磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺，该材料包括轴承钢，轴承钢表面通过磁控溅射镀制有TiN涂层。采用真空磁控溅射在轴承钢材表面镀制TiN涂层，磁控溅射过程中各参数控制为本底真空度2.0×10

【技术实现步骤摘要】
磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺
本专利技术涉及磁控溅射
，具体为一种磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺。
技术介绍
磁控溅射被认为是材料表面处理工程技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜基结合力好、装置性能稳定、操作控制方便等优点，成为镀膜工业应用领域(特别是建筑镀膜玻璃、透明导电膜玻璃、柔性基材卷绕镀等对大面积的均匀性有特别苛刻要求的连续镀膜场合)的首选方案，同时，由于现代科技发展的需求，真空镀膜技术得到了迅猛发展。薄膜技术可改变工件表面性能，提高工件的耐磨损、抗氧化、耐腐蚀等性能，延长工件使用寿命，具有很高的经济价值。薄膜技术能满足特殊使用条件和功能对新材料的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的提供一种磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺，能够提高工件的耐磨损、抗氧化、耐腐蚀等性能，并能延长轴承钢工件的使用寿命。本专利技术采用这样的技术方案来实现：一种磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺，该材料包括轴承钢，轴承钢表面通过磁控溅射镀制有TiN涂层；磁控溅射过程中各参数控制为本底真空度2.0×10-3pa；工作气压0.本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺，其特征在于：该材料包括轴承钢，轴承钢表面通过磁控溅射镀制有TiN涂层；磁控溅射过程中各参数控制为本底真空度 2.0×10‑3pa；工作气压 0.5pa；氩流量30sccm；氮流量 2sccm；溅射功率 100W；靶基距 60±10mm；加热温度 400℃；溅射时间30min。

【技术特征摘要】
1.磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺，其特征在于：该材料包括轴承钢，轴承钢表面通过磁控溅射镀制有TiN涂层；磁控溅射过程中各参数控制为本底真空度2.0×10-3pa；工作气压0.5pa；氩流量30sccm；氮流量2sccm；溅射功率100W；靶基距60±10mm；加热温度400℃；溅射时间30min。2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：燕怒，宋日升，于江，
申请(专利权)人：江苏宋和宋智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32