一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置制造方法及图纸

技术编号:20354226 阅读:51 留言:0更新日期:2019-02-16 13:04
本实用新型专利技术公开一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置,包括探头、信号转换模块、信号线、安装头、弹簧、限位杆,装置从上到下依次连接安装头、信号转换模块,探头,其中在安装头和信号转换模块中间连接有信号线、弹簧,限位杆,信号线绕成螺旋状,外层包裹热缩管,弹簧对称位于信号线两侧,弹簧中间有限位杆。本实用新型专利技术解决了硅晶体熔炉温度传感器频繁更换探头的问题,而且保证了高温时探头因热缩管收缩而导致的位置的改变,从而降低了生产成本,提升产品品质。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置
本技术涉及温度传感领域,特别涉及一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置。
技术介绍
硅晶体在光电领域、集成电路等领域有着很广泛的应用,硅晶体的加工要经过熔炼结晶,而熔炼结晶过程中的温度对硅晶体加工的时间和品质有着很重要的影响。硅晶体熔炉中常用温度传感器对炉内的温度进行探测,进而控制加热过程。而温度传感器所使用的探头长度固定,若想要改变整个传感装置长度,就要不断更换探头来改变传感器的探测位置,经过改进,安装头和信号转换模块之间用信号线连接,通过加装热缩管后绕成螺旋状,可以改变传感器长度,但是在使用过程中,高温会使热缩管收缩,会使探头在炉内远离固定位置,向炉壁方向移动,使感应到的温度降低,导致外部不断给炉内加热,会使炉内温度偏高,硅晶体结晶变慢,从而多消耗电能,而且降低了硅晶体品质。
技术实现思路
本技术针对要解决的技术问题提供了一种是温度传感器探头位置保持固定的装置。本技术实现的技术方案是:一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置,包括探头、信号转换模块、信号线、安装头,其中探头设于信号转换模块下方,信号转换模块上方通过信号线与安装头连接,其特征是所述信号线外层包裹有热缩管后绕成螺旋状固定。本技术更进一步的改进是所述信号转换模块与安装头之间、位于信号线两侧对称设有竖直的弹簧,弹簧为自由状态。本技术更进一步的改进是所述弹簧为耐高温弹簧。本技术更进一步的改进是所述信号转换模块与安装头之间、位于弹簧内部设有限位杆,所述限位杆的一端与信号转换模块或安装头固定,另一端为自由端。本技术更进一步的改进是当限位杆的一端与信号转换模块固定的时候,自由端与安装头之间的间距小于5毫米;当当限位杆的一端与安装头固定的时候,自由端与信号转换模块之间的间距小于5毫米。本技术与现有技术相比的优点是:本技术通过用信号转换模块与安装头之间的信号线拧成螺旋状,外面包有热缩管,使探头位置固定,并且在安装头和信号转换模块之间装有弹簧,防止在高温状态下热缩管收缩而导致探头的位置的改变,若温度过高使弹簧失效时,安装在弹簧内的限位杆也能有效应对变形,使探头始终在炉内位的置保持相对固定。附图说明图1为一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置示意图图2为限位杆示意图。具体实施方式一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置,包括探头1、信号转换模块2、信号线3、安装头5,其中探头1设于信号转换模块2下方,信号转换模块2上方通过信号线3与安装头5连接,信号线3外层包裹有热缩管后绕成螺旋状固定。所述信号转换模块2与安装头5之间、位于信号线3两侧对称设有竖直的弹簧4,弹簧4为自由状态。所述弹簧4为耐高温弹簧。所述信号转换模块2与安装头5之间、位于弹簧4内部设有限位杆6,所述限位杆6的一端与信号转换模块2或安装头5固定,另一端为自由端。所述限位杆6的一端与信号转换模块2固定的时候,自由端与安装头5之间的间距小于5毫米;当限位杆6的一端与安装头5固定的时候,自由端与信号转换模块2之间的间距小于5毫米。实施例如图1所示,探头1伸入炉体内部,信号转换模块2将温度信号转换成电信号,通过信号线3传给计算机,计算机感应到温度后控制加热装置,控制炉内温度。靠近炉体时,信号线2外层包裹的热缩管会收缩,导致探头位置的变化,弹簧4为自由状态,弹簧4优选为高温弹簧,当信号线3收缩时,自由状态的弹簧4受到压缩,给下方信号模块2向下的力,防止了信号线3的收缩,温度过高时也可能使高温弹簧4失效,此时安装在弹簧4内部与限位杆6也能有效的防止信号线3的收缩,使探头1的位置从而确保了探头1在炉内的相对位置的固定不变。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置,包括探头(1)、信号转换模块(2)、信号线(3)、安装头(5),其中探头(1)设于信号转换模块(2)下方,信号转换模块(2)上方通过信号线(3)与安装头(5)连接,其特征是所述信号线(3)外层包裹有热缩管后绕成螺旋状固定。

【技术特征摘要】
1.一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置,包括探头(1)、信号转换模块(2)、信号线(3)、安装头(5),其中探头(1)设于信号转换模块(2)下方,信号转换模块(2)上方通过信号线(3)与安装头(5)连接,其特征是所述信号线(3)外层包裹有热缩管后绕成螺旋状固定。2.根据独立权利要求1所述的一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置,其特征是:所述信号转换模块(2)与安装头(5)之间、位于信号线(3)两侧对称设有竖直的弹簧(4),弹簧(4)为自由状态。3.根据权利要求2所述的一种硅晶体熔炉温度传感器状态保持装置,其特征是...

【专利技术属性】
技术研发人员:庞学魏欣郑江董正丽
申请(专利权)人:江苏迩高新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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