蒸镀坩埚盖及蒸镀坩埚制造技术

本实用新型专利技术涉及一种蒸镀坩埚盖及蒸镀坩埚，该蒸镀坩埚盖包括盖体和第一清理件；所述盖体上设有蒸镀孔，所述盖体与所述第一清理件连接，所述第一清理件具有第一伸入部，所述第一伸入部伸入所述蒸镀孔中且贴近所述蒸镀孔的孔壁，所述第一清理件能够相对于所述蒸镀孔运动以使所述第一伸入部沿所述蒸镀孔的孔壁周向运动，从而第一伸入部能够刮除附着在蒸镀孔的孔壁上的蒸镀材料，有利于提高蒸镀的速率稳定性和成膜均匀性，并保证蒸镀工艺的正常进行。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚盖及蒸镀坩埚
本技术涉及蒸镀工艺
，特别是涉及一种蒸镀坩埚盖及蒸镀坩埚。
技术介绍
真空热蒸镀是在压强低于5*10-5Pa的真空环境下，通过加热的方式将材料由固态变为蒸气状态并高速上升运动到达基板，使之在基板上沉积固化为固体薄膜的过程，可应用于OLED有机薄膜制备等领域。请参阅图1，传统的蒸镀坩埚包括坩埚本体20和坩埚盖部30，坩埚盖部30上设有蒸镀孔31，坩埚本体20用于容纳蒸镀材料40。通过加热，蒸镀材料40形成蒸气从蒸镀孔31中逸出，上升到基板50上。然而，在蒸镀过程中，蒸镀孔31很容易附着蒸镀材料40。请参阅图2，当蒸镀孔31附着有较多蒸镀材料40时，基板50边缘区域沉积固化的材料较基板50中心区域少，导致成膜均匀性变差。同时，由于蒸镀孔31的孔径变小，材料蒸出变得困难，导致蒸镀速率下降且稳定性变差。而且，如果不及时进行清理，可使蒸镀孔31堵塞，材料无法蒸出，蒸镀工艺无法继续进行。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能够清理附着在蒸镀孔中的蒸镀材料的蒸镀坩埚盖及蒸镀坩埚。一种蒸镀坩埚盖，包括盖体和第一清理件；所述盖体上设有蒸镀孔，所述第一清理件设置在所述盖体上，所述第一清理件具有第一伸入部，所述第一伸入部伸入所述蒸镀孔中且贴近所述蒸镀孔的孔壁，所述第一清理件能够相对于所述蒸镀孔运动以使所述第一伸入部沿所述蒸镀孔的孔壁周向运动。一种蒸镀坩埚，包括坩埚主体以及所述蒸镀坩埚盖。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：上述蒸镀坩埚盖及蒸镀坩埚，在盖体上设有第一清理件，第一清理件能够运动以使其第一伸入部沿蒸镀孔的孔壁周向运动，从而能够清理附着在蒸镀孔的孔壁上的蒸镀材料，有利于提高蒸镀的速率稳定性和成膜均匀性，并保证蒸镀工艺的正常进行。附图说明图1为传统的蒸镀坩埚的结构示意图；图2为图1所示的蒸镀坩埚的蒸镀孔附着蒸镀材料的示意图；图3为一实施例的蒸镀坩埚的结构示意图；图4为图3所示的蒸镀坩埚在A-A方向上的剖视图；图5为图3所示的蒸镀坩埚中的主盖体的结构示意图；图6为图3所示的蒸镀坩埚中的转动体的结构示意图。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图3～6所示，本技术一实施例的蒸镀坩埚10，包括坩埚主体100和蒸镀坩埚盖200，坩埚主体100用于盛放蒸镀材料并受热，蒸镀坩埚盖200盖设于坩埚主体100的坩埚口上。其中，蒸镀坩埚盖200包括盖体和第一清理件240。盖体上设有蒸镀孔222。盖体与第一清理件240连接。第一清理件240具有第一伸入部，第一伸入部伸入蒸镀孔222中且贴近蒸镀孔222的孔壁。第一清理件240能够相对于所述蒸镀孔运动以使第一伸入部沿蒸镀孔222的孔壁周向运动，从而第一伸入部能够刮除附着在蒸镀孔222的孔壁上中的蒸镀材料。请结合图3和图4，在其中一个实施例中，盖体上设有卡位槽223，坩埚主体100在相应位置上设有与卡位槽223进行卡位配合的主体凸起120，可以限制坩埚主体100和蒸镀坩埚盖200的相对位置，限制相对转动。优选地，卡位槽224和主体凸起120形状和尺寸相对应，使之紧密贴合。进一步，在其中一个实施例中，坩埚主体100与主体凸起120为一体成型，材质相同。可以理解，在其他实施例中，也可以在盖体上设置卡位凸起，坩埚主体100在相应位置上设有与卡位凸起进行卡位配合的主体槽。可选地，蒸镀坩埚10的材质可以是但不限于不锈钢和钛等。在其中一个实施例中，盖体上环绕蒸镀孔222设有环形的安装槽，第一清理件240还具有与第一伸入部连接的嵌入部，嵌入部活动嵌设于安装槽中。本实施例中，第一清理件240的嵌入部能够沿安装槽运动，从而使第一伸入部沿蒸镀孔222的孔壁周向运动。在另一个实施例中，盖体包括主盖体224和转动体226。其中，主盖体224用于盖设于坩埚主体100的坩埚口上。蒸镀孔222设在主盖体224上。转动体226设置在主盖体224上并且与第一清理件240连接，转动体226能够相对于主盖体224转动以带动第一清理件240运动。本实施例的蒸镀坩埚10，通过在主盖体224上设置转动体226带动第一清理件240运动，从而使第一伸入部沿蒸镀孔222的孔壁周向运动，结构简单，易于实现。进一步，在其中一个实施例中，主盖体224与转动体226之间通过环状的限位槽和活动嵌设在限位槽中的限位凸起配合连接，可防止转动体226相对于主盖体224转动的过程中发生错位，使转动体226按特定形式相对于主盖体224转动以保证第一清理件240能够完成清理工作。在一个具体的实施例中，在主盖体224上设置主盖限位凸起2242，在转动体226上相应位置设置环形的转动限位槽2262，主盖限位凸起2242活动嵌设于转动限位槽2262中。优选地，主盖限位凸起2242和转动限位槽2262能够完全贴合，并且接触面光滑，有利于提高第一清理件240的运动精确度，并且能够减少转动体226和主盖体224相对转动的阻力。可以理解，在其他实施例中，也可以在主盖体224上设置环形的主盖限位槽，在转动体226上相应位置设置转动限位凸起，转动限位凸起活动嵌设于主盖限位槽中。在其中一个实施例中，转动体226设有转动体通孔228，并且该转动体通孔228与主盖体224上的蒸镀孔222等径且同轴设置。在本实施例中，蒸镀坩埚盖200还包括第二清理件260，第二清理件260连接于主盖体224，第二清理件260具有第二伸入部，第二伸入部伸入转动体通孔228中且贴近转动体通孔228的孔壁，转动体226和主盖体224相对转动时，第二伸入部能够刮除附着在转动体通孔228的孔壁上的蒸镀材料。进一步，在其中一个实施例中，第一清理件240为杆状，第一清理件240的一端固定在转动体通孔228的孔壁上，第一清理件240的另一端至少伸入至蒸镀孔222的下端开口处，较优地，第一清理件240的另一端伸入并穿出蒸镀孔222；和/或，第二清理件260为杆状，第二清理件260的一端固定在蒸镀孔222的孔壁上，第二清理件的另一端至少伸入至转动体通孔228的上端开口处，较优地，第二清理件240的另一端伸入并穿出转动体通孔228。可选地，第一伸入部和第二伸入部在蒸镀孔222的径向上的截面形状可以是但不限于线性、圆形或多边形等等。为了减小第一伸入部和第二伸入部对蒸镀材料的蒸出造成的影响，在蒸镀孔222的径向上，第一伸入部和第二伸入部的厚度不大于所述蒸镀孔222的半径的1/5。可选地，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀坩埚盖，其特征在于，包括盖体和第一清理件；所述盖体上设有蒸镀孔，所述第一清理件设置在所述盖体上，所述第一清理件具有第一伸入部，所述第一伸入部伸入所述蒸镀孔中且贴近所述蒸镀孔的孔壁，所述第一清理件能够相对于所述蒸镀孔运动以使所述第一伸入部沿所述蒸镀孔的孔壁周向运动。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚盖，其特征在于，包括盖体和第一清理件；所述盖体上设有蒸镀孔，所述第一清理件设置在所述盖体上，所述第一清理件具有第一伸入部，所述第一伸入部伸入所述蒸镀孔中且贴近所述蒸镀孔的孔壁，所述第一清理件能够相对于所述蒸镀孔运动以使所述第一伸入部沿所述蒸镀孔的孔壁周向运动。2.如权利要求1所述的蒸镀坩埚盖，其特征在于，所述盖体上环绕所述蒸镀孔设有环形的安装槽，所述第一清理件还具有与所述第一伸入部连接的嵌入部，所述嵌入部活动嵌设于所述安装槽中。3.如权利要求1所述的蒸镀坩埚盖，其特征在于，所述盖体包括主盖体和转动体，所述主盖体用于盖设于坩埚主体的坩埚口上，所述蒸镀孔设在所述主盖体上，所述转动体设置在所述主盖体上，所述转动体与所述第一清理件连接，所述转动体能够相对于所述主盖体转动以带动所述第一清理件运动。4.如权利要求3所述的蒸镀坩埚盖，其特征在于，所述主盖体设有主盖限位凸起，所述转动体设有环状的转动限位槽，所述主盖限位凸起活动嵌设于所述转动限位槽中；或者，所述主盖体设有环状的主盖限位槽，所述转动体设有转动限位凸起，所述转动限位凸起活动嵌设于所述主盖限位槽中。5.如权利要求3所述的蒸镀坩埚盖，其特征在于，所述转动体设有转动体通孔，所述转动体...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱金华，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44