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蒸镀装置以及蒸镀设备制造方法及图纸
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文档序号:20540037
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本发明提供蒸镀装置以及蒸镀设备,蒸镀装置包括:用于放置蒸镀材料的多个第一容器;用于混合蒸镀材料的第二容器;用于加热蒸镀材料的加热器;第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口,第一底板、第一侧壁封闭;第二容器包括第二底板,第二底板包括多个开孔...
该专利属于厦门天马微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门天马微电子有限公司授权不得商用。
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