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炉室升降驱动装置制造方法及图纸

技术编号:20238470 阅读:41 留言:0更新日期:2019-01-29 22:01
本实用新型专利技术公开了一种炉室升降驱动装置,它包括用于连接炉室的旋臂组件和与旋臂组件相连且用于驱动旋臂组件升降的旋臂组件升降驱动装置。本实用新型专利技术结构简单,且传动平稳,使得炉室在升降时无晃动。

Furnace Lift Drive Device

The utility model discloses a furnace lifting driving device, which comprises a rotary arm assembly for connecting the furnace chamber and a rotary arm assembly for driving the lifting of the rotary arm assembly. The utility model has the advantages of simple structure and smooth transmission, so that the furnace chamber does not shake when lifting.

【技术实现步骤摘要】
炉室升降驱动装置
本技术涉及一种炉室升降驱动装置。
技术介绍
目前,单晶炉对工作环境及精度的要求很严苛,需要最大限度地减小单晶炉及其各部件的晃动、震动,但现有的炉室升降驱动装置在驱动炉室升降时,易引起炉室的晃动及单晶炉整体的震动,进而影响单晶炉的工作精度,增加单晶炉的维护频率。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种炉室升降驱动装置,它结构简单,且传动平稳,使得炉室在升降时无晃动。为了解决上述技术问题,本技术的技术方案是:一种炉室升降驱动装置,它包括:用于连接炉室的旋臂组件;与旋臂组件相连且用于驱动旋臂组件升降的旋臂组件升降驱动装置。进一步提供了一种旋臂组件升降驱动装置的具体结构,所述旋臂组件升降驱动装置包括丝杆和丝杆旋转驱动装置,所述丝杆可旋转地支承在固定件上,所述旋臂组件通过螺纹连接在丝杆上,所述丝杆连接在丝杆旋转驱动装置上,以便通过丝杆旋转驱动装置驱动丝杆旋转,进而将丝杆的旋转运动转换为旋臂组件的升降运动。进一步提供了一种丝杆旋转驱动装置的具体结构,所述丝杆旋转驱动装置包括电机和减速机,所述减速机连接在电机的输出轴上,所述丝杆连接在减速机的输出轴上。进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉室升降驱动装置,其特征在于,它包括:用于连接炉室的旋臂组件;与旋臂组件相连且用于驱动旋臂组件升降的旋臂组件升降驱动装置。

【技术特征摘要】
1.一种炉室升降驱动装置,其特征在于,它包括:用于连接炉室的旋臂组件;与旋臂组件相连且用于驱动旋臂组件升降的旋臂组件升降驱动装置。2.根据权利要求1所述的炉室升降驱动装置,其特征在于:所述旋臂组件升降驱动装置包括丝杆(1)和丝杆旋转驱动装置,所述丝杆(1)可旋转地支承在一固定件(2)上,所述旋臂组件通过螺纹连接在丝杆(1)上,所述丝杆(1)连接在丝杆旋转驱动装置上,以便通过丝杆旋转驱动装置驱动丝杆(1)旋转,进而将丝杆(1)的旋转运动转换为旋臂组件的升降运动。3.根据权利要求2所述的炉室升降驱动装置,其特征在于:所述丝杆旋转驱动装置包括电机(3)和减速机(4),所述减速机(4)连接在电机(1)的输出轴上,所述丝杆(1)连接在减速机(4)的输出轴上。4.根据权利要求2所述的炉室升降驱动装置,其特征在于:所述旋臂组件包括拖板(5)和用于连接炉室的支撑架(6),所述拖板(5...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋国庆
申请(专利权)人:蒋国庆
类型:新型
国别省市:江苏,32

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