一种磁控溅射镀膜设备保压系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其中，磁控溅射镀膜设备设有多个镀膜腔室，所述镀膜腔室设有密封板以及驱使所述密封板运动的气动元件，所述保压系统包括用以与所述气动元件通过管道相连的第一供气支路以及与所述第一供气支路相并联的第二供气支路，所述第一供气支路包括通过管道依次相连的第一气压检测装置、第一阀门、第二气压检测装置以及第一供气装置；所述第二供气支路包括通过管道依次相连的第二阀门、第三阀门以及第二供气装置，所述第一气压检测装置和所述第二气压检测装置分别与工控装置电连接，本实用新型专利技术的保压系统能有效保障磁控溅射镀膜设备内的高真空度，提高设备运行效率，保证产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜设备保压系统
本技术涉及玻璃生产
，具体涉及一种磁控溅射镀膜设备保压系统。
技术介绍
在玻璃镀膜生产中需要用到磁控溅射镀膜设备，磁控溅射镀膜设备是一种现代化、高效率的生产设备，只有在保证磁控溅射镀膜设备具有符合镀膜要求的高真空环境时，才能保障溅射的稳定性、可控性和可调性。磁控溅射镀膜设备的多个镀膜腔室之间使用气动元件带动密封板密封，所有的气动元件采用一路供气，在突然断气时就会造成气动元件失灵，使大量空气进入镀膜腔室造成生产中断，产生大量的废品。大量空气漏入溅射区，不仅会造成抽气设备过载调停，而且会冲击腔室内壁，造成设备损坏。当设备再次开启时，还需要花费大量时间将镀膜腔室中的气体抽完，才能保持生产要求的高真空度。当磁控溅射镀膜设备临时停电时，无法保障镀膜腔室内的高真空度。为此在停电时需要专用设备供气保障气压稳定，从而保持设备真空度，这样大大提高了运行成本。
技术实现思路
本技术提供一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其能有效保障磁控溅射镀膜设备内的高真空度，提高设备运行效率，保证产品质量。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其中，磁控溅射镀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其中，磁控溅射镀膜设备设有多个镀膜腔室，所述镀膜腔室设有密封板以及驱使所述密封板运动的气动元件，其特征在于：所述保压系统包括用以与所述气动元件通过管道相连的第一供气支路以及与所述第一供气支路相并联的第二供气支路，所述第一供气支路包括通过管道依次相连的第一气压检测装置、第一阀门、第二气压检测装置以及第一供气装置；所述第二供气支路包括通过管道依次相连的第二阀门、第三阀门以及第二供气装置，所述第一气压检测装置和所述第二气压检测装置分别与工控装置电连接。

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其中，磁控溅射镀膜设备设有多个镀膜腔室，所述镀膜腔室设有密封板以及驱使所述密封板运动的气动元件，其特征在于：所述保压系统包括用以与所述气动元件通过管道相连的第一供气支路以及与所述第一供气支路相并联的第二供气支路，所述第一供气支路包括通过管道依次相连的第一气压检测装置、第一阀门、第二气压检测装置以及第一供气装置；所述第二供气支路包括通过管道依次相连的第二阀门、第三阀门以及第二供气装置，所述第一气压检测装置和所述第二气压检测装置分别与工控装置电连接。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其特征在于：所述第二供气支路还包括与所述第二阀门相并联的第四阀门。3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜设备保压系统，其特征在于：所述第一阀门和所述第二阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳大勇，张青涛，解孝辉，
申请(专利权)人：吴江南玻华东工程玻璃有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32