【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆加工设备，具体而言，涉及一种晶圆加工设备的排液装置及其控制方法。
技术介绍
1、在半导体湿法设备中，工艺过程会产生大量化学废液，对于机台内每个工艺单元产生的废液均采用排废管引流方式将废液收集到废液桶中，由工作人员定期处理，但由于废液具有一定腐蚀性和粘度，常规排废管存在废液附着在管壁干燥后堵塞排废管的问题，导致排废管的排液效果不佳，因此，提供一种排液装置，解决废液附着在管壁干燥后堵塞排废管的问题是十分必要的。
技术实现思路
1、因此，本专利技术提供一种晶圆加工设备的排液装置，解决废液附着在管壁上，干燥后堵塞排废管的问题。
2、为解决上述问题，本专利技术提供一种晶圆加工设备的排液装置，排液装置用于晶圆加工设备，晶圆加工设备设有排液端，排液装置包括：主排液管，主排液管设有头端和尾端，来自排液端的废液流向尾端，并由尾端流出；冲洗管，冲洗管设于头端，冲洗管与主排液管相互连通，冲洗管导入冲洗液，冲洗液由头端流向尾端；流出口，流出口设于尾端，主排液管内的废液通过流出口流出。
3、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：主排液管的尾端设有冲洗管，冲洗管导入冲洗液，冲洗液能够源源不断的从头端流向尾端，使得主排液管内保持湿润的环境，同时，冲洗液能够带动主排液管内的废液流向尾端，并通过流出口流出，防止废液附着在主排液管的内壁上，冲洗液能够保持主排液管内保持湿润的环境，防止废液干燥堵塞主排液管，使得排液装置的排液效率更高。
4、进一步的，主排液
5、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：主排液管的头端高于尾端，尾端设有流出口，便于废液流向流出口，提高了废液的流动性，防止废液吸附在主排液管的内壁上。
6、进一步的，主排液管包括：设备连接端，设备连接端与排液端相连，以使得晶圆加工设备排出的废液通过设备连接端流进主排液管。
7、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：主排液管设有设备连接端，晶圆加工设备设有排液端，设备连接端与排液端相连，晶圆加工设备排出的废液通过排液端流出，到达设备连接端，再流入主排液管中，防止废液泄漏。
8、进一步的，排液端为管道，排液端插入设备连接端，设备连接端的周侧具有连接端内壁，排液端的外侧与连接端内壁存在缝隙。
9、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排液端的外侧与连接端内壁存在缝隙，与外界大气压连通，防止排液装置的管路产生液柱，影响排液效果。
10、进一步的，晶圆加工设备设有风道，风道内含有废弃物，主排液管还包括：风压连接端，风压连接端与晶圆加工设备的风道相连，吸取风道内的废弃物。
11、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备在运行时，会产生大量的废弃物，废弃物落在晶圆的表面，会造成晶圆的表面存在缺陷，影响晶圆加工的成品率，因此，风道与风压连接端相连，风道吸取晶圆加工设备的废弃物，将废弃物集中在风道中，防止废弃物落到晶圆的表面，保证了晶圆的成品率，风压连接端将风道内部的废弃物导入主排液管中，防止废弃物泄漏。
12、进一步的，晶圆加工设备设有胶嘴，主排液管还包括：胶嘴排废端，胶嘴排废端与风压连接端相邻设置，并且，胶嘴排废端与胶嘴相连，以使得胶嘴清洗废液通过胶嘴排废端流进主排液管。
13、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备设有胶嘴，胶嘴向晶圆的表面喷涂胶液，所以为了保证胶嘴喷涂的效果，胶嘴需要及时清洗，清洗胶嘴产生的废液通过胶嘴排废端进入主排液管内，将多出的废液集中处理，能够减少排液管路的铺设，降低了制造成本，废液集中处理，能够有效地避免废液泄露的问题，保持生产环境的干净整洁。
14、进一步的，排液装置还包括：至少一个引流管，至少一个引流管与主排液管相互连通。
15、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：引流管设有多个，用于收集晶圆加工设备其他处的废液，将废液集中在主排液管内，进行集中排放，避免多处废液单独引流，降低了废液泄露的风险。
16、本专利技术还提供了一种排液装置的控制方法，通过排液装置实现，排液装置用于晶圆加工设备，晶圆加工设备设有排液端，控制方法包括：控制晶圆加工设备通过排液端排出废液，废液经过设备连接端流入主排液管，废液流向尾端；控制冲洗管释放冲洗液，冲洗液从头端流向尾端。
17、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备的废液通过排液端排出，通过设备连接端流入主排液管，冲洗管释放冲洗液，冲洗液从头端流向尾端，推动废液流动，提高废液的流动性，防止废液附着在主排液管的内壁，冲洗液源源不断的流出，保证了主排液管内部湿润的环境，防止废液干燥，堵塞主排液管。
18、进一步的，晶圆加工设备设有胶嘴，控制方法还包括：控制晶圆加工设备进行胶嘴清洗，排出胶嘴清洗废液，控制胶嘴清洗废液通过胶嘴排废端流入主排液管。
19、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备设有胶嘴，胶嘴用于向晶圆表面喷涂胶液，因此，为了保证晶圆的喷涂效果，胶嘴需要进行清洗，清洗胶嘴产生的废液通过胶嘴排废端流进主排液管内，进行集中排放，减少管路的铺设，降低了制造的成本。
20、进一步的，晶圆加工设备设有风道，风道内含有废弃物，控制方法还包括：控制风压连接端吸取废弃物；控制废弃物通过风压连接端流进主排液管。
21、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆加工设备设有风道，利用风道的负压压强，将晶圆加工设备的废弃物吸入风道中，再通过风压连接端流进主排液管，防止废弃物落到晶圆的表面，避免晶圆表面产生缺陷，保证了晶圆生产的成品率。
22、采用本专利技术的技术方案后，能够达到如下技术效果：
23、（1）主排液管的尾端设有冲洗管，冲洗管导入冲洗液，冲洗液能够源源不断的从头端流向尾端，使得主排液管内保持湿润的环境，同时，冲洗液能够带动主排液管内的废液流向尾端，并通过流出口流出，防止废液附着在主排液管的内壁上，冲洗液能够保持主排液管内保持湿润的环境，防止废液干燥堵塞主排液管，使得排液装置的排液效率更高；
24、（2）主排液管由头端向尾端倾斜，尾端设有流出口，便于废液流向流出口，提高了废液的流动性，防止废液吸附在主排液管的内壁上；
25、（3）晶圆加工设备在运行时，会产生大量的废弃物，废弃物落在晶圆的表面，会造成晶圆的表面存在缺陷，影响晶圆加工的成品率，因此，风道与风压连接端相连，风道吸取晶圆加工设备的废弃物，将废弃物集中在风道中，防止废弃物落到晶圆的表面，保证了晶圆的成品率，风压连接端将风道内部的废弃物导入主排液管中，防止废弃物泄漏。
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1.一种晶圆加工设备的排液装置，其特征在于，所述排液装置用于晶圆加工设备，所述晶圆加工设备设有排液端（150），所述排液装置包括：
2.根据权利要求1所述的排液装置，其特征在于，所述头端（110a）高于所述尾端（110b）。
3.根据权利要求1所述的排液装置，其特征在于，所述主排液管（110）包括：
4.根据权利要求3所述的排液装置，其特征在于，所述排液端（150）为管道，所述排液端（150）插入所述设备连接端（111），所述设备连接端（111）的周侧具有连接端内壁（111a），所述排液端（150）的外侧与所述连接端内壁（111a）存在缝隙。
5.根据权利要求1所述的排液装置，其特征在于，所述晶圆加工设备设有风道，所述风道内含有废弃物，所述主排液管（110）还包括：
6.根据权利要求5所述的排液装置，其特征在于，所述晶圆加工设备设有胶嘴，所述主排液管（110）还包括：
7.根据权利要求2所述的排液装置，其特征在于，所述排液装置还包括：
8.一种排液装置的控制方法，通过如权利要求1-7任一项所述的排
9.根据权利要求8所述的控制方法，其特征在于，所述晶圆加工设备设有胶嘴，所述控制方法还包括：
10.根据权利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述晶圆加工设备设有风道，所述风道内含有废弃物，所述控制方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工设备的排液装置，其特征在于，所述排液装置用于晶圆加工设备，所述晶圆加工设备设有排液端（150），所述排液装置包括：
2.根据权利要求1所述的排液装置，其特征在于，所述头端（110a）高于所述尾端（110b）。
3.根据权利要求1所述的排液装置，其特征在于，所述主排液管（110）包括：
4.根据权利要求3所述的排液装置，其特征在于，所述排液端（150）为管道，所述排液端（150）插入所述设备连接端（111），所述设备连接端（111）的周侧具有连接端内壁（111a），所述排液端（150）的外侧与所述连接端内壁（111a）存在缝隙。
5.根据权利要求1所述的排液装置，其特征在于，所述晶圆加工设备设有风...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪钢，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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