一种基板自动翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基板自动翻转装置，其特征在于，包括安装板(1)，设置在安装板(1)上的驱动装置，设置在驱动装置相连接的齿盘(5)，以及与驱动装置相连接的翻转组件；所述翻转组件还与齿盘(5)相连接。本实用新型专利技术结构简单，使用方便，生产与使用的成本较低，该装置通过设置的翻转组件与设置在驱动装置上的齿盘相配合，能使安装在翻转组件上的基板实现翻转，即基板的上下表面均可与靶材分子充分接触，从而确保了本实用新型专利技术的基板上下表面均可承载基片，有效的提高了阻蒸镀膜机的镀膜效率。

【技术实现步骤摘要】
一种基板自动翻转装置
本技术涉及一种翻转装置，具体是指一种基板自动翻转装置。
技术介绍
阻蒸镀膜一般是通过设置在镀膜机内的阻蒸设备来加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。然而，现有的阻蒸镀膜机用于承载基片的基板只能实现单面承载，而无法实现双面承载的问题，导致阻蒸镀膜机的镀膜效率过低，从而严重的影响了企业的生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有的阻蒸镀膜机用于承载基片的基板只能实现单面承载，而无法实现双面承载的缺陷，提供一种基板自动翻转装置。本技术的目的通过下述技术方案现实：一种基板自动翻转装置，包括安装板，设置在安装板上的驱动装置，设置在驱动装置相连接的齿盘，以及与驱动装置相连接的翻转组件；所述翻转组件还与齿盘相连接，且减速器的传动轴贯穿齿盘。所述驱动装置包括设置在安装板上的驱动电机，和设置在安装板上并与驱动电机相连接的减速器；所述驱动电机的转轴从上至下贯穿安装板后连接在减速器上；所述齿盘安装在减速器的下端。进一步的，所述翻转组件包括通过轴承轴连接在旋转板上并具有开口的空腔体，设置在轴承轴下端的悬挂架，通过转轴连接在悬挂架上并与空腔体相接触的直齿，以及设置在轴承轴上端并与齿盘相齿合的连动齿轮；所述转轴的活动连接在悬挂架上，且转轴的一端贯穿悬挂架的架臂后与直齿相连接；所述轴承轴贯穿旋转板后并固定在旋转板上。所述空腔体的开口上还设置有与直齿相匹配的齿牙。再进一步的，所述轴承轴包括分别与旋转板和空腔体相连接的安装筒，分别设置在安装筒两端的轴承，以及穿过两轴承的内轴；所述内轴的下端从上至下贯穿空腔体后与悬挂架相连接；所述连动齿轮连接在内轴的上端上。更进一步的，所述转轴上设置有基板。本技术与现有技术相比具有以下优点及有益效果：(1)本技术结构简单，使用方便，生产与使用的成本较低，该装置通过设置的翻转组件与设置在驱动装置上的齿盘相配合，能使安装在翻转组件上的基板实现翻转，即基板的上下表面均可与靶材分子充分接触，从而确保了本技术的基板上下表面均可承载基片，有效的提高了阻蒸镀膜机的镀膜效率。(2)本技术的驱动装置采用了驱动电机与减速器相配合的方式来实现，能有效的确保基板翻转速度的稳定性，从而提高了基片镀膜的效果。(3)本技术的翻转组件的带齿牙的空腔体与直齿相配合，不仅能使基板实现翻转，还能确保基板的上下表面所承载的基片镀膜更均匀。附图说明图1为本技术的整体结构示意图。图2为本技术的轴承轴的结构示意图。上述附图中，附图标记对应的部件名称如下：1—安装板，2—驱动电机，3—减速器，4—连动齿轮，5—齿盘，6—旋转板，7—空腔体，8—悬挂架，9—基板，10—直齿，11—转轴，12—轴承轴，13—齿牙，14—安装筒，15—内轴，16—轴承。具体实施方式下面结合实施例对本技术作进一步地详细说明，但本技术的实施方式并不限于此。实施例如图1、2所示，本技术公开了一种基板自动翻转装置，包括安装板1，驱动装置，齿盘5，以及翻转组件；所述翻转组件还与齿盘5相连接。其中，所述的驱动装置如图1所示，其包括驱动电机2和减速器3。所述的翻转组件包括空腔体7，悬挂架8，转轴11，连动齿轮4，以及直齿10。实施时，安装板1作为整个装置的承载体和主体，该安装板1安装在阻蒸机内壁上。所述的驱动装置设置在安装板1上，其驱动装置的驱动电机2设置在安装板1上，本实施例中驱动电机2通过螺钉固定在安装板1上；而驱动装置中的减速器3设置在安装板1的下端并与驱动电机2相连接。该驱动电机2的转轴从上至下贯穿安装板1后连接在减速器3上。所述的齿盘5设置在驱动装置上，且该齿盘5具体安装在减速器3的下端，并通过螺钉固定，而减速器3的传动轴贯穿齿盘5。该减速器3的传动轴上还设置有旋转板6，该旋转板6在本实施例中优先设置为圆形，并通过焊接的方式固定在减速器3的传动轴上，在具体的生产时，旋转板6也可采用连接件连接在减速器3的传动轴上。进一步地，所述的翻转组件则与驱动装置相连接，该翻转组件包括空腔体7，悬挂架8，连动齿轮4，以及直齿10。其中空腔体7通过轴承轴12连接在减速器3上，该空腔体7的为具有开口的腔体。具体安装时，轴承轴12贯穿旋转板6后并固定在旋转板6上。该悬挂架8设置在轴承轴12的下端，并通过螺钉进行固定，本实施例中的悬挂架8优先采用了双挂臂的悬挂架来实现。而直齿10则通过转轴11连接在悬挂架8上，该直齿10并与空腔体7相接触，具体是指该直齿10与空腔体7的开口端相接触。该转轴11活动连接在悬挂架8上，且该转轴11的一端贯穿悬挂架8的挂臂后与直齿10相连接，该直齿10通过螺钉固定在转轴11上。而用于承载基片的基板9则设置在转轴11上，该基板9位于悬挂架8的两挂臂之间，且该基板9被固定在转轴11上。该连动齿轮4设置在轴承轴12的上端，该连动齿轮4并与齿盘5相齿合。为了使中空腔体7与直齿10的接触更紧密，在空腔体7的开口上设置了与直齿10相匹配的齿牙13，该齿牙13能与直齿10充分齿合。本实施例中的翻转组件优先设置了两个，该两个翻转组件对称安装在旋转板6上，其翻转组件的数量可根据实际需要进行调整。其中，所述的轴承轴12如图2所示，其包括安装筒14，内轴15，以及轴承16。其安装筒14分别与旋转板6和空腔体7相连接的安装筒14，该安装筒14分别通过螺钉固定在旋转板6和空腔体7上。轴承16在本实施例中优先设置为两个，且两个轴承16分别设置在安装筒14的两端。而内轴15则同时穿过两轴承16。该内轴15的下端从上至下贯穿空腔体7后与悬挂架8相连接，而另一端则与连动齿轮4相连接，其连动齿轮4固定在内轴15上。具体运行时，接通电源，驱动电机2转动，减速器3的传动轴开始带动旋转板6转动，此时，整个翻转组件随着旋转板6转动。连动齿轮4和固定在减速器3上的齿盘5相齿合后开始自转，连动齿轮4并带动轴承轴12的内轴15转动。固定在内轴15下端的悬挂架8也随着内轴15转动。此时，直齿10则沿空腔体7的开口的运动，其直齿10在空腔体7开口上的齿牙13齿合后实现自转，直齿10自转后带动转轴11转动，使固定在转轴11上的基板9翻转，使基板9的两个表面均能与靶材分子充分接触，从而确保了本技术的基板上下表面均可承载基片，有效的提高了阻蒸镀膜机的镀膜效率。如上所述，便可很好的实现本技术。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板自动翻转装置，其特征在于，包括安装板(1)，设置在安装板(1)上的驱动装置，设置在驱动装置相连接的齿盘(5)，以及与驱动装置相连接的翻转组件；所述翻转组件还与齿盘(5)相连接。

【技术特征摘要】
1.一种基板自动翻转装置，其特征在于，包括安装板(1)，设置在安装板(1)上的驱动装置，设置在驱动装置相连接的齿盘(5)，以及与驱动装置相连接的翻转组件；所述翻转组件还与齿盘(5)相连接。2.根据权利要求1所述的一种基板自动翻转装置，其特征在于：所述驱动装置包括设置在安装板(1)上的驱动电机(2)，和设置在安装板(1)上并与驱动电机(2)相连接的减速器(3)；所述驱动电机(2)的转轴从上至下贯穿安装板(1)后连接在减速器(3)上；所述齿盘(5)安装在减速器(3)的下端，且减速器(3)的传动轴贯穿齿盘(5)；所述减速器(3)的传动轴上设置有旋转板(6)。3.根据权利要求2所述的一种基板自动翻转装置，其特征在于：所述翻转组件包括通过轴承轴(12)连接在旋转板(6)上并具有开口的空腔体(7)，设置在轴承轴(12)下端的悬挂架(8)，通过转轴(11)连接在悬挂架(8)上并与空腔体(7)相接触的直齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙力，杨小军，张韬，
申请(专利权)人：成都西沃克真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51