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本发明涉及薄膜制备技术领域，公开了一种蒸镀装置及蒸镀方法。所述蒸镀装置通过导电隔板将蒸镀腔分割为多个子蒸镀腔，在每一子蒸镀腔内一一对应设置蒸发源，并通过电荷提供模块控制所述导电隔板带电，通过微粒带电模块控制蒸镀材料微粒带电，且所述导电隔板和...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司授权不得商用。