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下载电动接晶托的技术资料

文档序号:20238468

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本实用新型公开了一种电动接晶托,用于防止晶棒掉落,它安装在单晶炉的副室旋臂上,它包括提升杆、用于驱动提升杆升降的升降驱动装置、用于承接晶棒的托板和用于驱动托板旋转的旋转驱动装置,所述提升杆连接在升降驱动装置上,以便通过升降驱动装置驱动提升杆...
该专利属于蒋国庆所有,仅供学习研究参考,未经过蒋国庆授权不得商用。

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