蒸镀装置以及蒸镀设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供蒸镀装置以及蒸镀设备，蒸镀装置包括：用于放置蒸镀材料的多个第一容器；用于混合蒸镀材料的第二容器；用于加热蒸镀材料的加热器；第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口，第一底板、第一侧壁封闭；第二容器包括第二底板，第二底板包括多个开孔，第一开口与开孔对接；加热器包括加热丝，加热丝覆盖第一底板、第一侧壁、第二底板。在本发明专利技术中，加热器与蒸镀材料之间的热传导较多，加热器与蒸镀材料之间的热辐射较少，加热器的热量的损失率较低，加热器的热量的利用率较高；并且，蒸镀温度较低，避免蒸镀温度较高导致蒸镀材料化学分解，确保蒸镀材料比较纯净地沉积于显示基板上；另外，蒸镀装置中的压强较小，有助于降低蒸镀温度。

Evaporation equipment and evaporation equipment

The invention provides an evaporation plating device and an evaporation plating device, which comprises a plurality of first containers for placing evaporation materials, a second container for mixing evaporation materials, a heater for heating evaporation materials, a first container including a first bottom plate, a first side wall, a first opening, a first bottom plate and a first side wall closed, a second container including a second bottom plate and a second bottom plate including a second bottom plate. The heater comprises a heating wire, which covers the first bottom plate, the first side wall and the second bottom plate. In the present invention, heat conduction between heater and evaporating material is more, heat radiation between heater and evaporating material is less, heat loss rate of heater is lower, heat utilization rate of heater is higher, and evaporating temperature is lower, chemical decomposition of evaporating material caused by higher evaporating temperature is avoided, and evaporating material is more pure deposited on display substrate. In addition, the pressure in the evaporation device is small, which helps to reduce the evaporation temperature.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置以及蒸镀设备
本专利技术涉及有机发光显示
，尤其涉及一种蒸镀装置以及一种蒸镀设备。
技术介绍
有机发光显示面板具有轻薄、省电等特性，广泛用于手机、电脑以及电视等显示装置。有机发光显示面板采用有机发光二极管实现显示，有机发光二极管包括空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层等的有机发光功能层，有机发光功能层一般通过蒸镀形成。但是，蒸镀有机发光功能层易于导致有机发光二极管的使用寿命较短。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种蒸镀装置以及一种蒸镀设备。一方面，一种蒸镀装置包括：用于放置蒸镀材料的多个第一容器；用于混合蒸镀材料的第二容器；及用于加热蒸镀材料的加热器；其中，所述第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口，所述第一底板、所述第一侧壁封闭；所述第二容器包括第二底板，所述第二底板设有多个开孔，所述第一开口与所述开孔对接；所述加热器包括多条加热丝，多条所述加热丝覆盖所述第一底板、所述第一侧壁。可选地，所述蒸镀装置的蒸镀温度小于蒸镀材料的热分解温度。可选地，所述第二容器包括第二侧壁；多个所述第一容器的所述第一底板和所述第一侧壁的总表面面积大于所述第二容器的所述第二底板和所述第二侧壁的总表面面积。可选地，多个所述第一容器的所述第一底板和所述第一侧壁的总表面面积与所述第二容器的所述第二底板和所述第二侧壁的总表面面积之比大于等于1.05。可选地，所述第二容器包括第二侧壁；所述第一侧壁的高度与所述第二侧壁的高度之比大于等于1/2并且小于等于2/3。可选地，多个所述开孔的总表面面积与所述第二底板的表面面积之比大于等于1/20并且小于等于1/5。可选地，所述第一容器呈现柱状。可选地，多个所述开孔等间距地设置。可选地，所述第一底板的厚度、所述第一侧壁的厚度基本上相等。可选地，所述开孔呈现圆形或者呈现正多边形，其中，所述正多边形的边数大于等于4并且小于等于8。可选地，所述蒸镀材料包括发光主体材料、发光客体材料，多个所述第一容器用于放置同一高度的所述发光主体材料或者所述发光客体材料中的一种。另一方面，一种蒸镀设备包括蒸镀腔体、所述蒸镀装置，所述蒸镀装置设置于所述蒸镀腔体中。在本专利技术中，首先，加热器与多个第一容器之间的热传导面积取决于加热丝与第一底板之间的热传导，并且取决于加热丝与第一侧壁之间的热传导面积；固态蒸镀材料与多个第一容器之间的热传导面积取决于固态蒸镀材料与第一底板之间的热传导，并且取决于固态蒸镀材料与第一侧壁之间的热传导；在蒸镀装置中，加热丝与第一底板之间可以热传导，并且，加热丝与第一侧壁之间可以热传导，使得加热器与多个第一容器之间的热传导面积较大；固态蒸镀材料与第一底板之间可以热传导，并且，固态蒸镀材料与第一侧壁之间可以热传导，使得固态蒸镀材料与多个第一容器之间的热传导面积较大；这样使得加热器与蒸镀材料之间的热传导较多，使得加热器与蒸镀材料之间的热辐射较少，进而使得加热器的热量的损失率较低，使得加热器的热量的利用率较高。其次，蒸镀速率取决于加热器与多个第一容器之间的热传导速率，并且取决于固态蒸镀材料与多个第一容器之间的热传导速率；加热器与多个第一容器之间的热传导速率取决于加热器与多个第一容器之间的热传导面积，并且取决于蒸镀温度；固态蒸镀材料与多个第一容器之间的热传导速率取决于固态蒸镀材料与多个第一容器之间的热传导面积，并且取决于蒸镀温度；在蒸镀装置中，蒸镀速率维持固定，加热器与多个第一容器之间的热传导速率维持固定，固态蒸镀材料与多个第一容器之间的热传导速率维持固定，此时，加热器与多个第一容器之间的热传导面积较大，或者，固态蒸镀材料与多个第一容器之间的热传导面积较大，可以使得蒸镀温度较低；这样避免蒸镀温度较高导致蒸镀材料化学分解，确保蒸镀材料比较纯净地沉积于显示基板上。再次，蒸镀温度正比于蒸镀装置中的压强，蒸镀装置中的压强反比于蒸镀装置中的体积；蒸镀装置包括多个第一容器并且包括第二容器，蒸镀装置中的体积较大，蒸镀装置中的压强较小；这样有助于较低蒸镀温度。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1是现有技术中蒸镀设备100的结构示意图；图2是本专利技术实施例一种蒸镀装置200的结构示意图；图3是本专利技术实施例一种蒸镀装置200中第一容器210的结构示意图；图4是本专利技术实施例一种蒸镀装置200中第一容器210的另一结构示意图；图5是本专利技术实施例一种蒸镀装置200中第二容器220的结构示意图；图6是本专利技术实施例一种蒸镀装置200中第二容器220的另一结构示意图；图7是本专利技术实施例一种蒸镀装置200中第二容器220的另一结构示意图；图8是本专利技术实施例一种蒸镀设备300的结构示意图；图9是本专利技术实施例另一种蒸镀设备300的结构示意图。【具体实施方式】为了更好的理解本专利技术的技术方案，下面结合附图对本专利技术实施例进行详细描述。应当明确，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本专利技术。在本专利技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。本说明书的描述中，需要理解的是，本申请权利要求及实施例所描述的“基本上”、“近似”、“大约”、“约”、“大致”“大体上”等词语，是指在合理的工艺操作范围内或者公差范围内，可以大体上认同的，而不是一个精确值。应当理解，尽管在本专利技术实施例中可能采用术语第一、第二等来描述装置，但这些装置不应限于这些术语。这些术语仅用来将装置彼此区分开。例如，在不脱离本专利技术实施例范围的情况下，第一装置也可以被称为第二装置，类似地，第二装置也可以被称为第一装置。图1是现有技术中蒸镀装置100的结构示意图。在现有技术中，蒸镀装置100包括容器110和加热器120。容器110包括底板111、侧壁112。加热器120包括加热丝121。加热器120的加热丝121覆盖容器110的底板111或者侧壁112，蒸镀材料设置于容器110中。其中，容器110的底板111、侧壁112的面积有限，加热器120的加热丝121与容器110的底板111、侧壁112之间的热传导有限，容器110的底板111、侧壁112与蒸镀材料之间的热传导有限，加热器120与蒸镀材料之间的热传导有限；于是，在蒸镀装置100的蒸镀速率维持固定时，蒸镀装置100的蒸镀温度较高。但是，蒸镀装置100的蒸镀温度较高导致蒸镀材料过热分解，蒸镀形成的有机发光功能层不纯净，有机发光二极管的使用寿命较短。为了解决上述技术问题，本专利技术实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括，用于放置蒸镀材料的多个第一容器；用于混合所述蒸镀材料的第二容器；及用于加热所述蒸镀材料的加热器；其中，所述第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口，所述第一底板、所述第一侧壁封闭；所述第二容器包括第二底板，所述第二底板设有多个开孔，所述第一开口与所述开孔对接；所述加热器包括多条加热丝，多条所述加热丝覆盖所述第一底板、所述第一侧壁。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括，用于放置蒸镀材料的多个第一容器；用于混合所述蒸镀材料的第二容器；及用于加热所述蒸镀材料的加热器；其中，所述第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口，所述第一底板、所述第一侧壁封闭；所述第二容器包括第二底板，所述第二底板设有多个开孔，所述第一开口与所述开孔对接；所述加热器包括多条加热丝，多条所述加热丝覆盖所述第一底板、所述第一侧壁。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置的蒸镀温度小于所述蒸镀材料的热分解温度。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二容器包括第二侧壁；多个所述第一容器的所述第一底板和所述第一侧壁的总表面面积大于所述第二容器的所述第二底板和所述第二侧壁的总表面面积。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，多个所述第一容器的所述第一底板和所述第一侧壁的总表面面积与所述第二容器的所述第二底板和所述第二侧壁的总表面面积之比大于等于1.05。5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二容器包...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏禹，张正川，王鹏，王淼，
申请(专利权)人：厦门天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35