一种高温晶体炉漏料保护装置制造方法及图纸

技术编号:39393372 阅读:11 留言:0更新日期:2023-11-18 11:14
本实用新型专利技术涉及晶体生长技术领域,具体涉及一种高温晶体炉漏料保护装置,包括主体,主体安装在晶体炉内,并套设在坩埚轴外侧;所述主体上设置有用于安装保温层或加热器的空腔,还设置有聚料槽,所述聚料槽用于收纳脱离坩埚的原料熔体。本实用新型专利技术通过设置主体,主体上设置有安装加热器或保温层的腔体,通过将加热器和保温层安装在腔体内,对加热器或保温层进行了保护,同时主体上设置了用于收纳脱离坩埚的原料熔体的聚料槽,通过聚料槽的设置,降低了原料熔体从坩埚轴伸出晶体炉炉壁处流出的可能,对波纹管的保护起到了重要作用。对波纹管的保护起到了重要作用。对波纹管的保护起到了重要作用。

【技术实现步骤摘要】
一种高温晶体炉漏料保护装置


[0001]本技术涉及晶体生长
,具体涉及一种高温晶体炉漏料保护装置。

技术介绍

[0002]现有的高温晶体炉内通常会安装有坩埚,坩埚底部会轴向固定连接有一根伸出晶体炉炉壁的坩埚轴;高温晶体炉的底部通常会设置有与坩埚轴底端连接的旋转连接头组合结构,还有套设在坩埚轴外侧,一端与晶体炉底部连接,另一端与旋转连接头连接的波纹管;通过旋转连接头组合结构的设置实现坩埚轴的旋转,并以此带动坩埚的旋转;通过两端之间可相对移动并进行折叠的波纹管的设置,方便坩埚轴竖向移动,并因此方便坩埚的竖向移动。
[0003]但在实际使用过程中,坩埚下方一般会设置有保温层,坩埚侧方会设置有加热器,还有些晶体炉在坩埚下方也会设置有加热器。坩埚在使用过程中可能会由于晶体掉落或者其它因素损坏、开裂,极容易造成坩埚内原料熔体的泄露;原料熔体处于高温状态,脱离坩埚后会在重力的作用下向下流动,并损坏设置在坩埚下方的保温层,还有可能会损坏部分晶体炉设置在坩埚下方的加热器;同时,原料熔体还可能顺着坩埚轴向下流出并损坏设置在晶体炉下方的波纹管或旋转连接头。波纹管和加热器在整个生产中都属于非常贵重且脆弱的部件。如果损坏,将会造成不小的经济损失。此外,波纹管如果被高温熔体破坏开裂,则炉体面临高温状态下的漏气氧化风险,存在安全风险。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的问题,本技术的目的在于提供一种高温晶体炉漏料保护装置,以解决现有技术中坩埚损坏后,原料熔体会流出坩埚并对安装在坩埚下方的保温层或加热器造成损坏的问题。
[0005]一种高温晶体炉漏料保护装置,包括主体,主体安装在晶体炉内,并套设在坩埚轴外侧;
[0006]所述主体上设置有用于安装保温层或加热器的空腔,还设置有聚料槽,所述聚料槽用于收纳脱离坩埚的原料熔体。
[0007]进一步,所述主体包括导流板和槽体,所述槽体上设置有安装槽和所述聚料槽;所述导流板套设在所述坩埚轴外侧,并用于覆盖所述安装槽顶部开口形成所述空腔。
[0008]进一步,所述聚料槽设置在所述安装槽外侧,所述导流板靠近所述坩埚轴的一侧设置有向上的翻边。
[0009]进一步,所述聚料槽为分层设置。
[0010]进一步,所述聚料槽远离所述安装槽的一侧壁顶部的水平高度高于所述导流板顶部的水平高度。
[0011]进一步,所述聚料槽远离所述安装槽的一侧壁顶部设置有导流坡。
[0012]进一步,还包括固定安装在晶体炉底部,且套接在坩埚轴外侧的安全阀。
[0013]进一步,所述安全阀为电动阀,波纹管内设置有与电动阀配合使用的热电偶。
[0014]进一步,所述安全阀包括成对设置的电动阀,所述安全阀包括成对设置的电动阀,所述电动阀靠近所述坩埚轴的一侧设置有阀片,阀片开口为半圆形,两阀片闭合后组成圆形,与坩埚轴紧配合。
[0015]进一步,所述安全阀上设置有控制按钮;所述安全阀与坩埚轴之间设置有保温隔热层。
[0016]有益效果:本技术通过设置主体,主体上设置有安装加热器或保温层的腔体,通过将加热器和保温层安装在腔体内,对加热器或保温层进行了保护,同时主体上设置了用于收纳脱离坩埚的原料熔体的聚料槽,通过聚料槽的设置,降低了原料熔体顺着坩埚轴向下部流出的可能,对波纹管的保护起到了重要作用。安全阀起到最后的保护作用,在有熔体进入波纹管区间时自动闭锁,阻止高温熔体进入波纹管。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术实施例的现有技术对照图;
[0019]图2为本技术实施例的安装示意图。
[0020]附图标记说明:
[0021]1、炉壁;201、第一保温层;202、第二保温层;203、第三保温层;301、第一加热器;302、第二加热器;4、坩埚;5、坩埚轴;6、密封件;7、坩埚升降平台;8、轴承;9、旋转连接头;1001、冷却水出口;1002、冷却水入口;11、主体;1101、导流板;1102、槽体;12、电动阀;13、波纹管。
具体实施方式
[0022]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术
语在本技术中的具体含义。
[0025]此外,下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0026]如图1所示的现有的晶体炉,包括竖向设置的炉壁1,炉壁1上下均设置有开口;炉壁1下侧的开口处设置有竖向设置的坩埚轴5,坩埚轴5顶端伸入炉壁1内,顶端固定连接有坩埚4;坩埚4外侧设置有第一加热器301,坩埚4底部靠近坩埚轴5处设置有第二加热器302;第二加热器302与炉壁1底部之间设置有第一保温层201,第一保温层201呈环形,套设在坩埚轴5外侧;第一保温层201顶部设置有第二保温层202,第二保温层202呈圆管状,套设置坩埚轴5和第一加热器301外侧;第二保温层202上侧还设置有第三保温层203,第三保温层203呈环形;炉壁1上侧开口处设置有拉杆,拉杆底端竖向穿过炉壁1上侧开口与第三保温层203中间,用于坩埚4内原料熔体析出晶体的附着和支撑。
[0027]坩埚轴5的底部与坩埚升降平台7通过轴承8转动连接,用于通过坩埚升降平台7实现坩埚4的竖向移动;坩埚轴5的底端穿过坩埚升降平台7,并安装有旋转连接头9,旋转连接头9上设置有冷却水通路,旋转连接头9底部设置有冷却水进口,一侧设置有冷却水出口1001,冷却水出口1001的高度高于冷却水进口;坩埚升降平台7与炉壁1之间本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高温晶体炉漏料保护装置,其特征在于,包括主体,主体安装在晶体炉内,并套设在坩埚轴外侧;所述主体上设置有用于安装保温层或加热器的空腔,还设置有聚料槽,所述聚料槽用于收纳脱离坩埚的原料熔体。2.根据权利要求1所述的一种高温晶体炉漏料保护装置,其特征在于,所述主体包括导流板和槽体,所述槽体上设置有安装槽和所述聚料槽;所述导流板套设在所述坩埚轴外侧,并用于覆盖所述安装槽顶部开口形成所述空腔。3.根据权利要求2所述的一种高温晶体炉漏料保护装置,其特征在于,所述聚料槽设置在所述安装槽外侧,所述导流板靠近所述坩埚轴的一侧设置有向上的翻边。4.根据权利要求2所述的一种高温晶体炉漏料保护装置,其特征在于,所述聚料槽为分层设置。5.根据权利要求2所述的一种高温晶体炉漏料保护装置,其特征在于,所述聚料槽远离所述安装槽的一侧壁顶部的水平高度高于所述导流板顶...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘景峰
申请(专利权)人:北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司
类型:新型
国别省市:

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