【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种去胶液循环系统和去胶机。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆。目前，在晶圆撕金去胶工艺过程中，需要通过加压后的高压所述去胶液喷刷晶圆的表面；同时，对所述去胶液的压强有较高的要求。但是现有的加压泵在进行较高的加压措施时，一般的加压泵并不能保持稳定的压强，而稳压较好的加压泵造价过高，导致成本激增，不适合大规模的生产。
技术实现思路
1、因此，本专利技术实施例提供一种去胶液循环系统和去胶机，有效解决加压系统中加压泵加压不稳定的问题，且能够节约成本和能耗。
2、一方面，本专利技术实施例提供的一种去胶液循环系统，包括：加压泵，设有进液口、出液口以及加压部；沉淀池，设有沉淀工作空间，连通所述进液口；去胶腔体，连通所述出液口，且设有排液口，所述排液口连通沉淀池；所述去胶液循环系统，还包括：蓄能器，设于所述加压泵和所述去胶腔体之间；其中，所述去胶液从所述进液口，经所述加压部加压后从所述出液口排出；出液口排出的所述去胶液经过所述蓄能器后以恒压状态进入所述去胶腔体。
3、采用该技术方案后所达到的技术效果：通过在所述去胶腔体和所述加压泵之间安装蓄能器，使所述出液口排出的所述去胶液经过所述蓄能器后以恒压状态进入所述去胶腔体。
4、在本专利技术的一个实施例中，所述蓄能器，包括：蓄能部，用于储存气体，包括：充气腔体，设于所述蓄能部的内部，所述充气腔体用于储存气体；充气口，连接所述充气腔体
5、采用该技术方案后所达到的技术效果：当所述加压泵流出的所述去胶液压力高时，一部分的所述去胶液从所述蓄能开口进入所述蓄能器，此时，所述蓄能器起到减压的作用；当所述加压泵流出的所述去胶液压力低时，所述蓄能器内的所述去胶液从蓄能开口流出，此时，所述蓄能器起到加压的作用。
6、在本专利技术的一个实施例中，还包括：加压部外壳，所述蓄能器和所述加压泵均设于所述加压部外壳内。
7、采用该技术方案后所达到的技术效果：所述加压泵和所述蓄能器在所述去胶液循环系统中拥有独立的空间，便于管理和监测。
8、在本专利技术的一个实施例中，所述加压部外壳，还包括：减震器，设于所述加压部外壳和所述加压泵的连接处。
9、采用该技术方案后所达到的技术效果：减缓所述加压泵在工作时产生的震动，从而减少噪音。
10、在本专利技术的一个实施例中还包括：监测组件，所述监测组件，包括：压力检测组件，连通所述出液口，包括：压力表，用于显示当前所述去胶液的压力；压力传感器，能够感受压力信号，将压力信号转换成输出的电信号；流量检测组件，连通所述出液口，包括：流量计，用于测试所述去胶液的流量，并显示当前所述去胶液流量；流量传感器，能够感受流量信号，将流量信号转换成输出的电信号。
11、采用该技术方案后所达到的技术效果：通过压力表监测当前所述去胶液的压力；通过压力传感器，将压力信号转换成输出的电信号并传输至处理器；通过流量计表监测当前所述去胶液的流量；通过流量传感器，将流量信号转换成输出的电信号并传输至处理器。
12、在本专利技术的一个实施例中，还包括：控制开关，所述控制开关，包括：手动阀，手动控制所述加压泵的开闭；电磁阀，自动控制所述加压泵的开闭；电气比例阀，调整所述加压泵的进出口压力；其中，所述电磁阀为带电常开设置，当所述加压泵工作时发成断电时，电磁阀自动断开，起到保护所述加压泵的作用。
13、采用该技术方案后所达到的技术效果：通过手动阀可手动控制整个去胶液循环系统；通过电磁阀保护在去胶液循环系统突然断电后，防止加压泵因加压部反转对加压泵造成损伤；通过电气比例阀，可调节加压泵的进出口压力。
14、在本专利技术的一个实施例中，所述监测组件位于所述加压部外壳的内部，所述加压部外壳上设有观察窗口；其中，通过所述观察窗口可观察所述压力表以及所述流量计的实时数值。
15、采用该技术方案后所达到的技术效果：通过所述观察窗口可观察所述压力表以及所述流量计的实时数值
16、在本专利技术的一个实施例中，所述控制开关位于所述加压部外壳的内部，所述加压部外壳上设有控制窗口；其中，通过所述控制窗口可控制所述手动阀的开闭。
17、采用该技术方案后所达到的技术效果：通过所述控制窗口可控制所述手动阀的开闭。
18、在本专利技术的一个实施例中，还包括：过滤器，设于所述出液口和所述喷嘴之间，所述过滤器用于过滤掉所述去胶液中的金属颗粒。
19、采用该技术方案后所达到的技术效果：所述去胶液在加压系统中一般是循环使用的，当使用过后的所述去胶液中会残留有一定的杂质，通过所述过滤器进行过滤循环实现二次使用。
20、又一方面，本专利技术实施例提供的一种去胶机，所述去胶机设有如上述任意一项实施例所述的去胶液循环系统。
21、采用该技术方案后所达到的技术效果：在所述去胶腔体和所述加压泵之间安装所述蓄能器，所述出液口排出的所述去胶液经过所述蓄能器后以恒压状态进入所述去胶腔体。
22、综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：i)提高了加压装置的稳定性，以此提高了去胶的效率；ii)在开关处设置电磁阀，防止去胶液循环系统突然断电使加压泵发生倒转对加压泵造成的伤害；iii)在加压泵和腔体的连接处设有减震器，可减少加压泵在工作时产生的噪音。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种去胶液循环系统，包括：加压泵，设有进液口、出液口以及加压部；沉淀池，设有沉淀工作空间，连通所述进液口；去胶腔体，连通所述出液口，且设有排液口，所述排液口连通沉淀池；其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的去胶液循环系统，其特征在于，所述蓄能器，包括：
3.根据权利要求1所述的去胶液循环系统，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的去胶液循环系统，其特征在于，所述加压部外壳，还包括：
5.根据权利要求3所述的去胶液循环系统，还包括：监测组件，其特征在于，所述监测组件，包括：
6.根据权利要求3所述的去胶液循环系统，还包括：控制开关，其特征在于，所述控制开关，包括：
7.根据权利要求5所述的去胶液循环系统，所述监测组件位于所述加压部外壳的内部，其特征在于，所述加压部外壳上设有观察窗口；
8.根据权利要求6所述的去胶液循环系统，所述控制开关位于所述加压部外壳的内部，其特征在于，所述加压部外壳上设有控制窗口；
9.根据权利要求1所述的去胶液循环系统，其特征在于，还包括：p>
10.一种去胶机，其特征在于，所述去胶机设有如权利要求1-9所述的去胶液循环系统。
...【技术特征摘要】
1.一种去胶液循环系统，包括：加压泵，设有进液口、出液口以及加压部；沉淀池，设有沉淀工作空间，连通所述进液口；去胶腔体，连通所述出液口，且设有排液口，所述排液口连通沉淀池；其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的去胶液循环系统，其特征在于，所述蓄能器，包括：
3.根据权利要求1所述的去胶液循环系统，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的去胶液循环系统，其特征在于，所述加压部外壳，还包括：
5.根据权利要求3所述的去胶液循环系统，还包括：监测组件，其特征在于，所述监测组件，包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈云清，王石磊，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。