The utility model discloses a high-throughput PECVD device, which comprises a reaction chamber, a deposition platform arranged in the reaction chamber, a deposition surface of which is separated by several independent deposition micro-areas, and the temperature of each deposition micro-area is independently adjustable; each deposition micro-area corresponds to a plasma excitation unit, and each plasma excitation unit comprises one. The reaction gas is introduced into the channel. The utility model can realize the research of dozens or hundreds of process conditions through one experiment, greatly accelerate the test efficiency, accelerate the development and screening of new materials and processes, greatly improve the utilization rate of substrate materials and reduce costs, greatly reduce the development time and cost of new materials and processes, and accelerate the development process and application of new materials.
【技术实现步骤摘要】
高通量PECVD装置
本技术涉及等离子体化学气相沉积
,特别是涉及一种高通量PECVD装置。
技术介绍
目前的等离子体化学气相沉积技术(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)一般一次只能制备一种条件的样品,再加上每次样品安装以及真空获得所需要花费的时间,使得传统PECVD技术在多种组合条件的材料工艺的开发方面非常的耗时。为了能够实现新材料的快速制备和工艺筛选,有必要开发一种新的PECVD制备装置和方法,该装置可以在不更换样品的条件下,在一个样品上实现多种工艺条件的沉积,每种工艺条件所沉积的薄膜互不干扰,这样可以通过一次试验完成多种组合条件的工艺开发和材料筛选。美国Intermolecular公司通过气氛阻隔的方式所开发的多通道PECVD沉积装置(美国专利US2012/0301616A1,US2015/0010705A1)虽然可以在一个样品上实现多种条件的制备,但是它的通量较少,一次只能实现4种条件的沉积。对于PECVD技术而言,气体的扩散是制约PECVD技术通量的重要因素,这在更高通量的PECVD装置中是需要特别考虑的问题。综上所述,传统PECVD装置一次试验只能实现一种工艺条件,对于新材料和新工艺的开发非常的耗时,已有的多通道PECVD装置因为气体扩散等的原因,所实现的实验通量并不是很高,同样不能满足多组合工艺条件的快速、高效筛选。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高通量PECVD装置,以克服现有技术中的不足。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:本技术实施例公开了一种高通量PECVD装置,包括:反 ...
【技术保护点】
1.一种高通量PECVD装置,其特征在于,包括:反应腔室;设置于反应腔室内的沉积台,沉积台的沉积表面分立有多个独立的沉积微区,每个所述沉积微区的温度独立可调;每个所述沉积微区分别对应有一等离子体激发单元,每个所述等离子体激发单元分别包括一反应气体导入通道。
【技术特征摘要】
1.一种高通量PECVD装置,其特征在于,包括:反应腔室;设置于反应腔室内的沉积台,沉积台的沉积表面分立有多个独立的沉积微区,每个所述沉积微区的温度独立可调;每个所述沉积微区分别对应有一等离子体激发单元,每个所述等离子体激发单元分别包括一反应气体导入通道。2.根据权利要求1所述的高通量PECVD装置,其特征在于,所述沉积微区通过气体屏蔽罩进行分立。3.根据权利要求2所述的高通量PECVD装置,其特征在于,所述气体屏蔽罩上下位移可调。4.根据权利要求1所述的高通量PECVD装置,其特征在于,所述沉积台在水平和竖直方向位移可调;所述沉积台温度可调。5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员:项晓东,邬苏东,张欢,杨熹,盛江,叶继春,
申请(专利权)人:宁波英飞迈材料科技有限公司,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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