蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种蒸镀装置，属于显示技术领域。该蒸镀装置包括：多个蒸发单元，用于提供蒸镀颗粒；以及多个角度限制机构，其中的每个角度限制机构构造为限制一个蒸发单元的蒸镀范围。本实用新型专利技术的实施例通过角度限制机构限制蒸发单元的蒸镀范围，从而实现了对该蒸发单元蒸镀膜的增厚效率的控制，对于包括多个蒸发单元的蒸镀装置来说，由于每个蒸发单元的蒸镀膜的增厚效率可控，因此实现了待成膜对象的蒸镀膜厚的均一性。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置
本技术涉及显示
，尤其涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
目前，蒸镀装置由于受蒸镀源的构造、蒸镀腔室的构造、加热源的加热能力及坩埚的受热能力等多重因素的影响，蒸镀的部分显示基板存在膜厚均一性较差的问题，进而导致显示装置的良品率低下。因此，如何改善蒸镀膜厚均一性较差成为亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例致力于提供一种蒸镀装置，以解决现有技术中蒸镀膜厚均一性较差的问题。本技术一方面提供了一种蒸镀装置，包括：多个蒸发单元，用于提供蒸镀颗粒；以及多个角度限制机构，其中的每个角度限制机构构造为限制一个蒸发单元的蒸镀范围。在本技术的一个实施例中，角度限制机构包括底座和角度限制板，底座和角度限制板转动连接，角度限制板位于多个蒸发单元和待成膜对象之间。在本技术的一个实施例中，多个蒸发单元呈线性排列，多个角度限制机构的底座位于多个蒸发单元的一侧，且与多个蒸发单元沿用平行的线性排列。在本技术的一个实施例中，多个角度限制机构中相邻的两个角度限制板中的一个角度限制板的一端设置有挡板，且该一端靠近相邻的两个角度限制板中的另一个角度限制板。在本技术的一个实施例中，角度限制机构的表面设置有金属网，该表面与蒸发单元相对应。在本技术的一个实施例中，多个角度限制机构呈线性排列，蒸发单元包括三个或者四个提供蒸镀颗粒的蒸发口，其中，所述三个或者四个提供蒸镀颗粒的蒸发口的排列方向与所述线性排列的方向平行。在本技术的一个实施例中，该蒸镀装置还包括控制器、多个颗粒浓度传感器和多个驱动装置；其中，多个颗粒浓度传感器与控制器连接，构造为感知蒸镀颗粒的浓度；其中，控制器与多个驱动装置连接，构造为向多个驱动装置发送控制指令；其中，多个驱动装置中的每个驱动装置驱动一个角度限制机构。在本技术的一个实施例中，蒸镀装置还包括通信装置，通信装置与服务器通信，控制器的职能由服务器完成。在本技术的一个实施例中，蒸镀装置的待成膜对象为TFT基板。在本技术的一个实施例中，多个角度限制机构采用SUS304材料。本技术的实施例通过角度限制机构限制蒸发单元的蒸镀范围，从而实现了对该蒸发单元蒸镀膜的增厚效率的控制，对于包括多个蒸发单元的蒸镀装置来说，由于每个蒸发单元的蒸镀膜的增厚效率可控，因此实现了待成膜对象的蒸镀膜厚的均一性。附图说明图1是根据本技术一个实施例的蒸镀装置的结构示意图。图2是根据本技术一个实施例的蒸镀装置的俯视图。上述附图的附图标记如下：蒸发口1，固定限制机构2，角度限制机构3，角度限制板3.1，底座3.2，待成膜对象4，蒸镀范围限制5，固定限制机构6，挡板7，线性排列的多个角度限制机构8。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图1是根据本技术一个实施例的蒸镀装置100的结构示意图。在本技术的实施例中，蒸镀装置包括：多个蒸发单元，用于提供蒸镀颗粒；以及多个角度限制机构，其中的每个角度限制机构构造为限制一个蒸发单元的蒸镀范围。具体地，蒸镀装置100中，蒸发单元作为蒸镀颗粒的供应源，可以包括一个蒸镀颗粒的蒸发口1，也可以包括多个蒸镀颗粒的蒸发口1。在这里，从蒸发口1射出的蒸镀颗粒可以由一个蒸发源供应，也可以由多个蒸发源供应。例如，在真空环境下，热源加热坩埚内的待成膜物质可以形成蒸发源，待成膜物质在加热的条件下蒸发或者升华，形成蒸镀颗粒，这些蒸镀颗粒在待成膜对象4的表面析出，便形成了膜。另外，蒸镀装置100还可以包括限制机构用于限制蒸发单元的蒸镀范围。限制机构可以包括两种，分别是固定限制机构和角度限制机构3，其中，固定限制机构的结构固定不可调，例如图1中的固定限制机构2和固定限制机构6，角度限制机构3的结构可调。调整角度限制机构3的结构可以改变蒸发单元的蒸镀范围。如图1中，以蒸发单元的一个蒸发口1为例进行说明。角度限制机构3可以限制蒸发口1的蒸镀范围，当角度限制机构3的结构发生调整时，例如由实线所示的位置调整为虚线所示的位置时，由于角度限制机构3限制了蒸发口1的蒸镀范围，如图1中，蒸镀范围也从实线所示的位置调整为虚线所示的位置，即如图1中的蒸镀范围限制5所示，蒸发口1的蒸镀范围变窄，多个角度限制机构3会阻挡蒸镀颗粒到达待成膜对象4的表面，因此单位时间内待成膜对象4接收到的蒸镀颗粒变少，进而使得蒸镀膜增厚的效率变低，从而实现了对整体蒸镀膜厚均一性的控制。本技术的实施例通过角度限制机构3限制蒸发单元的蒸镀范围，从而实现了对该蒸发单元蒸镀膜的增厚效率的控制，对于包括多个蒸发单元的蒸镀装置来说，由于每个蒸发单元的蒸镀膜的增厚效率可控，因此实现了待成膜对象4的蒸镀膜厚的均一性。在本技术的另一个实施例中，角度限制机构3包括底座3.2和角度限制板3.1，底座3.2和角度限制板3.1转动连接，角度限制板3.1位于多个蒸发源和待成膜对象4之间。具体地，角度限制机构3可以通过转动的方式限制蒸发单元的蒸镀范围。例如，角度限制板3.1可以包括转轴，底座3.2可以包括轴孔，角度限制板3.1的转轴可以在底座3.2的轴孔内转动，进而实现了通过转动的方式控制蒸发单元的蒸镀范围。图2是根据本技术一个实施例的蒸镀装置200的俯视图。在本技术的另一个实施例中，多个蒸发单元呈线性排列，多个角度限制机构3的底座3.2位于多个蒸发单元的一侧，且与多个蒸发单元沿用平行的线性排列。具体地，图2的蒸镀装置200可以是图1中蒸镀装置100的俯视图。在这里，如图2所示，多个蒸发单元可以呈线性排列，且多个蒸发单元可以沿线性排列的方向移动，从而实现对待成膜对象4的不同位置的蒸镀。此时，沿着平行于多个蒸发单元的线性排列方向上，多个角度限制机构呈线性排布，如图2中的8所示。在原有的蒸镀装置中，线性排列的多个角度限制机构8所在的位置放置的是固定限制机构6，因此蒸镀装置200可以在原有的蒸镀装置中进行改造，进而可以节约成本。应当理解，沿平行于多个角度限制机构3的线性排列方向上，一个角度限制机构3可以对应一个蒸发口1，也可以对应多个蒸发口1组成，这里对此不做限定。另外，图2中的固定限制机构6也可以是呈线性排列的多个角度限制结构3，此时一个蒸发单元可以包括两个角度限制机构3，进而可以实现对该蒸发单元进一步地蒸镀范围的限制，即一个蒸发单元的蒸镀范围的限制更有效，也实现了从两侧限制蒸发单元的蒸镀范围。在本技术的另一个实施例中，多个角度限制机构3中相邻的两个角度限制板3.1中的一个角度限制板3.1的一端设置有挡板7，且该一端靠近相邻的两个角度限制板3.1中的另一个角度限制板3.1。例如，图2中指示的3可以具体是指图1中的角度限制板3.1，在相邻的两个角度限制板3.1中，可以设置挡板7，从而可以防止蒸镀颗粒沿两个角度限制板3.1的间隙离开后影响蒸镀范围，进而影响蒸镀膜厚。在本技术的另一个实施例中，角度限制机构3的表面设置有金属网，该表面与蒸发单元相对应。在蒸发单元和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：多个蒸发单元，用于提供蒸镀颗粒；以及多个角度限制机构，其中的每个所述角度限制机构构造为限制一个所述蒸发单元的蒸镀范围。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：多个蒸发单元，用于提供蒸镀颗粒；以及多个角度限制机构，其中的每个所述角度限制机构构造为限制一个所述蒸发单元的蒸镀范围。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述角度限制机构包括底座和角度限制板，所述底座和所述角度限制板转动连接，所述角度限制板位于所述多个蒸发单元和待成膜对象之间。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，多个所述蒸发单元呈线性排列，多个所述角度限制机构的底座位于多个所述蒸发单元的一侧，且与多个所述蒸发单元沿用平行的线性排列。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，多个所述角度限制机构中相邻的两个角度限制板中的一个角度限制板的一端设置有挡板，且该一端靠近所述相邻的两个角度限制板中的另一个角度限制板。5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述角度限制机构的表面设置有金...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯佳森，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32