一种晶体炉观察窗制造技术

技术编号:20441965 阅读:29 留言:0更新日期:2019-02-27 00:36
一种晶体炉观察窗设置在炉体顶部,包括:用于将观察窗设置在炉体上的观察窗本体;用于观察炉体内晶体生长情况的观察口,其设置在观察窗本体顶端;其设置在观察窗本体上的上窗口片,位于所述观察口下方,并位于炉体外侧;设置在炉体内,通过旋转来更换观察窗口片的转盘装置,其包括用于观察炉体内晶体生长情况的若干观察窗口片、设置有若干观察窗口片的转盘、用于旋转所述转盘以更换观察窗口片的的旋转结构和用于驱动旋转结构旋转的驱动装置,所述转盘通过旋转结构设置在所述炉体顶部。本实用新型专利技术提供一种晶体炉观察窗,通过将若干观察窗口片设置在转盘上,在一个观察窗口片被挥发物污染后,旋转转盘即可实现观察窗口片的更换工作。

A Crystal Furnace Observation Window

A crystal furnace observation window is arranged at the top of the furnace body, which includes: an observation window body for setting the observation window on the furnace body; an observation port for observing the crystal growth in the furnace body, which is arranged at the top of the observation window body; an upper window sheet on the observation window body, which is located below the observation port and on the outside of the furnace body; and an observation window body is arranged in the furnace body and replaced by rotation. The rotating disc device for observing the window sheet includes several observation window sheets for observing the crystal growth in the furnace body, a rotating disc with several observation window sheets, a rotating structure for rotating the observation window sheet to replace the rotating structure of the observation window sheet and a driving device for driving the rotating structure to rotate. The rotating disc is arranged on the top of the furnace body through a rotating structure. The utility model provides an observation window of a crystal furnace. By setting several observation window pieces on a turntable, the replacement of the observation window pieces can be realized by rotating the turntable after the observation window pieces are polluted by volatiles.

【技术实现步骤摘要】
一种晶体炉观察窗
本技术涉及一种晶体炉观察窗。属于光学元件加工领域。
技术介绍
晶体在晶体炉中的生长过程比较长,并且要实时监控晶体在炉中的生长状态,通常晶体炉的顶部都设置有用于观察晶体生长状态的观察窗。如图1所示,现有技术中的晶体炉观察窗设置在炉体1的顶部,包括:观察窗本体2、设置在观察窗本体顶端的的观察口3,设置在观察口3下方的上窗口片4,和设置在观察窗本体底部的观察窗口片5。观察口3和上窗口片4位于观察窗本体2上部,设置在炉体1外侧,观察窗口片5则位于观察窗的下部,并设置在炉体1的内部。上窗口片4除用于观察外,在上窗口片4的上下两侧与观察窗本体2之间均设置有密封圈,将外界大气与炉体1内隔离开。由于晶体生长的周期较长,且晶体生长过程中会有挥发物产生。在使用了一段时间后,观察窗口片5内侧表面会被粘结炉内挥发物,使得观察窗视野不再清晰,无法再细致观察液面状态,晶体生长状况等。引晶时间过长时甚至可能会因此导致停炉重装,无端增加生产成本。对于现有技术中,一炉次观察窗口片易被炉内挥发物粘结导致生产困难或失败的问题,需要研制一种新型观察窗来解决上述问题。
技术实现思路
为了解决上述现有技术中一炉次观察窗口片易被炉内挥发物粘结导致生产困难或失败的问题,本技术提供一种晶体炉观察窗,通过在一张转盘上设置多个观察窗口片,极大延长了一炉次中观察窗的有效使用时间,变相减小了平均生产周期。为了解决上述问题,本技术所提供的技术方案为:一种晶体炉观察窗,设置在炉体顶部,其上部由炉体顶部向上伸出,其下部设置在所述炉体内部;包括:用于将所述观察窗设置在炉体上的观察窗本体;用于观察所述炉体内晶体生长情况的观察口,其设置在观察窗本体顶端,并位于炉体外侧;用于隔离炉体内部与外界空间的上窗口片,其设置在观察窗本体上,位于所述观察口下方,并位于炉体外侧;设置在炉体内,通过旋转来更换观察窗口片的转盘装置,其包括用于观察炉体内晶体生长情况的若干观察窗口片、设置有若干观察窗口片的转盘、用于旋转所述转盘以更换观察窗口片的的旋转结构和用于驱动旋转结构旋转的驱动装置,所述转盘通过旋转结构设置在所述炉体顶部。进一步,所述转盘上设置的观察窗口片数量为2-6个。进一步,所述若干观察窗口片均布在转盘上。进一步,所述旋转结构包括固定设置在所述炉体顶部上的转轴。进一步,所述驱动装置为拉杆,所述拉杆设置在所述转轴上,并位于炉体外部。进一步,所述驱动装置为驱动电机。进一步,所述观察窗还包括设置在所述炉体内用于保护转盘装置防止其被挥发物污染的套筒。本技术提供一种晶体炉观察窗,通过将若干观察窗口片设置在转盘上,在一个观察窗口片被挥发物污染后,通过旋转转盘即可实现观察窗口片的更换工作。通过使用本使用新型的晶体炉观察窗,不用停炉降温、重新装炉即可完成观察窗口片的多次更换,变相减少了平均生产周期,提高了晶体炉的工作效率。附图说明图1为现有技术中晶体炉观察窗结构示意图。图2为本技术晶体炉观察窗结构示意图。图3为转盘结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本技术,并非用于限定本技术的范围。如图1、2所示,本技术所公开的一种晶体炉观察窗,通常设置在炉体1顶部,其上部由炉体1的顶部向上伸出,其下部设置在炉体1的内部。一种晶体炉观察窗包括:观察窗本体2、观察口3、上窗口片4和转盘装置。其中,观察窗本体2为中空的柱状,用于设置观察口3和上窗口片4,观察窗通过观察窗本体2设置在炉体顶部的。观察口3设置在观察窗本体2的顶端,并位于炉体外侧,用于观察炉体内晶体生长的状态。上窗口片4位于观察窗本体2上,并位于用于观察口3的下方,也位于炉体1的外侧;其作用有两个1、用于观察炉内晶体生长情况;2、隔离炉体内部与外界空间。上窗口片4的上下两侧均设置有环形密封圈,用于将炉体内部空间与外界大气隔离开,以保证炉内气体成分稳定。转盘装置设置在炉体1内,包括转盘6、若干观察窗口片5、驱动装置和套筒9。如图3所示,若干观察窗口片5设置在转盘6上;优选的,观察窗口片5的数量为2-6个,并且各观察窗口片5的圆心均布在转盘6的同一圆周上。旋转结构包括转轴7,转轴7通过卡箍11固定在炉体1的顶部,并通过密封圈10密封,以保证炉内气氛不会受到外界大气的影响。转轴通过螺纹连接在转盘6的圆心位置。转轴7在炉体顶部固定的具体位置由转盘6的尺寸决定,转盘6越大,可使用的观察窗口片5越多,则转轴7离观察口3的轴心位置越远。以图3中设计的五片式转盘为例,转轴7的轴心设置在观察窗本体2的右侧(大部分人喜欢使用右手),离观察口3轴心的距离为转盘6上任意一片窗口片5圆心至转盘6的圆心的长度。如图2所示,驱动装置用于在转盘7需要旋转时驱动转轴7带动转盘6旋转。驱动装置可为图2中所示的为固定在转轴7上的拉杆8,拉杆8位于炉体1的外侧。当需要更换观察窗口片5时,转动拉杆8带动转轴7旋转。驱动装置还可以为能够驱动转轴旋转的电机等。为了避免未使用的观察窗口片5受到炉内挥发物的污染,在炉体1内还设置有套筒9。优选的,套筒9固定设置在炉体1的顶部内侧,将转盘6整体包围起来,并设置有供观察晶体的通孔,该通孔的大小和形状应与观察窗口片5相配。当观察窗口片5受到挥发物的污染需要更换时,转动拉杆8带动转轴7转动,在转轴7的驱动下,转盘6转动设定角度,如图3所示,如此时位于观察窗本体2处,正在使用的观察窗口片5为设置在转盘6上编号为A的观察窗口片5,通过旋转设定角度更换为编号为B的观察窗口片5。由此而知,当编号为B的观察窗口片5被挥发物污染后,则继续旋转转盘6,将观察窗口片5继续更换为编号为C、D、E的观察窗口片,以此类推。一般更换3到4片窗口片即可满足生产需求。一炉次生产结束后,可取下套筒9,拆下转盘6,清理转盘6上已被污染的各窗口片。清理干净后重新装炉使用。以上是本技术的优选实施方式,应当指出,对于本
的普通技术人员来说,在不脱离本技术原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种晶体炉观察窗,设置在炉体顶部,其上部由炉体顶部向上伸出,其下部设置在所述炉体内部;其特征在于,所述观察窗包括:用于将所述观察窗设置在炉体上的观察窗本体;用于观察所述炉体内晶体生长情况的观察口,其设置在观察窗本体顶端,并位于炉体外侧;用于隔离炉体内部与外界空间的上窗口片,其设置在观察窗本体上,位于所述观察口下方,并位于炉体外侧;设置在炉体内,通过旋转来更换观察窗口片的转盘装置,其包括用于观察炉体内晶体生长情况的若干观察窗口片、设置有若干观察窗口片的转盘、用于旋转所述转盘以更换观察窗口片的旋转结构和用于驱动旋转结构旋转的驱动装置,所述转盘通过旋转结构设置在所述炉体顶部。

【技术特征摘要】
1.一种晶体炉观察窗,设置在炉体顶部,其上部由炉体顶部向上伸出,其下部设置在所述炉体内部;其特征在于,所述观察窗包括:用于将所述观察窗设置在炉体上的观察窗本体;用于观察所述炉体内晶体生长情况的观察口,其设置在观察窗本体顶端,并位于炉体外侧;用于隔离炉体内部与外界空间的上窗口片,其设置在观察窗本体上,位于所述观察口下方,并位于炉体外侧;设置在炉体内,通过旋转来更换观察窗口片的转盘装置,其包括用于观察炉体内晶体生长情况的若干观察窗口片、设置有若干观察窗口片的转盘、用于旋转所述转盘以更换观察窗口片的旋转结构和用于驱动旋转结构旋转的驱动装置,所述转盘通过旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘景峰
申请(专利权)人:北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司
类型:新型
国别省市:北京,11

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