检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法制造方法及图纸

检查辅助具包括：多个探针Pr，是具有大致棒状的形状，以各探针的前端部Pra接触基板100的多个检查点；支撑构件300，是以将探针Pr配置成使前端部Pra分别接触基板100的检查点的状态来支撑探针Pr；装置侧连接端子36，是电性连接于检查装置本体2；多个标准配置电极332，是与装置侧连接端子36导通，并以预先设定的标准配置来配置；以及转换块31，是具有互相相对向的第一面311及第二面312，并形成有第一电极E1及第二电极E2，第一电极E1是配置成在第一面311与探针Pr的后端部Prb接触，第二电极E2是配置成与第一电极E1导通并且在第二面312与标准配置相对应。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法
本专利技术涉及一种使探针与检查对象物接触的检查辅助具，具备所述连接辅助具的基板检查装置及所述检查辅助具的制造方法。
技术介绍
以往，已知有一种检查装置，是使配置成多针状的多个探针接触印刷配线基板或半导体基板等检查对象物的多个检查点，进行检查对象物的检查。再者，已知有一种检查辅助具，是具备保持此种多针状探针的辅助具头，并将所述探针与检查装置本体电性连接。然而，近年来检查点的间隔变得非常细微，且检查点的数量变多，在如所述的检查装置中是使用例如数千条左右的探针。再者，就制造的容易性、连接可靠性及耐久性的观点来看，检查装置本体侧的连接端子(电极)必须作成某种程度大的形状，而以比检查点的配置间隔更宽广的间隔来配置。因此，无法将所述等探针与检查装置本体直接连接。对此，利用缆线来连接所述等探针与检查装置本体。然而，由于检查对象物变更时检查点的配置也会改变，故若检查对象物变更，则必须重新制作保持探针的辅助具头。若重新制作辅助具头，则必须重新进行缆线的连接，而会产生数千条缆线连接作业。因此，其缆线连接作业工数成为庞大负担。对此，已知有一种基板检查装置(例如参照专利文献1)，是具备间隔转换块，将检查点的配置间隔转换成检查装置侧的电极的配置间隔。专利文献1记载有下述技术：使间隔转换块的上表面电极排列及下表面电极的排列设成正方格状，并使探针的前端侧配合检查点的配置，通过将探针的与上表面电极接触的基端侧的配置设成正方格状，而使间隔转换块标准化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2005-172603号公报
技术实现思路
另外，依据专利文献1所记载的技术，须使多针状的探针的前端侧的配置配合检查点的配置，并使多针状的探针的基端侧的配置定位于预先设定的正方格状的交点位置。然而，当检查点的密度愈高则探针基端侧的配置的自由度就愈低，因此，随着检查对象物的细微化的发展，难以将探针基端侧的配置设为正方格状的检查对象物有增加的趋势。由于无法检查难以将探针基端侧的配置设成正方格状的检查对象物，故有检查对象的自由度下降的问题。本专利技术的目的在于提供一种检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法，能够减少变更检查对象物时的探针与检查装置本体的缆线连接工数，并且能够容易地增加能作为检查对象的检查对象物。本专利技术的一实施方式的检查辅助具是用以使设于检查对象物的多个检查点对于用以电性检查所述检查对象物的检查装置本体导通的检查辅助具，所述检查辅助具是包括：多个探针，是具有大致棒状的形状，以各探针的前端部接触所述多个检查点；支撑构件，是以将所述多个探针配置成使所述多个前端部分别接触所述多个检查点的状态来支撑所述多个探针；装置侧连接端子，是电性连接于所述检查装置本体；多个标准配置电极，是与所述多个装置侧连接端子导通，并以预先设定的标准配置来配置；以及转换块，是具有互相相对向的第一面及第二面，并形成有多个第一电极及多个第二电极，所述多个第一电极是配置成在所述第一面与所述多个探针的后端接触，所述多个第二电极是配置成与所述多个第一电极导通并且在所述第二面与所述标准配置相对应。附图说明图1是概略表示具备本专利技术的一实施方式的检查辅助具的基板检查装置的构成的正面图。图2是表示图1所示的检查辅助具的构成的一例的立体图。图3是图2所示的检查辅助具的Ⅲ-Ⅲ剖面图。图4是分解、放大表示图3所示的辅助具头、转换块及座板的构成的说明图。图5是表示本专利技术第二实施方式的检查辅助具的构成的一例的剖面图。图6是分解表示图5所示的检查辅助具的说明图。图7是表示图5所示的检查辅助具的变形例的说明图。具体实施方式以下，依据附图说明本专利技术的实施方式。另外，在各附图中附加相同符号的构成是表示相同构成，并省略其说明。(第一实施方式)图1是概略表示具备本专利技术的一实施方式的检查辅助具的基板检查装置1的构成的正面图。图1所示的基板检查装置1是用以检查形成于检查对象物的基板100的电路图案的装置。基板100是可为例如半导体基板、印刷配线基板、可挠性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器、等离子体显示器或EL(Electro-Luminescence，电致发光)显示器用的电极板、及半导体封装用封装基板或薄膜载体等各种基板。使探针接触的检查点是适当地设定多个在例如形成于基板100的焊盘、电极、端子或配线图案等。由于检查点的配置是根据形成于基板100的配线图案等而决定，故若将基板100变更成不同种类(不同型式)者，则检查点的配置也会变化。图1所示的基板检查装置1是具备检查装置本体2及检查辅助具3U、检查辅助具3D。检查装置本体2主要具备检查部4U、检查部4D、检查部移动机构5U、检查部移动机构5D、基板固定装置6及收纳所述各构件的机壳7。基板固定装置6是构成为将检查对象的基板100固定于规定位置。检查部移动机构5U、检查部移动机构5D是使检查部4U、检查部4D在机壳7内适当地移动。检查部4U是位于被固定在基板固定装置6的基板100的上方。检查部4D是位于被固定在基板固定装置6的基板100的下方。检查部4U、检查部4D是构成为能够拆装用以检查形成于基板100的电路图案的检查辅助具3U、检查辅助具3D。以下将检查部4U、检查部4D总称为检查部4。图2是表示图1所示的检查辅助具3U、检查辅助具3D的构成的一例的立体图。由于检查辅助具3U除了上下方向不同外，是构成为与检查辅助具3D相同，故省略其说明。以下将检查辅助具3U、检查辅助具3D总称为检查辅助具3。图3是图2所示的检查辅助具3的Ⅲ-Ⅲ剖面图。检查辅助具3是具备辅助具头30、转换块31、支撑座32、基台33以及多条缆线34。基台33是装设于检查装置本体2的大致板状的构件。基台33是装设有与检查装置本体2电性连接的多个装置侧连接端子36。各装置侧连接端子36是连接缆线34的一端。支撑座32是具备座板321以及多个连结棒322，所述座板321是具有大致板状的形状，所述多个连结棒322是将座板321连结成与基台33分离的状态。例如在座板321的四角落装设四个连结棒322。图4是分解、放大表示图3所示的辅助具头30、转换块31及座板321的构成的说明图。座板321是具有表面321a及背面321b。座板321是从背面321b侧以贯穿座板321的厚度方向的方式贯入有多条缆线34的一端。座板321的表面321a是研磨成平坦，以使缆线34的端面露出。所述等缆线34的端面是设为标准配置电极332。标准配置电极332是配置成预先设定的标准配置。标准配置中，一般是各标准配置电极332间的间隔比基板100的各检查点间的间隔更宽广。转换块31是具有例如扁平的大致长方体形状，且具有互相相对向的第一面311及第二面312。转换块31是以第二面312位于座板321侧的方式装设于座板321。转换块31是通过例如螺栓等装设手段而以可拆装的方式装设于座板321。转换块31的第一面311是形成有多个第一电极E1，转换块31的第二面312是形成有多个第二电极E2。多个第一电极E1是以能够与后述的由支撑构件300支撑的多个探针Pr的后端部Prb接触的方式，与探针Pr的后端部Prb对应地配置而形成于第一面311。多个第二电极E2是以能够与多个标准配置电极3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查辅助具，是用以使设于检查对象物的多个检查点对于用以电性检查所述检查对象物的检查装置本体导通的检查辅助具，所述检查辅助具是包括：多个探针，是具有大致棒状的形状，以各探针的前端部接触所述多个检查点；支撑构件，是以将所述多个探针配置成使所述多个前端部分别接触所述多个检查点的状态来支撑所述多个探针；多个装置侧连接端子，是电性连接于所述检查装置本体；多个标准配置电极，是与所述多个装置侧连接端子导通，并以预先设定的标准配置来配置；以及转换块，是具有互相相对向的第一面及第二面，并形成有多个第一电极及多个第二电极，所述多个第一电极是配置成在所述第一面与所述多个探针的后端接触，所述多个第二电极是配置成与所述多个第一电极导通并且在所述第二面与所述标准配置相对应。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.28 JP 2016-1485071.一种检查辅助具，是用以使设于检查对象物的多个检查点对于用以电性检查所述检查对象物的检查装置本体导通的检查辅助具，所述检查辅助具是包括：多个探针，是具有大致棒状的形状，以各探针的前端部接触所述多个检查点；支撑构件，是以将所述多个探针配置成使所述多个前端部分别接触所述多个检查点的状态来支撑所述多个探针；多个装置侧连接端子，是电性连接于所述检查装置本体；多个标准配置电极，是与所述多个装置侧连接端子导通，并以预先设定的标准配置来配置；以及转换块，是具有互相相对向的第一面及第二面，并形成有多个第一电极及多个第二电极，所述多个第一电极是配置成在所述第一面与所述多个探针的后端接触，所述多个第二电极是配置成与所述多个第一电极导通并且在所述第二面与所述标准配置相对应。2.根据权利要求1所述的检查辅助具，还包括：印刷配线基板，是与所述转换块的所述第二面相对向配置，且延伸于与所述相对向方向垂直的方向；所述多个标准配置电极是在所述印刷配线基板的与所述第二面相对向的面，以与所述多个第二电极相对向的方式形成；所述多个装置侧连接端子是配设于所述印刷配线基板的从形成有所述多个标准配置电极的位置往所述垂直方向分离的位置；所述多个装置侧连接端子与所述多个标准配置电极是通过所述印刷配线基板的多个配线图案而分别导通连接。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：太田宪宏，
申请(专利权)人：日本电产理德股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP