本发明专利技术的检查辅助具是用以使探针Pr接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板51，所述相对向板51是设有与所述基板相对向而配置的相对向面F；以及电极侧支撑体6，是具有支撑板61至支撑板63，所述支撑板61至支撑板63是与位于所述相对向板51的与所述相对向面F为相反侧处的电极板9相对向而配置；支撑板61至支撑板63是设有插通并支撑探针Pr的后端部的探针支撑孔23，所述探针支撑孔23是相对于与相对向板51的相对向面F正交的方向的基准线Z，沿着以一定角度θ倾斜的支撑线V而形成，并且具备限制所述探针Pr的后端部往与所述支撑线V的倾斜方向正交的方向移动的限制面。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查辅助具、具备所述辅助具的基板检查装置及检查辅助具的制造方法
本专利技术涉及一种检查辅助具、具备所述辅助具的基板检查装置及检查辅助具的制造方法，所述检查辅助具是用以使探针与设于作为检查对象的基板的检查点接触。
技术介绍
检查辅助具是用于从检查装置经由探针(检查销)对由基板构成的检查对象所具有的检查对象部(检查部)供应电力(电信号等)，并且通过检测来自检查对象的电输出信号，检测检查对象的电特性或实施动作试验等。就作为检查对象的基板而言，例如有印刷配线基板、可挠性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子体显示器等用的电极板、半导体封装用的封装基板或薄膜载体等各种基板、半导体晶片、半导体芯片或芯片尺寸封装(Chipsizepackage，CSP)等的半导体基板。本说明中，将设定于所述基板的检查对象部统称为“检查点”。例如，将集成电路(IntegratedCircuit，IC)等半导体电路或电阻器等电气、电子零件搭载于作为检查对象的基板时，配线、焊料凸块等电极是成为检查点。此时，为了保障检查点能够将电信号正确地传达至所述搭载零件，是对在安装电气、电子零件前的印刷配线基板、液晶面板、等离子体显示面板等形成的配线上的规定的检查点间的电阻值等的电特性进行测量，从而判断配线的良莠。具体而言，通过使电流供应用的探针及电压测量用的探针与检查对象的各检查点抵接，从所述电流供应用的探针对检查点供应测量用电流，并且测量抵接于检查点的电压测量用的探针的前端间的配线所产生的电压，依据所述供应电流及所测量的电压来算出规定的检查点间的配线的电阻值，从而进行所述配线的良莠的判断。再者，在使用基板检查装置进行检查对象的检查时，所进行的控制是使辅助具移动手段动作，而在使检查辅助具的检查用探针与成为检查对象的基板的检查点抵接的状态下进行规定的检查。并且，在检查结束时，通过辅助具移动手段使检查辅助具移动而离开检查用基板。于此，如专利文献1所公开，已知一种点测器(prober)(基板检查装置)，是具有探针与导引板，所述探针是一端部连接于对检查对象的电特性进行检查的检查装置侧，另一端部是连接于所述检查对象，并在规定位置形成有弯曲部，所述导引部是形成有供所述探针的端部插通并予以支撑的插通孔，所述点测器中，通过以朝向检查对象侧成为前端狭窄的方式倾斜的锥面，将所述插通孔形成圆锥状。并且，将直线状延伸的探针插入隔着规定间隔平行配置的二张导引板的贯穿孔后，将探针固定于二张导引板的贯穿孔的内壁，接着使导引板相对移动而在探针形成弯曲部，接着解除至少一张导引板的贯穿孔的固定，然后在二张导引板间嵌入框架体并予以平行地支撑，由此将全部的探针总括地折弯，在相同形状的探针的规定位置形成弯曲部，并使探针的挫曲方向固定，而可防止相邻的探针彼此接触，并且使探针的前端部的倾斜变小。再者，如专利文献2所公开，已知有一种检查辅助具，所述检查辅助具是具备：前端侧支撑体，是具备前端侧插通孔，所述前端侧插通孔具有朝向检查对象(被检查物)的探针导引方向；后端侧支撑体，是隔着间隔而配置于前端侧支撑体的后方，并具备后端侧插通孔，所述后端侧插通孔是具有相对于前端侧插通孔的探针导引方向而倾斜的探针导引方向；探针是具备弹性且可弯曲，并具有插通前端侧插通孔的前端侧部分及插通后端侧插通孔的后端侧部分，所述前端侧部分的前端可在检查对象侧出没；以及电极，是配置于后端侧支撑体的后方并抵接后端侧部分；探针的前端侧部分是构成为配置于相对于后端侧部分往后端侧插通孔的探针导引方向的倾斜侧偏移的位置，由此在探针的前端抵接于检查对象时平顺地使探针挠曲，而可使探针的中间部分在前端侧支撑体与后端侧支撑体之间倾斜。并且，通过将探针的前端侧部分配置于相对于后端侧部分往后端侧插通孔的探针导引方向的倾斜侧偏移的位置，使后端侧插通孔的探针导引方向的倾斜的方向与已装设的探针或应装设的探针的倾斜姿势的方向一致，由此使探针可容易地从后端侧支撑体的后方拔出及插入，即便未如已知技术那样设置用以使前端侧支撑体与后端侧支撑体沿平面方向位移的机构等复杂的构造，也可容易地进行探针的交换，并且当探针的前端抵接于检查对象时，也可平顺地使探针挠曲。再者，专利文献2公开有以下构成：在前端侧插通孔及后端侧插通孔的至少一方，设置其探针导引方向与相对向面的正交方向相对地倾斜的倾斜部，并将探针的前端侧部分及后端侧部分的任一方，相对于前端侧部分及后端侧部分的另一方，配置于偏移至倾斜部的倾斜侧的位置，并使探针的中间部分在前端侧支撑体与后端侧支撑体之间倾斜，由此，当探针的前端抵接于检查对象时，可使探针平顺地挠曲(参照图15)。再者，通过使倾斜部的倾斜方向与已被装设的探针的倾斜姿势的方向一致，而使探针可容易地从前端侧支撑体的前方或后端侧支撑体的后方拔出及插入，即便未设置如专利文献1所公开的用以使前端侧支撑体与后端侧支撑体沿平面方向位移的机构等复杂的构造，也可容易地进行探针的交换。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开平9-274054号公报专利文献2：日本专利特开2005-338065号公报
技术实现思路
然而，专利文献1所公开的基板检查装置中，在制造其所搭载的检查辅助具时，将设置成直线状延伸的探针的两端部插入二张导引板的贯穿孔后，需进行：将探针固定于二张导引板的贯穿孔内的作业；使导引板相对移动而在所述探针形成规定的弯曲部的作业；将至少一张导引板的贯穿孔的固定解除的作业；以及在二张导引板间嵌入框架体并平行地支撑等繁杂的作业，而无法避免制造成本提高。另一方面，如专利文献2公开，使后端侧支撑孔的探针导引方向相对于前端侧插通孔的探针导引方向倾斜时，具体而言，如图15所示，从前端侧开始依序层叠多数个支撑板102至支撑板104而构成后端侧支撑体101，并且，在各支撑板102至支撑板104分别形成贯穿孔105至贯穿孔107，并做成使所述贯穿孔105至贯穿孔107的中心往一定方向逐一稍微偏移的状态，由此构成供探针Pr的后端侧部分插通的一个后端侧插通孔。通过此构成，在与检查对象相对向设置的前端侧支撑体201与后端侧支撑体101之间，沿着与前端侧支撑体201的设置方向正交的方向的基准线Z相对地倾斜规定角度的支撑线V来支撑探针Pr的中间部分，而在探针Pr的前端抵接于检查对象时可使探针Pr平顺地挠曲。并且，通过将探针的前端侧部分配置于相对于后端侧部分沿着后端侧插通孔的探针导引方向的位置，而可使后端侧插通孔的探针导引方向的倾斜方向与被装设的探针或应装设的探针的倾斜姿势的方向一致，因而可使探针容易地从后端侧支撑体的后方拔出及插入。因此，即便未如专利文献1的检查辅助具设置用以使前端侧支撑体与后端侧支撑体沿平面方向位移的机构等复杂的构造，也可容易地进行探针的交换。然而，如所述构成为使设于后端侧支撑体的后端侧支撑孔以使探针的后端侧部分倾斜的状态支撑探针的后端侧部分，且使探针的前端抵接于检查对象之际使探针挠曲时，须使后端侧支撑孔的内径设定为比探针的外径大更多，在探针的后端部容易产生晃动，而有无法稳定且支撑探针的问题。本专利技术的目的在于提供一种检查辅助具及基板检查装置，可通过简单的构成使探针的支撑状态稳定。本专利技术的一实施方式的检查辅助具是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点者，所述检查辅助具本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种检查辅助具，是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，所述检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板，所述相对向板是设有与所述基板相对向而配置的相对向面；以及电极侧支撑体，是具有支撑板，所述支撑板是与位于所述相对向板的与所述相对向面为相反侧处的电极板相对向而配置；所述相对向板是形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，所述电极侧支撑体是对应于所述相对向板的探针插通孔而设有插通并支撑所述探针的后端部的探针支撑孔，所述探针支撑孔是相对于与所述相对向板的相对向面正交的方向的基准线，沿着以一定角度倾斜的支撑线而形成，并且具备限制所述探针的后端部往与所支述撑线的倾斜方向正交的方向移动的限制面。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.28 JP 2016-1487421.一种检查辅助具，是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，所述检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板，所述相对向板是设有与所述基板相对向而配置的相对向面；以及电极侧支撑体，是具有支撑板，所述支撑板是与位于所述相对向板的与所述相对向面为相反侧处的电极板相对向而配置；所述相对向板是形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，所述电极侧支撑体是对应于所述相对向板的探针插通孔而设有插通并支撑所述探针的后端部的探针支撑孔，所述探针支撑孔是相对于与所述相对向板的相对向面正交的方向的基准线，沿着以一定角度倾斜的支撑线而形成，并且具备限制所述探针的后端部往与所支述撑线的倾斜方向正交的方向移动的限制面。2.根据权利要求1所述的检查辅助具，其中，所述电极侧支撑体是通过层叠多片所述支撑板而构成。3.根据权利要求1或2所述的检查辅助具，其中，所述支撑板的探针支撑孔的与所述支撑线正交的方向的剖面形状是形...
【专利技术属性】
技术研发人员：山崎秀和，太田宪宏，
申请(专利权)人：日本电产理德股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。