封固定。优选的，所述转盘上还设置有防水第一凸起，所述第一凸起覆盖在所述中心出水防水帽内。优选的，所述轴套上端设置有防水第二凸起，所述，所述转盘下端设置有与所述第二凸起配合的第一凹槽。优选的，所述外圈压盖上设置有防水第二凹槽，所述螺母隔圈下端设置有与所述第二凹槽配合的第三凸起。优选的，所述驱动装置包括驱动电机、皮带、第一皮带轮、第二涨套和第二皮带轮；所述皮带轮和第二涨套配合固定安装到所述轴芯下端，所述驱动电机固定在所述基座下端一侧，所述驱动电机的转轴上安装所述第二皮带轮，所述第一皮带轮与所述第二皮带轮之间通过所述皮带连接。优选的，所述基座下端还设置有用于固定所述中心连接管的连接管固定杆，所述连接管固定杆的两端分别固定在所述基座上，所述中心连接管插入固定到所述连接管固定杆的通孔内。优选的，所述连接管固定杆的中部开有缺口，所述缺口与所述通孔连通，所述连接管固定杆上且位于所述缺口处设置有螺钉固定安装孔。优选的，所述基座包括轴套座、垫块、底板和电机座；所述垫块设置在所述底板上端两侧，所述轴套座安装在两个所述垫块上方，所述轴套座、垫块及底板固定安装在一起；所述电机座固定安装在所述底板下端一侧。有益效果为：本技术的新型主轴结构，设计巧妙，可用于大尺寸半导体产品化学去杂质，能快速去除半导体产品背面中心化学品杂质；本结构传递扭矩大，结构强度好，拆除方便，方便维护和更换，而且密封效果好，不磨损，寿命高；中心出液体与气体，用于清洗和烘干半导体产品底部；可以应用于高速旋转，高加速度，大尺寸产品。附图说明图1为本技术一种新型主轴结构的结构示意图；图2为本技术转动机构的结构示意图；图3为图2中A-A方向的剖视图；图4为图2中B的局部放大图；图5为图2中C的局部放大图；图6为本技术一种新型主轴结构另一方向的结构示意图；图7为本技术基座的结构示意图；图8为本技术第一涨套的结构示意图；图9为本技术第一涨套的半剖视图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。如图1和图2所示，本技术的一种新型主轴结构，包括驱动装置1、基座2、清洗夹具3、转动机构4和中心连接管5；所述驱动装置1设置在所述基座2下端；所述转动机构4设置在所述基座2上端；所述驱动装置1工作带动所述转动机构4转动；用于夹紧半导体产品6的所述清洗夹具3固定设置在所述转动机构4上端；需要清洗的半导体产品6设置在所述清洗夹具3上；所述中心连接管5安装在所述转动机构4中心空腔内，所述中心连接管5上端口与所述清洗夹具3相对应。如图3所示，所述转动机构4包括转盘41、中心出水防水帽42、第一涨套43、轴芯44、外防水套45、轴套46、外隔圈47、内隔圈48、第一轴承49、外圈压盖410、螺母隔圈411、螺母412和第二轴承413；所述轴芯44上端通过所述第一涨套43与所述转盘41固定安装在一起；所述中心连接管5安装在所述轴芯44中心空腔内，所述中心连接管5上端与所述中心出水防水帽42过盈配合的密封固定，所述中心出水防水帽42上设置有出水孔418和出气孔419，所述中心连接管5内分别还设置有水管11和气管12，所述水管11与所述出水孔418连接，所述气管12与所述出气孔419连接；所述第二轴承413和第一轴承49分别固定安装在所述轴芯44的上下两端；所述第二轴承413和第一轴承49的外圈固定所述轴套46，所述轴套46下端还与所述基座2用螺钉固定；所述外隔圈47上端与所述第二轴承413的外圈接触，下端与所述第一轴承49的外圈接触；所述内隔圈48上端与所述第二轴承413的内圈接触，下端与所述第一轴承49的内圈接触；所述外圈压盖410用螺钉固定安装在所述轴套46下端；所述螺母隔圈411与所述螺母412配合安装在所述轴芯44的下端且将所述第一轴承49固定住，所述螺母412与所述轴芯44内外螺纹旋合且还用定位销固定，所述螺母隔圈411上端与所述第一轴承49的内圈接触。如图3所示，所述转动机构4还包括外防水套45，所述外防水套45与所述转盘41通过密封圈密封且用螺)固定，所述外防水套45起到进一步防止转动机构4侧部进水，外防水套45下端呈空心状，防止进水。如图4所示，所述转盘41上还一体成型的设置有防水第一凸起414，所述第一凸起414覆盖在所述中心出水防水帽42内，防止转动机构4上端进水。如图4所示，所述轴套46上端设置有防水第二凸起415，所述，所述转盘41下端设置有与所述第二凸起415配合的第一凹槽416，进一步防止转动机构4侧部进水。如图5所示，所述外圈压盖410上设置有防水第二凹槽417，所述螺母隔圈411下端设置有与所述第二凹槽417配合的第三凸起420,防止转动机构4底部进水。如图1所示，所述驱动装置1包括驱动电机101、皮带本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型主轴结构，其特征在于：包括驱动装置(1)、基座(2)、清洗夹具(3)、转动机构(4)和中心连接管(5)；所述驱动装置(1)设置在所述基座(2)下端；所述转动机构(4)设置在所述基座(2)上端；所述驱动装置(1)工作带动所述转动机构(4)转动；用于夹紧半导体产品(6)的所述清洗夹具(3)设置在所述转动机构(4)上端；需要清洗的半导体产品(6)设置在所述清洗夹具(3)上；所述中心连接管(5)安装在所述转动机构(4)中心空腔内，所述中心连接管(5)上端口与所述清洗夹具(3)相对应。

【技术特征摘要】
1.一种新型主轴结构，其特征在于：包括驱动装置(1)、基座(2)、清洗夹具(3)、转动机构(4)和中心连接管(5)；所述驱动装置(1)设置在所述基座(2)下端；所述转动机构(4)设置在所述基座(2)上端；所述驱动装置(1)工作带动所述转动机构(4)转动；用于夹紧半导体产品(6)的所述清洗夹具(3)设置在所述转动机构(4)上端；需要清洗的半导体产品(6)设置在所述清洗夹具(3)上；所述中心连接管(5)安装在所述转动机构(4)中心空腔内，所述中心连接管(5)上端口与所述清洗夹具(3)相对应。2.根据权利要求1所述的新型主轴结构，其特征在于：所述转动机构(4)包括转盘(41)、中心出水防水帽(42)、第一涨套(43)、轴芯(44)、外防水套(45)、轴套(46)、外隔圈(47)、内隔圈(48)、第一轴承(49)、外圈压盖(410)、螺母隔圈(411)、螺母(412)和第二轴承(413)；所述轴芯(44)上端通过所述第一涨套(43)与所述转盘(41)固定安装在一起；所述中心连接管(5)安装在所述轴芯(44)中心空腔内，所述中心连接管(5)上端与所述中心出水防水帽(42)固定，所述中心出水防水帽(42)上设置有出水孔(418)和出气孔(419)，所述中心连接管(5)内分别还设置有水管(11)和气管(12)，所述水管(11)与所述出水孔(418)连接，所述气管(12)与所述出气孔(419)连接；所述第二轴承(413)和第一轴承(49)分别固定安装在所述轴芯(44)的上下两端；所述第二轴承(413)和第一轴承(49)的外圈固定所述轴套(46)，所述轴套(46)下端还与所述基座(2)固定；所述外隔圈(47)上端与所述第二轴承(413)的外圈接触，下端与所述第一轴承(49)的外圈接触；所述内隔圈(48)上端与所述第二轴承(413)的内圈接触，下端与所述第一轴承(49)的内圈接触；所述外圈压盖(410)固定安装在所述轴套(46)下端；所述螺母隔圈(411)与所述螺母(412)配合安装在所述轴芯(44)的下端且将所述第一轴承(49)固定住，所述螺母(412)与所述轴芯(44)固定，所述螺母隔圈(411)上端与所述第一轴承(49)的内圈接触。3.根据权利要求2所述的新型主轴结构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪钢，傅立超，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33