真空镀膜机制造技术

本发明专利技术公开一种真空镀膜机，真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室，镀膜筒体开设有容置腔，抽真空装置与镀膜筒体的容置腔相连通，裂解室连通于蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间，真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置，连通管的首端与容置腔连通，连通管的末端与冷却装置连通，收集装置设于连通管位于镀膜筒体与冷却装置之间的部位上，收集装置还与连通管相连通。使得容置腔内不会积聚有过多的镀膜材料；同时，当镀膜材料从容置腔内被导出并且在连通管内运动的时候，在冷却装置的作用下会聚集并且沉积在收集装置处，便于操作人员后续的处理。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机
本专利技术涉及镀膜领域，尤其涉及一种可收集容置腔内剩余的镀膜材料的真空镀膜机。
技术介绍
随着社会的迅速发展，为了提升工件的耐用程度，镀膜作为一种可在工件表面形成一层致密保护层的方式，其工艺也在不断地被改进。众所周知，真空镀膜指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。由于真空镀膜可以对物体更均匀地镀膜的方式，其使用也越来越频繁。现有的真空镀膜主要是通过真空镀膜机来完成，真空镀膜机大致包括：镀膜筒体、裂解室、蒸发室以及抽真空装置四大部分组成。其中，镀膜筒体具有放置待镀工件的容置腔，蒸发室用于蒸发镀膜材料，裂解室用于裂解镀膜材料，抽真空装置用于将镀膜筒体内抽真空处理。故在真空镀膜机工作时，先由抽真空装置进行抽真空，使镀膜筒体、蒸发室及裂解室三者内部各处于真空状态，再通过蒸发室蒸发镀膜材料，蒸发后的镀膜材料进入到裂解室内，由裂解室将蒸发的镀膜材料进行裂解，而裂解后的镀膜材料再进入到镀膜筒体内，从而使镀膜筒体内的待镀工件的表面会附着有一层镀膜材料，实现镀膜的目的。由于镀膜材料在经过蒸发以及裂解两个工艺之后进入镀膜筒体的容置腔内会四处扩散，因此镀膜筒体内壁四周均会覆盖有镀膜材料，在长久的积累下镀膜材料的积累会影响容置腔内的镀膜环境，因此，现有的真空镀膜机需要人为地频繁地进行的清理，而对镀膜筒体进行清洁的时候需要把镀膜筒体从真空镀膜机中拆卸下来，导致工作生产周期的延长；且在通过人为对镀膜筒体进行清理的过程中容易出现由于操作不当而导致镀膜筒体的内壁收到破损，进而使得真空镀膜机在工作过程中出现安全隐患。因此，亟需一种可收集容置腔内剩余的镀膜材料的真空镀膜机。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可收集容置腔内剩余的镀膜材料的真空镀膜机。藉由该真空镀膜机可实现将容置腔内镀膜完成后剩余的镀膜材料通过连通管导出；并且在冷却装置的作用下，从连通管处导出的镀膜材料会积聚并且沉积在收集装置处以便于后续处理。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种真空镀膜机，所述真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室，所述镀膜筒体开设有容置腔，所述抽真空装置与所述镀膜筒体的容置腔相连通，所述裂解室连通于所述蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间，其特征在于：所述真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置，所述连通管的首端与所述容置腔连通，所述连通管的末端与所述冷却装置连通，所述收集装置设于所述连通管位于所述镀膜筒体与所述冷却装置之间的部位上，所述收集装置还与所述连通管相连通。具体地，所述真空镀膜机还包括安装于所述连通管上并位于所述镀膜筒体和所述收集装置之间的阀门。更具体地，所述连通管包括相互对接连通的第一连通管和第二连通管，所述第一连通管的一端与所述容置腔连通，所述第一连通管的另一端与所述第二连通管的一端连通，所述第二连通管的另一端与所述冷却装置连通，所述收集装置设置于所述第一连通管的底部，所述阀门位于所述第一连通管上。更进一步地，所述第一连通管呈H字形。具体地，所述真空镀膜机还包括输送管，所述输送管依次与所述蒸发室、裂解室及镀膜筒体的容置腔连通。更具体地，所述输送管的外表面包裹有保温层。具体地，所述真空镀膜机还包括门板，所述门板位于所述镀膜筒体的侧壁并与所述镀膜筒体转动连接。更具体地，所述真空镀膜机还包括自动锁紧装置，所述自动锁紧装置安装于所述门板及镀膜筒体中一者上，所述门板及镀膜筒体中的另一者具有向外凸起的凸件，所述自动锁紧装置驱动所述门板相对所述镀膜筒体转动并选择性地锁紧所述凸件或释放对所述凸件的锁紧。更进一步地，所述自动锁紧装置包括驱动电机以及锁紧钩，所述驱动电机与所述锁紧钩连接，所述驱动电机驱动所述锁紧钩选择性地锁紧所述凸件或释放对所述凸件的锁紧。较佳地，所述真空镀膜机还包括驱动待镀工件旋转用的旋转装置。与现有技术相比，由于本专利技术的真空镀膜机，通过连通管的首端与镀膜筒体相连通而实现将容置腔内剩余的镀膜材料导出，使得容置腔内不会积聚有过多的镀膜材料；同时，连通管的末端设置有冷却装置，收集装置设于连通管位于镀膜筒体与冷却装置之间的部位上并且与连通管相连通，因此当镀膜材料从容置腔内被导出并且在连通管内运动的时候，在冷却装置的作用下会聚集并且沉积在收集装置处，便于操作人员后续的处理。附图说明图1是本专利技术的真空镀膜机的正视结构示意图。图2是本专利技术的真空镀膜机的侧视结构示意图。图3是本专利技术的真空镀膜机的俯视结构示意图。具体实施方式为详细说明本
技术实现思路
的
技术实现思路
、构造特征、实现的效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。请参考图1至图3，本专利技术的真空镀膜机100包括镀膜筒体10、抽真空装置20、冷却装置30、连通管40、收集装置50、供镀膜材料蒸发用的蒸发室60以及供镀膜材料裂解用的裂解室70。镀膜筒体10开设有用于存放待镀工件用的容置腔10a，抽真空装置20与镀膜筒体10的顶部连通并可对镀膜筒体10抽真空；优选地，抽真空装置20包括罗茨泵，但不限于此；同时，本专利技术的真空镀膜机100还可设置有主泵80和辅助泵90，以实现在镀膜筒体10的容置腔10a体积较大时也能保证容置腔10a的真空值符合镀膜工艺的要求。镀膜筒体10的侧壁分别开设有两个位于不同水平高度上的进料孔11，裂解室70将裂解后的镀膜材料通过进料孔11输送至容置腔10a内，因此可以对容置腔10a的不同高度位置处同时进行输送镀膜材料；具体地，蒸发室60与裂解室70连通，裂解室70将裂解后的镀膜材料输送至容置腔10a，但不限于此；镀膜筒体10的底部与连通管40相连通，因此在镀膜完成之后容置腔10a内剩余的镀膜材料会通过连通管40离开容置腔10a，保持了本专利技术的真空镀膜机100的镀膜筒体10的内壁干净；连通管40的首端与容置腔10a连通，连通管40的末端与冷却装置30连通，收集装置50设于连通管40位于镀膜筒体10与冷却装置30之间的部位上且收集装置50还与连通管40相连通，因此从镀膜筒体处被导出的镀膜材料在连通管40内被冷却而积聚并且沉积在收集装置50内。在本实施例中，镀膜筒体10和收集装置50之间的连通管40上还安装有阀门110以防止在镀膜的过程中镀膜材料会从连接孔13处进入到连通管40内。请继续参考图1至图3，在本实施例中，连通管40包括第一连通管41和第二连通管42。第一连通管41的一端与容置腔10a连通，第一连通管41的另一端与第二连通管42的一端连通，第二连通管42的另一端与冷却装置30连通，收集装置50设置于第一连通管41的底部，阀门110位于所述第一连通管上；更具体地，第一连通管41呈H字形，相对应地，收集装置50有两个，且两个收集装置50分别设置于第一连通管41底部的两个位置处，进一步确保了从连通管40处导出的镀膜材料在冷却装置30的作用下充分地被积聚沉积，但不限于此；收集装置50与第一连通管41之间的连接为可拆卸地连接，以便于在收集装置50收集一段时间后可以从第一连通管41处拆卸下来并进行清理。本实施例中的第二连通管42为具有两端弯管结构，可进一步防止镀膜材料沿着连通管40进入到其它装置中。具体地，第二连通管42的一端与第一连通管41连通，第二连通管42的另一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机，所述真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室，所述镀膜筒体开设有容置腔，所述抽真空装置与所述镀膜筒体的容置腔相连通，所述裂解室连通于所述蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间，其特征在于：所述真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置，所述连通管的首端与所述容置腔连通，所述连通管的末端与所述冷却装置连通，所述收集装置设于所述连通管位于所述镀膜筒体与所述冷却装置之间的部位上，所述收集装置还与所述连通管相连通。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机，所述真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室，所述镀膜筒体开设有容置腔，所述抽真空装置与所述镀膜筒体的容置腔相连通，所述裂解室连通于所述蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间，其特征在于：所述真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置，所述连通管的首端与所述容置腔连通，所述连通管的末端与所述冷却装置连通，所述收集装置设于所述连通管位于所述镀膜筒体与所述冷却装置之间的部位上，所述收集装置还与所述连通管相连通。2.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：还包括安装于所述连通管上并位于所述镀膜筒体和所述收集装置之间的阀门。3.如权利要求2所述的真空镀膜机，其特征在于：所述连通管包括相互对接连通的第一连通管和第二连通管，所述第一连通管的一端与所述容置腔连通，所述第一连通管的另一端与所述第二连通管的一端连通，所述第二连通管的另一端与所述冷却装置连通，所述收集装置设置于所述第一连通管的底部，所述阀门位于所述第一连通管上。4.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李贵扬，
申请(专利权)人：东莞市腹灵竞技电子有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44