用于向蒸发器设备供给液体材料的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于将液态金属供给在真空腔室中的蒸发器设备的装置，其中，该装置包括：容器，该容器适于容纳液态金属；供给管(15)，该供给管从封闭容器到蒸发器设备；以及电磁泵(16)，该电磁泵设置在供给管中，其中，电磁泵布置在真空罩(18)中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于向蒸发器设备供给液体材料的装置
本专利技术涉及一种用于将液态金属供给真空腔室中的蒸发器设备的装置。这种设备例如用于通过物理气相沉积(PVD)而在基板上沉积金属涂层。
技术介绍
对于工业规模的连续或半连续PVD涂层处理，真空涂层设备需要能够长时间地处理大量的涂层材料。而且，当使用热蒸发时，在蒸发器设备中的液体的温度必须远高于要蒸发材料的熔点。因此，希望有小型蒸发器设备和将材料供给到蒸发器设备中以满足需求，这具有成本效益。能够供给固体或液体材料。不过，最好的方法是从大型液体储存器来供给液态金属，这样的优点是在蒸发器中的氧化物含量最小，且不必在蒸发器设备处提供材料的熔化潜热和比热。US2664852中公开的PVD涂层设备具有在真空腔室中的用于液态金属的储存器。使用这种设置，最大活动长度非常有限。在最近的PVD涂层设备中，液态金属储存器布置在真空腔室外部，见例如WO2012081738。不过，由于在蒸发器设备处的真空和液态金属储存器之间的压力差，力将施加在储存器中的液态金属上，这需要进行控制。当储存器中的液面高度下降、蒸发器设备处的真空压力变化或蒸发器设备中的高度变化时，该力将变化，需要本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于将液态金属供给真空腔室中的蒸发器设备的装置，所述装置还包括：容器，所述容器适于容纳液态金属；供给管，所述供给管从容器至蒸发器设备；以及电磁泵，所述电磁泵设置在供给管中，其特征在于：设置了真空罩，所述真空罩包围电磁泵。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.03 EP 16168167.11.一种用于将液态金属供给真空腔室中的蒸发器设备的装置，所述装置还包括：容器，所述容器适于容纳液态金属；供给管，所述供给管从容器至蒸发器设备；以及电磁泵，所述电磁泵设置在供给管中，其特征在于：设置了真空罩，所述真空罩包围电磁泵。2.根据权利要求1所述的装置，其中：真空罩包围供给管的至少一部分。3.根据权利要求1或2所述的装置，其中：真空罩与真空腔室和/或容器连接。4.根据前述任意一项权利要求所述的装置，其中：真空罩通过柔性连接部件而与真空腔室和/或适于容纳液态金属的容器连接。5.根据前述任意一项权利要求所述的装置，其中：电磁泵至少部分由导电材料制成。6.根据权利要求5所述的装置，其中：电磁泵至少部分由石墨制成。7.根据权利要求5或6所述的装置，其中：电磁泵的电极设置为抵靠泵。8.根据前述任意一项权利要求所述的装置，其中：控制部件设置为控制作用在适于容纳液态金属的容器中的液态金属上的力。9.根据权利要求8所述的装置，其中：适...

【专利技术属性】
技术研发人员：E·策斯特贝尔根，C·科芒德尔，R·J·斯尼耶德斯，E·P·M·巴克，P·W·哈泽勒特，D·A·哈密尔顿，S·J·威狄斯，T·D·凯泽，
申请(专利权)人：塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：荷兰,NL