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电动接晶托制造技术

技术编号:20238468 阅读:66 留言:0更新日期:2019-01-29 22:01
本实用新型专利技术公开了一种电动接晶托,用于防止晶棒掉落,它安装在单晶炉的副室旋臂上,它包括提升杆、用于驱动提升杆升降的升降驱动装置、用于承接晶棒的托板和用于驱动托板旋转的旋转驱动装置,所述提升杆连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降;所述托板连接在提升杆上;所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板之间。本实用新型专利技术可以在副炉室旋转到取晶棒的位置的过程中,自动下降、旋转到合适位置,以防止因晶棒掉落而造成事故,安全高效。

Electric crystal bracket

The utility model discloses an electric crystal bracket for preventing crystal rod from falling, which is mounted on the rotary arm of the secondary chamber of a single crystal furnace. The utility model comprises a lifting rod, a lifting driving device for driving the lifting rod, a bracket for carrying the crystal rod and a rotating driving device for driving the rotation of the bracket. The lifting rod is connected to the lifting driving device for driving through the lifting driving device. The tray is connected to the lifting rod, and the rotary driving device is connected between the lifting rod and the tray. The utility model can automatically drop and rotate to an appropriate position in the process of rotating the secondary furnace chamber to the position of the crystal rod, so as to prevent accidents caused by the falling of the crystal rod, and is safe and efficient.

【技术实现步骤摘要】
电动接晶托
本技术涉及一种电动接晶托。
技术介绍
在副炉室旋转到取晶棒的位置的过程中,晶棒万一发生坠落,会引发严重的安全事故,因此需要在取晶棒的下方设置接晶托,但现有的接晶托多采用人工手动操作,存在着不安全因素。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种电动接晶托,它可以在副炉室旋转到取晶棒的位置的过程中,自动下降、旋转到合适位置,以防止因晶棒掉落而造成事故,安全高效。为了解决上述技术问题,本技术的技术方案是:一种电动接晶托,用于防止晶棒掉落,它安装在单晶炉的副室旋臂上,它包括:提升杆;用于驱动提升杆升降的升降驱动装置,所述提升杆连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降;用于承接晶棒的托板,所述托板连接在提升杆上;用于驱动托板旋转的旋转驱动装置,所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板之间。进一步提供了一种升降驱动装置的具体结构,所述升降驱动装置包括电动推杆,所述电动推杆连接在副室旋臂上,所述提升杆连接在电动推杆的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降。进一步为了提升电动接晶托安装的牢固性,电动接晶托还包括固定管,所述固定管连接在副室旋臂上,且所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电动接晶托,用于防止晶棒掉落,它安装在单晶炉的副室旋臂(10)上,其特征在于,它包括:提升杆;用于驱动提升杆升降的升降驱动装置,所述提升杆连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降;用于承接晶棒的托板(1),所述托板(1)连接在提升杆上;用于驱动托板(1)旋转的旋转驱动装置,所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板(1)之间。

【技术特征摘要】
1.一种电动接晶托,用于防止晶棒掉落,它安装在单晶炉的副室旋臂(10)上,其特征在于,它包括:提升杆;用于驱动提升杆升降的升降驱动装置,所述提升杆连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降;用于承接晶棒的托板(1),所述托板(1)连接在提升杆上;用于驱动托板(1)旋转的旋转驱动装置,所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板(1)之间。2.根据权利要求1所述的电动接晶托,其特征在于:所述升降驱动装置包括电动推杆(2),所述电动推杆(2)连接在副室旋臂(10)上,所述提升杆连接在电动推杆(10)的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降。3.根据权利要求2所述的电动接晶托,...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋国庆
申请(专利权)人:蒋国庆
类型:新型
国别省市:江苏,32

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