一种蒸镀装置及蒸镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及薄膜制备技术领域，公开了一种蒸镀装置及蒸镀方法。所述蒸镀装置通过导电隔板将蒸镀腔分割为多个子蒸镀腔，在每一子蒸镀腔内一一对应设置蒸发源，并通过电荷提供模块控制所述导电隔板带电，通过微粒带电模块控制蒸镀材料微粒带电，且所述导电隔板和蒸镀材料微粒带同种电荷，以使蒸镀材料微粒在导电隔板的同种电荷间的排斥力作用下，减小蒸镀材料微粒的蒸镀角，避免不同蒸发源蒸发的蒸镀材料微粒发生串扰，提高蒸镀质量。同时，能够使更多的蒸镀材料微粒蒸镀在基板上，提高材料利用率。而且还能够减小设备的体积，缩短蒸镀工艺的耗时，提高生产效率，降低成本，保证制得基板的性能。利用上述蒸镀装置进行蒸镀的方法也具有上述技术效果。

A Steaming Device and Steaming Method

The invention relates to the technical field of thin film preparation, and discloses an evaporation device and a evaporation plating method. The evaporation device divides the evaporation chamber into several sub-evaporation chambers by conductive baffle, sets evaporation sources one by one in each sub-evaporation chamber, controls the electrification of the conductive baffle by charge providing module, and controls the electrification of the evaporation material particles by particle electrifying module, and the conductive baffle and the evaporation material particles are charged with the same charge, so that the evaporation material particles are in the conductive baffle. Under the action of the repulsive force between the same charges, the evaporation angle of the particles in the evaporation material is reduced, and the cross-talk of the particles evaporated from different evaporation sources is avoided, so as to improve the quality of evaporation. At the same time, more particles of evaporated material can be evaporated on the substrate to improve the utilization rate of materials. It can also reduce the volume of equipment, shorten the time-consuming of evaporation plating process, improve production efficiency, reduce costs, and ensure the performance of the prepared substrate. The method of evaporating plating by using the above evaporating plating device also has the above technical effect.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置及蒸镀方法
本专利技术涉及薄膜制备
，特别是涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。
技术介绍
目前显示器正在向大型化，超薄化，高分辨率，高亮度，低功耗的方向发展。近年来，有机发光二极管(organiclightemittingdiode,OLED)成为国内外非常热门的新兴平面显示器产品，这是因为OLED显示器具有自发光、广视角、短反应时间、高发光效率、广色域、低工作电压、面板薄、可制作大尺寸与柔性的面板及制程简单等特性，而且它还具有低成本的潜力。一般制作大尺寸OLED需要多种不同的有机发光材料，所以就需要相应数目的蒸发源，传统的OLED有机蒸镀腔室是空间相贯通的大腔室，而这种传统的大腔室有一个弊端，就是在长时间蒸镀过程中，各蒸镀源蒸发的分子会有一定几率在空间中扩散而导致分子间的串扰现象，导致蒸镀到基板上的材料不纯而失效，形成暗点，还会影响OLED的寿命和显示器发光色坐标的偏差。
技术实现思路
本专利技术提供一种蒸镀装置及蒸镀方法，用以解决现有的蒸镀装置会造成不同蒸镀材料之间发生串扰的问题。为解决上述技术问题，本专利技术实施例中提供一种蒸镀装置，用于在待蒸镀的基板上蒸镀多个膜层的图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，用于在待蒸镀的基板上蒸镀多个膜层的图形，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔；设置在所述蒸镀腔内的多个蒸发源，每一蒸发源用于产生蒸镀材料微粒，不同蒸发源产生的蒸镀材料微粒不同；相邻的两个蒸发源之间设置有导电隔板，所述导电隔板用于将所述蒸镀腔分割为多个子蒸镀腔，所述蒸发源一一对应设置在所述子蒸镀腔中；电荷提供模块，用于控制所述导电隔板带第一极性的电荷；每一子蒸镀腔包括微粒带电模块，所述微粒带电模块用于控制蒸发源产生的蒸镀材料微粒带第一极性的电荷，带电的蒸镀材料微粒在导电隔板的同种电荷间的排斥力作用下，蒸镀在所述基板上，形成一个膜层的图形。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，用于在待蒸镀的基板上蒸镀多个膜层的图形，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔；设置在所述蒸镀腔内的多个蒸发源，每一蒸发源用于产生蒸镀材料微粒，不同蒸发源产生的蒸镀材料微粒不同；相邻的两个蒸发源之间设置有导电隔板，所述导电隔板用于将所述蒸镀腔分割为多个子蒸镀腔，所述蒸发源一一对应设置在所述子蒸镀腔中；电荷提供模块，用于控制所述导电隔板带第一极性的电荷；每一子蒸镀腔包括微粒带电模块，所述微粒带电模块用于控制蒸发源产生的蒸镀材料微粒带第一极性的电荷，带电的蒸镀材料微粒在导电隔板的同种电荷间的排斥力作用下，蒸镀在所述基板上，形成一个膜层的图形。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：电场形成模块，用于形成导向电场，所述导向电场用于驱动带电的蒸镀材料微粒蒸镀在所述基板上。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电场形成模块包括：基板带电模块，用于控制待蒸镀的基板带第二极性的电荷，所述导电隔板和所述基板之间形成所述导向电场。4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述微粒带电模块为离子源。5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀腔内设置有传输装置，所述传输装置沿第一方向传输待蒸镀的基板；所述多个蒸发源沿第一方向排布，相邻的两个蒸发源之间间隔预设的距离设置；所述导电隔板在第一方向上将所述蒸镀腔分割成多个子蒸镀腔。6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述多个蒸发源等间隔设置。7.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛波，江昌俊，李俊，哈朗朗，窦义坤，徐阳，栾梦雨，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11