多元掺杂的ZnO镀膜材料及其制备方法和应用技术

本发明专利技术公开了一种多元掺杂的ZnO镀膜材料，所述多元掺杂的ZnO镀膜材料的原料组份包括：氧化锌粉体与掺杂氧化物粉体，其中，掺杂氧化物粉体质量/(氧化锌粉体质量+掺杂氧化物粉体质量)＝1～10wt％，同时，该掺杂氧化物粉体由第一掺杂组份与第二掺杂组份构成，该第一掺杂组份为氧化铟，其含量为总掺杂氧化物粉体质量的30～100wt％，该第二掺杂组份为氧化镓、氧化钇、氧化锡、氧化硅、氧化钛中的一种，其含量为总掺杂氧化物粉体质量的0～70wt％，以及，该多元掺杂的ZnO镀膜材料的原料中不包括氧化铝成分。本发明专利技术的优点是：综合性能较佳。本发明专利技术还公开了该多元掺杂的ZnO镀膜材料的制备方法和应用。

【技术实现步骤摘要】
多元掺杂的ZnO镀膜材料及其制备方法和应用
本专利技术涉及镀膜材料
，尤其是涉及一种多元掺杂的ZnO镀膜材料。本专利技术还涉及该多元掺杂的ZnO镀膜材料的制备方法和应用。
技术介绍
目前Low-E玻璃主要采用离线的磁控溅射镀膜方式生产。根据银层数量的多少，Low-E镀膜玻璃的膜系结构可以分为单银、双银以及三银体系。典型的单银Low-E玻璃的膜系结构如图6所示，双银以及三银的膜层结构则可视为单银膜层结构的叠加。在膜系中，功能膜起到控制整个膜系的表面电阻作用，决定了膜系的辐射率，并直接影响膜系的透射比和反射比。通常的功能膜采用银作为材料，但由于银较软、不耐磨、耐水氧腐蚀性差，因此银膜两侧需要介质膜。第一层介质膜一般为金属氧化物膜，主要作为银膜的生长缓冲层，同时兼有调节膜系光学性能和颜色的作用。外层介质膜也是金属氧化物膜，它既是减反射膜也是保护膜。在可见光和近红外太阳能光谱中起减反射作用，以提高此波长范围内的太阳能透射比，同时保护银膜，提高膜系的理化性能。在众多的氧化物材料中，2wt％Al2O3掺杂的ZnO(简称AZO)材料具有折射率匹配、可见光透过率高、溅射效率高、廉价、适合工业化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.多元掺杂的ZnO镀膜材料，其特征在于：所述多元掺杂的ZnO镀膜材料的原料组份包括：氧化锌粉体与掺杂氧化物粉体，其中，掺杂氧化物粉体质量/(氧化锌粉体质量+掺杂氧化物粉体质量)＝1～10wt％，同时，该掺杂氧化物粉体由第一掺杂组份与第二掺杂组份构成，该第一掺杂组份为氧化铟，其含量为总掺杂氧化物粉体质量的30～100wt％，该第二掺杂组份为氧化镓、氧化钇、氧化锡、氧化硅、氧化钛中的一种，其含量为总掺杂氧化物粉体质量的0～70wt％，以及，该多元掺杂的ZnO镀膜材料的原料中不包括氧化铝成分。

【技术特征摘要】
1.多元掺杂的ZnO镀膜材料，其特征在于：所述多元掺杂的ZnO镀膜材料的原料组份包括：氧化锌粉体与掺杂氧化物粉体，其中，掺杂氧化物粉体质量/(氧化锌粉体质量+掺杂氧化物粉体质量)＝1～10wt％，同时，该掺杂氧化物粉体由第一掺杂组份与第二掺杂组份构成，该第一掺杂组份为氧化铟，其含量为总掺杂氧化物粉体质量的30～100wt％，该第二掺杂组份为氧化镓、氧化钇、氧化锡、氧化硅、氧化钛中的一种，其含量为总掺杂氧化物粉体质量的0～70wt％，以及，该多元掺杂的ZnO镀膜材料的原料中不包括氧化铝成分。2.根据权利要求1所述的多元掺杂的ZnO镀膜材料的制备方法，包括以下步骤：(1)称量氧化锌粉体与掺杂氧化物粉体相混合形成粉体混合物，其中，掺杂氧化物粉体质量/(氧化锌粉体质量+掺杂氧化物粉体质量)＝1～10wt％；(2)将粉体混合物倒入含有0.1～3wt％常规分散剂的去离子水中，经过8～24h的球磨形成浆料；(3)将浆料取出置于60～100℃的烘箱中干燥，再经过研磨形成粉体，作为陶瓷烧结起始原料；(4)将上述粉体置入模具中经过30～150MPa的单轴模压成型，保压时间为30～300s，然后经120～300MPa的冷等静压，保压时间为60～600s，形成相对密度为60～75％的陶瓷坯体；(5)将陶瓷坯体放入烧结炉中，从室温开始以0.5～10℃/min的升温速率升到第一步设定温度1000～1250℃，保温30...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨晔，宋伟杰，兰品军，李佳，黄金华，王肇肇，许君君，朱永明，
申请(专利权)人：宁波森利电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33