一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，包括壳体和摆臂装置；所述摆臂装置可摆动的设置在所述壳体上端一侧；所述摆臂装置包括第一伺服电机、轴套、旋转轴、谐波减速机、穿线轴和过渡臂；所述第一伺服电机设置在所述轴套上端；所述旋转轴上端与所述穿线轴固定安装；所述旋转轴下端与清洁装置连接；所述清洁装置用于清洁光刻版表面。本发明专利技术清洁效率高，且能充分清洁光刻版表面，有左右扫描功能及上升下降功能；上升下降为丝杠驱动，精度好，刚性高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置
本专利技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置。
技术介绍
在半导体
中，光刻是制造半导体器件和集成电路微图形结构的关键工艺，其工艺质量直接影响着器件成品率、可靠性、器件性能以及使用寿命等参数指标。光罩是光刻工艺中的一个重要环节，光刻版必须非常洁净，所有硅片上的电路元件都来自版图。如果光刻版不洁净，存在污染颗粒，这些颗粒就会被复制到硅片表面的光刻胶上，造成器件性能的下降。因此需要给光刻版进行清洁，现有的清洁设备大多采用固定式，不能进行调节，会造成清洁不干净，工作效率低下。
技术实现思路
要解决的技术问题本专利技术要解决的问题是提供一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，以克服现有技术中不能进行调节，会造成清洁不干净，工作效率低下的缺陷。技术方案为解决所述技术问题，本专利技术提供一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，包括壳体和摆臂装置；所述摆臂装置可摆动的设置在所述壳体上端一侧；所述摆臂装置包括第一伺服电机、轴套、旋转轴、谐波减速机、穿线轴和过渡臂；所述第一伺服电机设置在所述轴套上端；所述旋转轴上端与所述穿线轴固定安装；所述旋转轴下端与清洁装置连接；所述清洁装置用于清洁光刻版表面；所述谐波减速机设置在所述轴套内，所述谐波减速机上端与所述第一伺服电机的转轴连接，下端与所述穿线轴固定安装；所述过渡臂安装在所述轴套下端，所述过渡臂的另一端与所述壳体连接。优选的，所述摆臂装置还包括外圈法兰，所述外圈法兰固定安装在所述轴套下端，使所述穿线轴稳固转动。优选的，所述轴套上设置有穿线用的第一通孔，所述穿线轴上设置有与所述第一通孔相适配的第二通孔。优选的，所述第二通孔呈椭圆形。优选的，所述过渡臂的另一端与所述壳体之间还安装有上下升降装置，所述上下升降装置包括第二伺服电机、减速机、联轴器、直线执行器、丝杆、滑块座和滑块；所述减速机固定安装在所述第二伺服电机上端；所述联轴器设置在所述直线执行器下端，所述联轴器下端与所述减速机连接，上端与所述丝杆连接；所述滑块设置在所述直线执行器的空腔内，所述滑块与所述丝杆螺接，所述滑块可沿着所述丝杆上下滑动；所述滑块座固定安装在所述滑块上；所述过渡臂的另一端与所述滑块座固定安装；所述直线执行器背部与所述支撑固定装置固定安装，所述支撑固定装置固定安装在所述壳体一侧。优选的，所述支撑固定装置包括第一固定板、第一导柱、第二固定板、第三固定板、第四固定板、第二导柱和连接压杆；四个所述第一导柱上端与所述第二固定板固定安装，下端与所述第一固定板固定安装；所述第一固定板固定安装在所述壳体一侧；所述第三固定板和第四固定板分别固定安装在所述第二固定板的两侧；两个所述第二导柱设置在所述第三固定板和第四固定板上端，两个所述第二导柱一端与所述第三固定板固定安装，另一端与所述第四固定板固定安装；所述连接压杆的一端与所述第二固定板固定安装；所述第三固定板与所述直线执行器固定安装。有益效果为：本专利技术的用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，清洁效率高，且能充分清洁光刻版表面，有左右扫描功能及上升下降功能；上升下降为丝杠驱动，精度好，刚性高；左右扫描采用伺服电机+谐波减速机的结构，没有回差，精度高，而且中空结构，内部可以穿毛刷电机的线，便于组装防止电线干涉；手臂采用从上往下吊的结构，开孔在顶部，使腔体底部不用开孔，减少漏液隐患，方便清理；此毛刷手臂可用于硫酸二流体混合物清洗，硫酸二流体有极强腐蚀性与热量。附图说明图1为本专利技术一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置的结构示意图；图2为摆臂装置的结构示意图；图3为摆臂装置的半剖视图；图4为轴套的结构示意图；图5为穿线轴的结构示意图；图6为上下升降装置的结构示意图；图7为支撑固定装置的结构示意图；图8为本专利技术一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置的另一方向的结构示意图；图9为本专利技术毛刷部分的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。如图1至图3所示，本专利技术的一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，包括壳体1和摆臂装置2；所述摆臂装置2可摆动的设置在所述壳体1上端一侧；所述摆臂装置2包括第一伺服电机201、轴套202、旋转轴203、谐波减速机204、穿线轴205和过渡臂206；所述第一伺服电机201用螺钉固定设置在所述轴套202上端；所述旋转轴203上端与所述穿线轴205用螺钉固定安装；所述旋转轴203下端与清洁装置连接；所述清洁装置用于清洁光刻版表面；所述谐波减速机204设置在所述轴套202内，所述谐波减速机204上端与所述第一伺服电机201的转轴连接，下端与所述穿线轴205用螺钉固定安装；所述过渡臂206用螺钉安装在所述轴套202下端，所述过渡臂206的另一端与所述壳体1连接。如图3所示，所述摆臂装置2还包括外圈法兰207，所述外圈法兰207用螺钉固定安装在所述轴套202下端，使所述穿线轴205稳固转动，安装更加稳固。如图4和图5所示，所述轴套202上设置有穿线用的第一通孔208，所述穿线轴205上设置有与所述第一通孔208相适配的第二通孔209，方便快速穿线，便于安装。如图5所示，所述第二通孔209呈椭圆形，防止电线干涉。如图6所示，所述过渡臂206的另一端与所述壳体1之间还安装有上下升降装置3，所述上下升降装置3包括第二伺服电机301、减速机302、联轴器303、直线执行器304、丝杆305、滑块座306和滑块307；所述减速机302用螺钉固定安装在所述第二伺服电机301上端；所述联轴器303设置在所述直线执行器304下端，所述联轴器303下端与所述减速机302连接，上端与所述丝杆305连接；所述滑块307设置在所述直线执行器304的空腔内，所述滑块307与所述丝杆305螺接，所述滑块307可沿着所述丝杆305上下滑动；所述滑块座306用螺钉固定安装在所述滑块307上；所述过渡臂206的另一端与所述滑块座306用螺钉固定安装；所述直线执行器304背部与所述支撑固定装置4固定安装，所述支撑固定装置4固定安装在所述壳体1一侧。如图7所示，所述支撑固定装置4包括第一固定板401、第一导柱402、第二固定板403、第三固定板404、第四固定板405、第二导柱406和连接压杆407；四个所述第一导柱402上端与所述第二固定板403用螺钉固定安装，下端与所述第一固定板401用螺钉固定安装；所述第一固定板401用螺钉固定安装在所述壳体1一侧；所述第三固定板404和第四固定板405分别用螺钉固定安装在所述第二固定板403的两侧；两个所述第二导柱406设置在所述第三固定板404和第四固定板405上端，两个所述第二导柱406一端与所述第三固定板404用螺钉固定安装，另一端与所述第四固定板405用螺钉固定安装；所述连接压杆407的一端与所述第二固定板403用螺钉固定安装；所述第三固定板404与所述直线执行器304用螺钉固定安装。工作原理是：第一伺服电机201的转动，带动谐波减速机204、穿线轴205及旋转轴203转动，从而带动清洁装置进行扫描并清洁光刻版；需要调节摆臂装置2上下高度的时候，启动上下升降装置3，即启动第二伺服电机301，带动减速机302、联轴器303及丝杆30本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，其特征在于：包括壳体(1)和摆臂装置(2)；所述摆臂装置(2)可摆动的设置在所述壳体(1)上端一侧；所述摆臂装置(2)包括第一伺服电机(201)、轴套(202)、旋转轴(203)、谐波减速机(204)、穿线轴(205)和过渡臂(206)；所述第一伺服电机(201)设置在所述轴套(202)上端；所述旋转轴(203)上端与所述穿线轴(205)固定安装；所述旋转轴(203)下端与清洁装置连接；所述清洁装置用于清洁光刻版表面；所述谐波减速机(204)设置在所述轴套(202)内，所述谐波减速机(204)上端与所述第一伺服电机(201)的转轴连接，下端与所述穿线轴(205)固定安装；所述过渡臂(206)安装在所述轴套(202)下端，所述过渡臂(206)的另一端与所述壳体(1)连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，其特征在于：包括壳体(1)和摆臂装置(2)；所述摆臂装置(2)可摆动的设置在所述壳体(1)上端一侧；所述摆臂装置(2)包括第一伺服电机(201)、轴套(202)、旋转轴(203)、谐波减速机(204)、穿线轴(205)和过渡臂(206)；所述第一伺服电机(201)设置在所述轴套(202)上端；所述旋转轴(203)上端与所述穿线轴(205)固定安装；所述旋转轴(203)下端与清洁装置连接；所述清洁装置用于清洁光刻版表面；所述谐波减速机(204)设置在所述轴套(202)内，所述谐波减速机(204)上端与所述第一伺服电机(201)的转轴连接，下端与所述穿线轴(205)固定安装；所述过渡臂(206)安装在所述轴套(202)下端，所述过渡臂(206)的另一端与所述壳体(1)连接。2.根据权利要求1所述的用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，其特征在于：所述摆臂装置(2)还包括外圈法兰(207)，所述外圈法兰(207)固定安装在所述轴套(202)下端，使所述穿线轴(205)稳固转动。3.根据权利要求1所述的用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，其特征在于：所述轴套(202)上设置有穿线用的第一通孔(208)，所述穿线轴(205)上设置有与所述第一通孔(208)相适配的第二通孔(209)。4.根据权利要求3所述的用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，其特征在于：所述第二通孔(209)呈椭圆形。5.根据权利要求1至4任一项所述的用于清洗光刻版的摆臂清洁装置，其特征在于：所述过渡臂(206)的另一端与所述壳体(1)之间还安装有上下升降装置(3)，所述上下升降装置(3)包括第二伺服电机(301)、减速机(302)、联轴器(303)、直线...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅立超，谢林雅，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33