下载用于向蒸发器设备供给液体材料的装置的技术资料

文档序号:19874967

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于将液态金属供给在真空腔室中的蒸发器设备的装置,其中,该装置包括:容器,该容器适于容纳液态金属;供给管(15),该供给管从封闭容器到蒸发器设备;以及电磁泵(16),该电磁泵设置在供给管中,其中,电磁泵布置在真空罩(18)中。...
该专利属于塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。